CN210497467U - 一种引线框架清洗装置 - Google Patents
一种引线框架清洗装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN210497467U CN210497467U CN201920951128.4U CN201920951128U CN210497467U CN 210497467 U CN210497467 U CN 210497467U CN 201920951128 U CN201920951128 U CN 201920951128U CN 210497467 U CN210497467 U CN 210497467U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- lead frame
- transverse
- machine body
- movable rod
- vertical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 57
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 14
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 abstract description 16
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 11
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 8
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 5
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007605 air drying Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 description 1
- 230000037433 frameshift Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 description 1
- 238000011012 sanitization Methods 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
本实用新型涉及半导体技术领域，公开了一种引线框架清洗装置，包括机体和清洗槽，清洗槽设置在机体内部，机体相对两侧设有开口，机体内在清洗槽的上方设有穿过机体相对两侧开口的多维度运动机构，多维度运动机构下方设有引线框架固定板，引线框架固定板活动固定在多维度运动机构下部；机体内壁沿多维度运动机构方向在清洗槽的相对两侧上方设有风机。本实用新型可实现在引线框架清洗前后对引线框架进行清洁目的，用风机在引线框架清洗前进行清洁，避免引线框架上的灰尘污染电解液。用风机对在引线框架清洗后进行清洁，避免了因需引线框架上的电解液而造成二次污染，可更为有效对引线框架清洁。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体技术领域，具体是指一种引线框架清洗装置。
背景技术
键合材料为铜的引线框架，其铜的氧化物与其他一些污染物造成模塑料与铜引线框架分层，降低引线框架的可靠性，进而影响到芯片粘结和引线键合的质量。因此保持引线框架洁净是可靠封装的重要一步。
但是，现有的引线框架清洗在清洗前后都未用风机对引线框架表面进行清洁，前者可以吹落覆着在引线框架表面的灰尘，有利于减小对电解液更换的次数。后者可以快速风干引线框架表面的电解液，并在风干后快速对引线框架进行封装，防止引线框架表面覆有灰尘。因此我们迫切需要一种能够在引线框架清洗前后对引线框架进行清洁的清洗装置。
实用新型内容
基于以上问题，本实用新型提供了一种引线框架清洗装置。本实用新型可实现在引线框架清洗前后对引线框架进行清洁目的，用风机在引线框架清洗前进行清洁，避免引线框架上的灰尘污染电解液。用风机对在引线框架清洗后进行清洁，避免了因需引线框架上的电解液而造成二次污染，可更为有效对引线框架清洁。
为解决以上技术问题，本实用新型采用的技术方案如下：
一种引线框架清洗装置，包括机体和清洗槽，清洗槽设置在机体内部，机体相对两侧设有开口，机体内在清洗槽的上方设有穿过机体相对两侧开口的多维度运动机构，多维度运动机构下方设有引线框架固定板，引线框架固定板活动固定在多维度运动机构下部；机体内壁沿多维度运动机构方向在清洗槽的相对两侧上方设有风机。
