CN210510241U - 一种链式硅片加工装置的传动机构及链式硅片加工装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种链式硅片加工装置的传动机构和链式硅片加工装置，该传动机构包括支架、主轴、主齿轮、副齿轮和喷淋组件，支架内设有集水槽，主轴可转动地设在支架上，且主轴位于集水槽的上方，主齿轮为多个，多个主齿轮沿主轴的轴向方向间隔分布，副齿轮为多个，多个副齿轮与多个主齿轮一一对应设置，且每个副齿轮均与主齿轮传动啮合，喷淋组件与支架相连且位于主齿轮和副齿轮的上方，喷淋组件被配置为朝向主齿轮和副齿轮喷射液体。本实用新型的链式硅片加工装置的传动机构，降低了主齿轮和副齿轮之间的摩擦，减缓了主齿轮和副齿轮之间的磨损，提高了链式硅片加工装置传动机构在长时间运行时的可靠性。

Description

一种链式硅片加工装置的传动机构及链式硅片加工装置

技术领域

本实用新型涉及光伏设备技术领域，尤其设计一种链式硅片加工装置的传动机构及链式硅片加工装置。

背景技术

制绒/刻蚀链式滚轮传动使用塑料齿轮啮合配合实现滚轮转动，由于机台的工艺特殊性，所有槽体、滚轮及传动轴齿轮都采用塑料材质，并且为了保证槽体内反应液体的纯净度传动齿轮上不能涂抹润滑油，当滚轮长时间的转动后，塑料齿轮磨损严重，损坏频率高。

实用新型内容

本实用新型的一个目的在于提出一种链式硅片加工装置的传动机构，该传动机构的多个齿轮之间摩擦较小，降低了齿轮磨损，保证了传动机构长时间运行时的可靠性。

本实用新型的另一个目的在于提出一种链式硅片加工装置，该链式硅片加工装置的传动可靠性较高，维护成本较低。

为实现上述效果，本实用新型的技术方案如下：

一种链式硅片加工装置的传动机构，包括：支架，所述支架内设有集水槽；主轴，所述主轴可转动地设在所述支架上，且所述主轴位于所述集水槽的上方；主齿轮，所述主齿轮为多个，多个所述主齿轮沿所述主轴的轴向方向间隔分布；副齿轮，所述副齿轮为多个，多个所述副齿轮与多个所述主齿轮一一对应设置，且每个所述副齿轮均与一个所述主齿轮传动啮合；喷淋组件，所述喷淋组件与所述支架相连且位于所述主齿轮和所述副齿轮的上方，所述喷淋组件包括喷嘴，喷嘴朝向所述主齿轮和所述副齿轮喷射液体。

在一些实施例中，所述喷淋组件包括：固定座，所述固定座连接在所述支架上；喷淋管，所述喷淋管连接在所述固定座上，且所述喷淋管沿所述主轴的轴向方向延伸设置，所述喷淋管的周面上设有多个沿所述主轴的轴向方向间隔分布的喷淋孔；喷嘴，所述喷嘴为多个，多个所述喷嘴与多个所述喷淋孔一一对应设置。

在一些可选的实施例中，所述固定座包括：下固定块，所述下固定块连接在所述支架上，所述下固定块上设有下配合半槽；上固定块，所述上固定块扣合在所述下固定块上，且所述上固定块上设有与所述下配合半槽对应设置的上配合半槽，所述上配合半槽和所述下配合半槽组成配合槽，所述喷淋管设在所述配合槽内。

在一些可选的实施例中，所述固定座还包括；锁紧件，所述锁紧件穿设在所述下固定块和/或所述上固定块上，所述锁紧件配置为将所述喷淋管锁紧在所述配合槽内。

在一些可选的实施例中，所述链式硅片加工装置的传动机构还包括支撑块，所述支撑块为两个，两个所述支撑块均与所述支架相连，且所述主轴穿设在所述支撑块上。

在一些可选的实施例中，所述支撑块与所述下固定块为焊接一体件或者一体成型件。

在一些可选的实施例中，每个所述喷嘴均正对一个所述主齿轮和一个所述副齿轮的啮合处。

在一些可选的实施例中，所述喷淋管上设有控制阀。

在一些可选的实施例中，所述集水槽上设有溢流口，所述溢流口通过连接管与所述喷淋管相连，且所述连接管与所述喷淋管的连接处位于所述控制阀的下游，所述连接管上还设有循环水泵。