在本实用新型中，将引线框架固定在引线框架固定板上，再将引线框架固定板固定在多维度运动机构上，通过多维度运动机构将引线框架固定板移动到机体内的第一个风机下方，启动风机，将引线框架上的灰尘吹落，减轻引线框架上的灰尘对电解液的影响。当引线框架经过风机实现第一次清理后，通过多维度运动机构将引线框架固定板移动到清洗槽上方，再通过多维度运动机构将引线框架下降到清洗槽内，当引线框架在清洗槽内清洗完后，再将引线框架固定板用多维度运动机构吊起并移动引线框架固定板，使引线框架固定板移动到第二个风机下方，即可实现用风机将引线框架上的电解液风干，再用多维度运动机构将引线框架固定板移动到机体外部，从而将引线框架清洗干净，实现在引线框架清洗前后对引线框架进行清洁的目的。本实用新型可实现在引线框架清洗前后对引线框架进行清洁目的，用风机在引线框架清洗前进行清洁，避免引线框架上的灰尘污染电解液。用风机对在引线框架清洗后进行清洁，避免了因需引线框架上的电解液而造成二次污染，可更为有效对引线框架清洁。
作为一种优选的方式，多维度运动机构包括横向固定杆，横向固定杆固定在机体内壁的相对两侧，相邻横向固定杆之间设有横向活动杆，横向活动杆能够在横向固定杆上运动；横向活动杆下部设有相对的竖向固定杆，竖向固定杆之间设有竖向活动杆，竖向活动杆能够在相对两竖向固定杆之间运动，竖向活动杆底部设有挂钩。
作为一种优选的方式，横向活动杆和机体内一侧横向固定杆接触设有嵌在横向活动杆内的第一伺服电机，第一伺服电机的输出轴上设有第一主动齿轮，横向固定杆侧壁和第一主动齿轮接触部分设有第一齿条；横向活动杆卡在另一侧横向固定杆内并可在横向固定杆上滑行。
作为一种优选的方式，竖向活动杆和一侧竖向固定杆接触部分设有嵌在竖向活动杆内的第二伺服电机，第二伺服电机的输出轴上设有第二主动齿轮，竖向固定杆和第二主动齿轮接触部分设有第二齿条；竖向活动杆另一侧卡在竖向固定杆内并可在竖向固定杆上滑行。
作为一种优选的方式，引线框架固定板包括绝缘边框，绝缘边框内设有导电板，导电板上设有多个卡槽，卡槽内设有引线框架。
作为一种优选的方式，导电板上设有导电头，横向活动杆下部设有缠绕导电线的滚轮，所述导电线与导电头连接。
作为一种优选的方式，清洗槽底部设有电极。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
(1)本实用新型可实现在引线框架清洗前后对引线框架进行清洁目的，用风机在引线框架清洗前进行清洁，避免引线框架上的灰尘污染电解液。用风机对在引线框架清洗后进行清洁，避免了因需引线框架上的电解液而造成二次污染，可更为有效对引线框架清洁；
(2)本实用新型通过多维度运动机构包括横向固定杆，横向固定杆固定在机体内壁的相对两侧，相邻横向固定杆之间设有横向活动杆，横向活动杆能够在横向固定杆上运动；横向活动杆下部设有相对的竖向固定杆，竖向固定杆之间设有竖向活动杆，竖向活动杆能够在相对两竖向固定杆之间运动，竖向活动杆底部设有挂钩，将引线框架固定板挂在竖向活动杆底部，移动横向固定架上的横向活动杆，即可实现使引线框架固定板通过机体，再移动竖向固定杆上的竖向活动杆，即可实现对引线框架的上下移动；
(3)本实用新型通过横向活动杆和机体内一侧横向固定杆接触设有嵌在横向活动杆内的第一伺服电机，第一伺服电机的输出轴上设有第一主动齿轮，横向固定杆侧壁和第一主动齿轮接触部分设有第一齿条；横向活动杆卡在另一侧横向固定杆内并可在横向固定杆上滑行，启动第一伺服电机，使第一伺服电机转动带动第一主动齿轮转动，第一主动齿轮在第一齿条上转动，从而实现横向活动杆在横向固定杆上移动，同时，横向活动杆另一端卡在另一侧的横向固定杆上滑行，有利于横向活动杆移动的稳定性；
(4)本实用新型通过竖向活动杆和一侧竖向固定杆接触部分设有嵌在竖向活动杆内的第二伺服电机，第二伺服电机的输出轴上设有第二主动齿轮，竖向固定杆和第二主动齿轮接触部分设有第二齿条；竖向活动杆另一侧卡在竖向固定杆内并可在竖向固定杆上滑行，启动第二伺服电机，使第二伺服电机的输出轴转动带动第二主动齿轮转动，第二主动齿轮转动即可在第二齿条上移动，竖向活动杆另一端卡在另一侧的竖向固定杆，有利于保持竖向活动杆移动的稳定性；
(5)本实用新型通过引线框架固定板包括绝缘边框，绝缘边框内设有导电板，导电板上设有多个卡槽，卡槽内设有引线框架，将引线框架卡在卡槽内，即可实现将引线框架固定在引线框架固定板上，同时，引线框架是固定在导电板上，即可使引线框架带电，绝缘边框可防止导电板的电源外泄；
(6)本实用新型通过导电板上设有导电头，横向活动杆下部设有缠绕导电线的滚轮，所述导电线与导电头连接，将引线框架固定架下移时，导电线从滚轮上松懈，当引线框架上移且将清洗完后的引线框架运出机体，导电线另一端松懈，与引线框架固定架连接导电线在滚轮上收紧；
(7)本实用新型通过清洗槽底部设有电极，电极有利于使清洗槽内的导电清洗液带电，导电清洗液为碱性液体，导电线、导电板、引线框架和清洗槽内的导电清洗液形成导电回路，有利于清洗引线框架表面上的氧化物；
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为图1中局部A的结构示意图。
图3为本实用新型的正面结构剖视图。
图4为本实用新型的侧面结构剖视图。
其中，1机体，1-1开口，200多维度运动机构，210横向固定杆，211第一齿条，220横向活动杆，221第一伺服电机，222第一主动齿轮，223滚轮，230竖向固定杆，231第二齿条，240竖向活动杆，241第二伺服电机，242第二主动齿轮，243挂钩，300引线框架固定板，310绝缘边框，320导电板，321导电头，322卡槽，4导电线，50清洗槽，51电极，6风机，7引线框架。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。本实用新型的实施方式包括但不限于下列实施例。
实施例1：
参见图1～4，种引线框架7清洗装置，包括机体1和清洗槽50，清洗槽50设置在机体1内部，机体1相对两侧设有开口1-1，机体1内在清洗槽50的上方设有穿过机体1相对两侧开口1-1的多维度运动机构200，多维度运动机构200下方设有引线框架固定板300，引线框架固定板300活动固定在多维度运动机构200下部；机体1内壁沿多维度运动机构200方向在清洗槽50的相对两侧上方设有风机6。
在本实例中，将引线框架7固定在引线框架固定板300上，再将引线框架固定板300固定在多维度运动机构200上，通过多维度运动机构200将引线框架固定板300移动到机体1内的第一个风机6下方，启动风机6，将引线框架7上的灰尘吹落，减轻引线框架7上的灰尘对电解液的影响。当引线框架7经过风机6实现第一次清理后，通过多维度运动机构200将引线框架固定板300移动到清洗槽50上方，再通过多维度运动机构200将引线框架7下降到清洗槽50内，当引线框架7在清洗槽50内清洗完后，再将引线框架固定板300用多维度运动机构200吊起并移动引线框架固定板300，使引线框架固定板300移动到第二个风机6下方，即可实现用风机6将引线框架7上的电解液风干，再用多维度运动机构200将引线框架固定板300移动到机体1外部，从而将引线框架7清洗干净，实现在引线框架7清洗前后对引线框架7进行清洁的目的。本实用新型可实现在引线框架7清洗前后对引线框架7进行清洁目的，用风机6在引线框架7清洗前进行清洁，避免引线框架7上的灰尘污染电解液。用风机6对在引线框架7清洗后进行清洁，避免了因需引线框架7上的电解液而造成二次污染，可更为有效对引线框架7清洁。
实施例2：
参见图1～4，种引线框架7清洗装置，包括机体1和清洗槽50，清洗槽50设置在机体1内部，机体1相对两侧设有开口1-1，机体1内在清洗槽50的上方设有穿过机体1相对两侧开口1-1的多维度运动机构200，多维度运动机构200下方设有引线框架固定板300，引线框架固定板300活动固定在多维度运动机构200下部；机体1内壁沿多维度运动机构200方向在清洗槽50的相对两侧上方设有风机6。
通过多维度运动机构200包括横向固定杆210，横向固定杆210固定在机体1内壁的相对两侧，相邻横向固定杆210之间设有横向活动杆220，横向活动杆220能够在横向固定杆210上运动；横向活动杆220下部设有相对的竖向固定杆230，竖向固定杆230之间设有竖向活动杆240，竖向活动杆240能够在相对两竖向固定杆230之间运动，竖向活动杆240底部设有挂钩243，将引线框架固定板300挂在竖向活动杆240底部，移动横向固定架上的横向活动杆220，即可实现使引线框架固定板300通过机体1，再移动竖向固定杆230上的竖向活动杆240，即可实现对引线框架7的上下移动。
作为一种优选的方式，通过横向活动杆220和机体1内一侧横向固定杆210接触设有嵌在横向活动杆220内的第一伺服电机221，第一伺服电机221的输出轴上设有第一主动齿轮222，横向固定杆210侧壁和第一主动齿轮222接触部分设有第一齿条211；横向活动杆220卡在另一侧横向固定杆210内并可在横向固定杆210上滑行，启动第一伺服电机221，使第一伺服电机221转动带动第一主动齿轮222转动，第一主动齿轮222在第一齿条211上转动，从而实现横向活动杆220在横向固定杆210上移动，同时，横向活动杆220另一端卡在另一侧的横向固定杆210上滑行，有利于横向活动杆220移动的稳定性。
作为一种优选的方式，通过竖向活动杆240和一侧竖向固定杆230接触部分设有嵌在竖向活动杆240内的第二伺服电机241，第二伺服电机241的输出轴上设有第二主动齿轮242，竖向固定杆230和第二主动齿轮242接触部分设有第二齿条231；竖向活动杆240另一侧卡在竖向固定杆230内并可在竖向固定杆230上滑行，启动第二伺服电机241，使第二伺服电机241的输出轴转动带动第二主动齿轮242转动，第二主动齿轮242转动即可在第二齿条231上移动，竖向活动杆240另一端卡在另一侧的竖向固定杆230，有利于保持竖向活动杆240移动的稳定性。
本实施例的其他部分与实施例1相同，这里就不再赘述。
实施例3：
参见图1～4，种引线框架7清洗装置，包括机体1和清洗槽50，清洗槽50设置在机体1内部，机体1相对两侧设有开口1-1，机体1内在清洗槽50的上方设有穿过机体1相对两侧开口1-1的多维度运动机构200，多维度运动机构200下方设有引线框架固定板300，引线框架固定板300活动固定在多维度运动机构200下部；机体1内壁沿多维度运动机构200方向在清洗槽50的相对两侧上方设有风机6。