一种链式硅片加工装置，包括所述的链式硅片加工装置的传动机构。

本实用新型的链式硅片加工装置的传动机构，由于设置了可以朝向主齿轮和副齿轮喷淋组件，在主齿轮和副齿轮转动过程中，喷淋组件的喷嘴可以朝向主齿轮和副齿轮喷射液体，降低了主齿轮和副齿轮之间的摩擦，减缓了主齿轮和副齿轮之间的磨损，提高了链式硅片加工装置传动机构在长时间运行时的可靠性。

本实用新型的链式硅片加工装置，由于具有前文所述的链式硅片加工装置的传动机构，传动可靠性较高，维护成本较低。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1是本实用新型具体实施方式提供的链式硅片加工装置的传动机构的结构示意图。

附图标记：

1、支架；11、集水槽；12、溢流口；

2、主轴；3、主齿轮；4、副齿轮；

5、喷淋组件；

51、固定座；511、下固定块；512、上固定块；513、锁紧件；

52、喷淋管；53、喷嘴；

6支撑块；7、控制阀；8、循环水泵。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面参考图1描述本实用新型实施例的链式硅片加工装置的传动机构的具体结构。

如图1所示，本实用新型的链式硅片加工装置的传动机构包括支架1、主轴2、主齿轮3、副齿轮4和喷淋组件5，支架1内设有集水槽11，主轴2可转动地设在支架1上，且主轴2位于集水槽11的上方，主齿轮3为多个，多个主齿轮3沿主轴2的轴向方向间隔分布，副齿轮4为多个，多个副齿轮4与多个主齿轮3一一对应设置，且每个副齿轮4均与一个主齿轮3传动啮合，喷淋组件5与支架1相连且位于主齿轮3和副齿轮4的上方，喷淋组件5包括喷嘴53，喷嘴朝向主齿轮3和副齿轮4喷射液体。

可以理解的是，在实际使用过程中，主轴2与驱动件相连，副齿轮4与传送滚轮相连，这样当驱动件驱动主轴2转动时，设在主轴2上的主齿轮3即可带动副齿轮4转动以使得传送滚轮转动，从而使得传送滚轮可运输硅片。在本实用新型中，由于喷淋组件5的喷嘴53可朝向主齿轮3和副齿轮4喷射液体，附着到主齿轮3和副齿轮4上，液体对主齿轮3和副齿轮4起到一定的润滑作用，从而较好地降低了主齿轮3和副齿轮4之间的摩擦，减缓了主齿轮3和副齿轮4之间的磨损，提高了链式硅片加工装置传动机构在长时间运行时的可靠性。与此同时，支架1内设有集水槽11，喷淋组件5喷射的液体可进入集水槽11内，较好地避免了液体流出支架1，避免了车间地板积水的现象发生。

本实用新型的链式硅片加工装置的传动机构，由于设置了可以朝向主齿轮3和副齿轮4喷淋组件5，在主齿轮3和副齿轮4转动过程中，喷淋组件5的喷嘴可以朝向主齿轮3和副齿轮4喷射液体，降低了主齿轮3和副齿轮4之间的摩擦，减缓了主齿轮3和副齿轮4之间的磨损，提高了链式硅片加工装置传动机构在长时间运行时的可靠性。

优选的，由于喷淋组件5朝向主齿轮3和副齿轮4喷射的液体为清水，即便清水溅入链式硅片加工装置的反应槽，也不会对反应槽内的反应液起到太大的影响，从而保证了硅片在反应槽内的正常反应。

在一些实施例中，如图1所示，喷淋组件5包括固定座51和喷淋管52，固定座51连接在支架1上，喷淋管52连接在固定座51上，且喷淋管52沿主轴2的轴向方向延伸设置，喷淋管52的周面上设有多个沿主轴2轴向方向间隔分布的喷淋孔，喷嘴53为多个，多个喷嘴53与多个喷淋孔一一对应设置。可以理解的是，由于主轴2上设有沿其轴向分布的多个主齿轮3，喷淋管52沿主轴2的轴向延伸设置，且喷淋管52上设有多个喷淋孔，这样能够保证喷淋组件5能够喷射到每个主齿轮3和副齿轮4，从而保证每个主齿轮3和副齿轮4之间都能实现润滑。与此同时，喷淋孔上设有喷嘴53能够降低液体用量，从而节约水资源。

优选的，如图1所示，每个喷嘴53均正对一个主齿轮3和一个副齿轮4的啮合处。由此，进一步保证了喷嘴53喷出液体能够润滑每个主齿轮3和副齿轮4，从而最大限度地降低主齿轮3和副齿轮4之间的磨损，当然，在本实用新型的其他实施例中，喷嘴53的分布形式还可以根据实际情况选择，并不限于本实施例的喷嘴53与主齿轮3和副齿轮4的啮合处对应设置的形式。

在一些可选的实施例中，如图1所示，固定座51包括下固定块511和上固定块512，下固定块511连接支架1上，下固定块511上设有下配合半槽，上固定块512扣合在下固定块511上，且上固定块512上设有与下配合半槽对应设置的上配合半槽，上配合半槽和下配合半槽组成配合槽，喷淋管52设在配合槽内。可以理解是，在实际安装过程中，先将喷淋管52放置在下配合半槽内，然后将上固定块512扣合在下固定块511上并且将二者通过螺钉、铆钉或者销钉等连接件相连，这样使得喷淋管52的安装十分方便，并且喷淋管52的稳定性较好，避免了喷淋管52发生晃动，导致喷嘴53喷射的水流射出集水槽11的现象发生。

在一些可选的实施例中，如图1所示，固定座51还包括锁紧件513，锁紧件513穿设在下固定块511和/或上固定块512上，锁紧件513配置为将喷淋管52锁紧在配合槽内。由此，可以进一步保证喷淋管52的稳定性，避免了喷淋管52发生晃动，导致喷嘴53喷射的水流射出集水槽11的现象发生。

当然，在本实用新型的其他实施例中，喷淋件的连接固定结构还可以是其他形式，并不限于本实施例的上固定块512和下固定块511扣合的结构，还可以采用固定杆等其他支撑结构实现对喷淋件对支撑固定。

在一些可选的实施例中，如图1所示，链式硅片加工装置的传动机构还包括支撑块6，支撑块6为两个，两个支撑块6均与支架1相连，且主轴2穿设在支撑块6上。可以理解的是，支撑块6保证了主轴2稳定性，在实际设备中，链式硅片加工装置的流水线可能有十几米甚至几十米长，如果采用一根主轴2会导致主轴2的安装和更换都不方便。因此，在实际设备中，主轴2为同轴设置的多跟，并且每两个支撑块6支撑支架1，这样实现了链式硅片加工装置的较长输送产线的拼接。

在一些可选的实施例中，支撑块6与下固定块511为焊接一体件或者一体成型件。可以理解的是，采用焊接将支撑块6和下固定块511连接在一起能够保证支撑块6和下固定块511之间的连接稳定性，从而间接地保证了喷淋管52的稳定性。此外，支撑块6与下固定块511为一体成型件。既能较好地保证喷淋管52的稳定性，又能简化传动机构的结构，方便了传动机构装配。

在一些可选的实施例中，如图1所示，喷淋管52上设有控制阀7。由此，可用控制阀7控制供水的通断，可实现按照传送滚轮运行时间设置喷水间隔时间，在保证润滑的前提下节约水资源。

在一些可选的实施例中，如图1所示，集水槽11上设有溢流口12，溢流口12通过连接管与喷淋管52相连，且连接管与喷淋管52的连接处位于控制阀7的下游，连接管上还设有循环水泵8。可以理解的是，循环水泵8可以将集水槽11中的水输送至喷淋管52，这样实现了集水槽11内的水循环利用，节约了水资源。

实施例：

下面参考图1描述本实用新型一个具体实施例的链式硅片加工装置的传动机构。

本实施例的链式加工装置包括支架1、主轴2、主齿轮3、副齿轮4、喷淋组件5和支撑块6，支架1内设有集水槽11，支撑块6为两个，两个支撑块6均与支架1相连，且主轴2的两端分别穿设在支撑块6上。主齿轮3为四个，四个主齿轮3沿主轴2的轴向方向间隔分布，副齿轮4为四个，四个副齿轮4与四个主齿轮3一一对应设置，且每个副齿轮4均与主齿轮3传动啮合。喷淋组件5包括固定座51、喷淋管52和喷嘴53，固定座51连接在支撑块6上，喷淋管52连接在固定座51上，且喷淋管52沿主轴2的轴向方向延伸设置。喷淋管52为外径为20mm的管道，喷淋管52位于主轴2上方20mm处。喷淋管52的周面上设有四个沿主轴2轴向方向间隔分布的喷淋孔，喷嘴53为四个，四个喷嘴53与四个喷淋孔一一对应设置，每个喷嘴53均正对一个主齿轮3和一个副齿轮4的啮合处。喷淋孔的直径为5mm，喷嘴53的喷口直径为1mm。固定座51包括下固定块511、上固定块512和锁紧件513，下固定块511连接在集水槽11内，下固定块511上设有下配合半槽，上固定块512扣合在下固定块511上，且上固定块512上设有与下配合半槽对应设置的上配合半槽，上配合半槽和下配合半槽组成配合槽，喷淋管52设在配合槽内。锁紧件513穿设在上固定块512上，锁紧件513配置为将喷淋管52锁紧在配合槽内。集水槽11上设有溢流口12，溢流口12通过连接管与喷淋管52相连，且连接管与喷淋管52的连接处位于控制阀7的下游，连接管上还设有循环水泵8。

一种链式硅片加工装置，包括的链式硅片加工装置的传动机构。

本实用新型的链式硅片加工装置，由于具有前文所述的链式硅片加工装置的传动机构，传动可靠性较高，维护成本较低。

在本说明书的描述中，参考术语“有些实施例”、“其他实施例”、等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.一种链式硅片加工装置的传动机构，其特征在于，包括：

支架(1)，所述支架(1)内设有集水槽(11)；

主轴(2)，所述主轴(2)可转动地设在所述支架(1)上，且所述主轴(2)位于所述集水槽(11)的上方；

主齿轮(3)，所述主齿轮(3)为多个，多个所述主齿轮(3)沿所述主轴(2)的轴向方向间隔分布；

副齿轮(4)，所述副齿轮(4)为多个，多个所述副齿轮(4)与多个所述主齿轮(3)一一对应设置，且每个所述副齿轮(4)均与一个所述主齿轮(3)传动啮合；

喷淋组件(5)，所述喷淋组件(5)与所述支架(1)相连且位于所述主齿轮(3)和所述副齿轮(4)的上方，所述喷淋组件(5)包括喷嘴(53)，所述喷嘴(53)朝向所述主齿轮(3)和所述副齿轮(4)喷射液体。

2.根据权利要求1所述的链式硅片加工装置的传动机构，其特征在于，所述喷淋组件(5)包括：

固定座(51)，所述固定座(51)连接在所述支架(1)上；

喷淋管(52)，所述喷淋管(52)连接在所述固定座(51)上，且所述喷淋管(52)沿所述主轴(2)的轴向方向延伸设置，所述喷淋管(52)的周面上设有多个沿所述主轴(2)的轴向方向间隔分布的喷淋孔；所述喷嘴(53)为多个，多个所述喷嘴(53)与多个所述喷淋孔一一对应设置。

3.根据权利要求2所述的链式硅片加工装置的传动机构，其特征在于，所述固定座(51)包括：

下固定块(511)，所述下固定块(511)连接在所述支架(1)上，所述下固定块(511)上设有下配合半槽；

上固定块(512)，所述上固定块(512)扣合在所述下固定块(511)上，且所述上固定块(512)上设有与所述下配合半槽对应设置的上配合半槽，所述上配合半槽和所述下配合半槽组成配合槽，所述喷淋管(52)设在所述配合槽内。

4.根据权利要求3所述的链式硅片加工装置的传动机构，其特征在于，所述固定座(51)还包括锁紧件(513)，所述锁紧件(513)穿设在所述下固定块(511)和/或所述上固定块(512)上，所述锁紧件(513)配置为将所述喷淋管(52)锁紧在所述配合槽内。

5.根据权利要求3所述的链式硅片加工装置的传动机构，其特征在于，所述链式硅片加工装置的传动机构还包括支撑块(6)，所述支撑块(6)与所述支架(1)相连，且所述主轴(2)穿设在所述支撑块(6)上。

6.根据权利要求5所述的链式硅片加工装置的传动机构，其特征在于，所述支撑块(6)与所述下固定块(511)为焊接一体件或者一体成型件。

7.根据权利要求2所述的链式硅片加工装置的传动机构，其特征在于，每个所述喷嘴(53)正对一个所述主齿轮(3)和一个所述副齿轮(4)的啮合处。

8.根据权利要求2所述的链式硅片加工装置的传动机构，其特征在于，所述喷淋管(52)上设有控制阀(7)。

9.根据权利要求8所述的链式硅片加工装置的传动机构，其特征在于，所述集水槽(11)上设有溢流口(12)，所述溢流口(12)通过连接管与所述喷淋管(52)相连，且所述连接管与所述喷淋管(52)的连接处位于所述控制阀(7)的下游，所述连接管上还设有循环水泵(8)。

10.一种链式硅片加工装置，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的链式硅片加工装置的传动机构。

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