通过引线框架固定板300包括绝缘边框310，绝缘边框310内设有导电板320，导电板320上设有多个卡槽322，卡槽322内设有引线框架7，将引线框架7卡在卡槽322内，即可实现将引线框架7固定在引线框架固定板300上，同时，引线框架7是固定在导电板320上，即可使引线框架7带电，绝缘边框310可防止导电板320的电源外泄。
作为一种优选的方式，通过导电板320上设有导电头321，横向活动杆220下部设有缠绕导电线4的滚轮223，导电线4与导电头321连接，将引线框架7固定架下移时，导电线4从滚轮223上松懈，当引线框架7上移且将清洗完后的引线框架7运出机体1，导电线4另一端松懈，与引线框架7固定架连接导电线4在滚轮223上收紧。
本实施例的其他部分与实施例1相同，这里就不再赘述。
实施例4：
参见图1～4，种引线框架7清洗装置，包括机体1和清洗槽50，清洗槽50设置在机体1内部，机体1相对两侧设有开口1-1，机体1内在清洗槽50的上方设有穿过机体1相对两侧开口1-1的多维度运动机构200，多维度运动机构200下方设有引线框架固定板300，引线框架固定板300活动固定在多维度运动机构200下部；机体1内壁沿多维度运动机构200方向在清洗槽50的相对两侧上方设有风机6。
通过清洗槽50底部设有电极51，电极51有利于使清洗槽50内的导电清洗液带电，导电清洗液为碱性液体，导电线4、导电板320、引线框架7和清洗槽50内的导电清洗液形成导电回路，有利于清洗引线框架7表面上的氧化物。
本实施例的其他部分与实施例1相同，这里就不再赘述。
如上即为本实用新型的实施例。上述实施例以及实施例中的具体参数仅是为了清楚表述实用新型的验证过程，并非用以限制本实用新型的专利保护范围，本实用新型的专利保护范围仍然以其权利要求书为准，凡是运用本实用新型的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本实用新型的保护范围内。
Claims (7)
1.一种引线框架清洗装置，包括机体(1)和清洗槽(50)，所述清洗槽(50)设置在机体(1)内部，其特征在于：所述机体(1)相对两侧设有开口(1-1)，所述机体(1)内在清洗槽(50)的上方设有穿过机体(1)相对两侧开口(1-1)的多维度运动机构(200)，所述多维度运动机构(200)下方设有引线框架固定板(300)，所述引线框架固定板(300)活动固定在多维度运动机构(200)下部；所述机体(1)内壁沿多维度运动机构(200)方向在清洗槽(50)的相对两侧上方设有风机(6)。
2.根据权利要求1所述的一种引线框架清洗装置，其特征在于：所述多维度运动机构(200)包括横向固定杆(210)，所述横向固定杆(210)固定在机体(1)内壁的相对两侧，相邻所述横向固定杆(210)之间设有横向活动杆(220)，所述横向活动杆(220)能够在横向固定杆(210)上运动；所述横向活动杆(220)下部设有相对的竖向固定杆(230)，所述竖向固定杆(230)之间设有竖向活动杆(240)，所述竖向活动杆(240)能够在相对两竖向固定杆(230)之间运动，所述竖向活动杆(240)底部设有挂钩(243)。
3.根据权利要求2所述的一种引线框架清洗装置，其特征在于：所述横向活动杆(220)和机体(1)内一侧横向固定杆(210)接触设有嵌在横向活动杆(220)内的第一伺服电机(221)，所述第一伺服电机(221)的输出轴上设有第一主动齿轮(222)，所述横向固定杆(210)侧壁和第一主动齿轮(222)接触部分设有第一齿条(211)；所述横向活动杆(220)卡在另一侧横向固定杆(210)内并可在横向固定杆(210)上滑行。
4.根据权利要求2所述的一种引线框架清洗装置，其特征在于：所述竖向活动杆(240)和一侧竖向固定杆(230)接触部分设有嵌在竖向活动杆(240)内的第二伺服电机(241)，所述第二伺服电机(241)的输出轴上设有第二主动齿轮(242)，所述竖向固定杆(230)和第二主动齿轮(242)接触部分设有第二齿条(231)；所述竖向活动杆(240)另一侧卡在竖向固定杆(230)内并可在竖向固定杆(230)上滑行。
5.根据权利要求2所述的一种引线框架清洗装置，其特征在于：所述引线框架固定板(300)包括绝缘边框(310)，所述绝缘边框(310)内设有导电板(320)，所述导电板(320)上设有多个卡槽(322)，所述卡槽(322)内设有引线框架(7)。
6.根据权利要求5所述的一种引线框架清洗装置，其特征在于：所述导电板(320)上设有导电头(321)，所述横向活动杆(220)下部设有缠绕导电线(4)的滚轮(223)，所述导电线(4)与导电头(321)连接。
7.根据权利要求1所述的一种引线框架清洗装置，其特征在于：所述清洗槽(50)底部设有电极(51)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201920951128.4U CN210497467U (zh) | 2019-06-20 | 2019-06-20 | 一种引线框架清洗装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201920951128.4U CN210497467U (zh) | 2019-06-20 | 2019-06-20 | 一种引线框架清洗装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN210497467U true CN210497467U (zh) | 2020-05-12 |
Family
ID=70579554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201920951128.4U Expired - Fee Related CN210497467U (zh) | 2019-06-20 | 2019-06-20 | 一种引线框架清洗装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN210497467U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116705618A (zh) * | 2023-04-28 | 2023-09-05 | 天水华洋电子科技股份有限公司 | 一种蚀刻引线框架后粗化工艺 |
-
2019
- 2019-06-20 CN CN201920951128.4U patent/CN210497467U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116705618A (zh) * | 2023-04-28 | 2023-09-05 | 天水华洋电子科技股份有限公司 | 一种蚀刻引线框架后粗化工艺 |
| CN116705618B (zh) * | 2023-04-28 | 2024-04-05 | 天水华洋电子科技股份有限公司 | 一种蚀刻引线框架后粗化工艺 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5203868B2 (ja) | ウェハーシッピングボックスの洗浄のためのボックスクリーナー | |
| CN210497467U (zh) | 一种引线框架清洗装置 | |
| CN102205630A (zh) | 一种用于真空成型机的上料装置 | |
| CN104979264B (zh) | 一种全自动清洗晶圆边缘夹持机构 | |
| CN105710079A (zh) | 一种全自动超声波清洗机 | |
| CN107716441B (zh) | 一种切割平稳的硅片剥离清洗机 | |
| CN103103527B (zh) | 金属拉链抛光装置及使用该装置的金属拉链抛光方法 | |
| CN210914731U (zh) | 一种电子精密络筒机 | |
| CN208879203U (zh) | 一种环保高效铝板清洗装置 | |
| CN203071051U (zh) | 湿硅片分片机 | |
| CN110894656B (zh) | 一种布料防粘连的熨平装置 | |
| CN212633663U (zh) | 一种棒料自动清洗机 | |
| CN212608040U (zh) | 一种棉签杆用的取料装置 | |
| CN208570823U (zh) | 一种蓄电池铅粉清理装置 | |
| CN210935982U (zh) | 一种ccd检测装置 | |
| CN108715374A (zh) | 一种加热丝绕线稳定装置 | |
| CN219010153U (zh) | 一种具有温度控制功能的锡槽 | |
| CN218253297U (zh) | 一种s型移动自动焊锡机 | |
| CN109979754A (zh) | 一种用于电容器导针的化成机构 | |
| KR100869644B1 (ko) | 자가 건조형 반도체 웨이퍼 이송용 로봇암 장치 | |
| CN221651337U (zh) | 一种固态电容器芯包的自动化成装置 | |
| CN215543170U (zh) | 一种用于半导体硅晶片磨砂后的清洗装置 | |
| CN117766387B (zh) | 一种半导体二极管生产工艺 | |
| CN217755724U (zh) | 一种物料上料装置以及电芯生产装置 | |
| CN209740165U (zh) | 一种带有清洁装置的硅晶圆检测上料装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20200512 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |