CN210480318U - 一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构 - Google Patents

一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构 Download PDF

Info

Publication number
CN210480318U
CN210480318U CN201920845296.5U CN201920845296U CN210480318U CN 210480318 U CN210480318 U CN 210480318U CN 201920845296 U CN201920845296 U CN 201920845296U CN 210480318 U CN210480318 U CN 210480318U
Authority
CN
China
Prior art keywords
fixed connection
compression roller
chip carrier
receiving agencies
vacuum chamber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201920845296.5U
Other languages
English (en)
Inventor
蔡水河
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Changzhou Xinsheng Semiconductor Technology Co Ltd
Original Assignee
Changzhou Xinsheng Semiconductor Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Changzhou Xinsheng Semiconductor Technology Co Ltd filed Critical Changzhou Xinsheng Semiconductor Technology Co Ltd
Priority to CN201920845296.5U priority Critical patent/CN210480318U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN210480318U publication Critical patent/CN210480318U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

本实用新型提供了一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构,包括放料机构、收料机构、压紧装置和切断机构,所述放料机构、收料机构、压紧装置和切断机构均设置于真空舱内,所述放料机构和收料机构分别位于溅镀区左右两侧,所述压紧装置和切断机构均位于收料机构上方并与真空舱顶部固定连接,所述收料机构包括若干卷料机构,所述卷料机构用于缠绕从放料机构上放下的带料。本实用新型通过在收料机构上设置若干卷料机构对带料进行分开缠绕,避免了收纳带料时,由于缠绕外径过大带料发生偏移,进而提高了带料溅镀精度;本实用新型的收料机构能够实现对放料机构上同一批带料的一次性收纳,避免了加工过程中换型,提高了加工效率。

Description

一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构
技术领域
本实用新型涉及分卷机构技术领域,尤其涉及芯片载带真空溅镀用连续分卷机构技术领域。
背景技术
芯片载带等电子产品在真空溅镀时,带料的放料和收料过程常常伴随着位置、速度等误差,从而影响溅镀加工,由于产品溅镀后厚度会变得不均匀,当使用单个缠绕杆收料时,带料缠绕半径越大误差越大,通常的方法是减小每次加工数量,减小每次加工时带料缠绕的半径,同时由于在进行真空溅镀时,抽真空等准备时间长达2个多小时,因此急需一种能协调加工效率和加工精度的芯片载带真空溅镀用连续分卷机构。
中国专利“CN203079360U”公开了一种线路板材放料架,包括支撑架和放料架,其特征在于:所述的放料架设置于支撑架上端,放料架两侧通过固定座安装于支撑架上,放料架上、下端分别设有卷料轴,支撑架下端两侧设有过渡轮,过渡轮下端设有传动轴,传动轴两端固装有齿轮套,齿轮套与过渡轮啮合,传动轴一端连接驱动电机,所述的支撑架上端放料架外侧设有卷料动力装置,卷料动力装置与卷料轴连接,所述的放料架为圆盘结构。该技术方案无法实现对同一带料的连续分卷,且带料运动时不稳定影响加工。
发明内容
为克服现有技术中存在的无法实现对同一带料的连续分卷,且带料运动时不稳定影响加工的问题,本实用新型提供了一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构。
本实用新型通过以下技术方案实现上述目的:一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构,包括放料机构、收料机构、压紧装置和切断机构,所述放料机构、收料机构、压紧装置和切断机构均设置于真空舱内,所述放料机构和收料机构分别位于溅镀区左右两侧,所述压紧装置和切断机构均位于收料机构上方并与真空舱顶部固定连接,所述收料机构包括若干卷料机构,所述卷料机构用于缠绕从放料机构上放下的带料。
在此基础上,所述收料机构还包括主电机、轮盘、主动轴和支架,所述主电机主体与真空舱侧壁固定连接,所述主电机的输出端与主动轴的端部固定连接,所述主动轴架设在支架上并与支架转动连接,所述主动轴穿过轮盘的圆心并与轮盘固定连接,所述轮盘和支架数量均为2个,2个所述轮盘均设置在2个支架之间。
在此基础上,2个所述轮盘之间设置有若干卷料机构,所述卷料机构围绕主动轴圆周布置,所述卷料机构在主电机的驱动下随着轮盘做圆周运动。
在此基础上,所述卷料机构包括缠绕杆、限位盘、连接杆和次电机,所述连接杆一端与限位盘固定连接,另一端与轮盘固定连接,所述次电机主体与轮盘固定连接,所述次电机的输出端与缠绕杆的端部固定连接,所述缠绕杆两端分别与限位盘和另一个轮盘转动连接。
在此基础上,所述缠绕杆的外径上覆盖有双面胶。
在此基础上,所述压紧装置包括两个气缸和一个滚轴,两个所述气缸的主体均与真空舱顶部固定连接,两个所述气缸的输出端分别连接滚轴的两端,所述压紧装置下压时,滚轴的侧面将带料压在缠绕杆的侧面上。
在此基础上,所述切断机构包括滑轨、T型滑块、连接滑块和滚刀,所述滑轨沿着主动轴所在轴线方向固定在真空舱顶部,所述T型滑块的水平部与滑轨滑动连接,所述连接滑块的顶部侧面与T型滑块的垂直面滑动连接,所述滚刀与连接滑块的底部固定连接。
在此基础上,还包括压辊机构,所述压辊机构数量为两个,分别位于放料机构与溅镀区之间和溅镀区与收料机构之间,所述压辊机构包括上压辊、下压辊和两个电缸,所述上压辊和下压辊均与带料接触,所述上压辊的两端分别连接两个电缸的输出端,两个所述电缸主体均与真空舱顶部固定连接,所述下压辊位于上压辊下方并与真空舱侧壁固定连接。
在此基础上,还包括控制装置,所述控制装置固定设置在真空舱外侧壁上,所述控制装置与放料机构、收料机构、压辊机构、压紧装置和切断机构均电连接。
在此基础上,所述放料机构为卷料放料架或带料放料架中的一种。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
本实用新型通过在收料机构上设置若干卷料机构对带料进行分开缠绕,避免了收纳带料时,由于缠绕外径过大带料发生偏移,进而提高了带料溅镀精度;
本实用新型的收料机构能够实现对放料机构上同一批带料的一次性收纳,避免了加工过程中换型,提高了加工效率;
本实用新型通过在溅镀区两侧设置压辊机构,对带料进行溅镀前后进行定位和导向,使带料溅镀时保持稳定,提高了加工质量;
本实用新型通过在真空舱外部设置控制装置,使得操作人员能够随时控制真空舱内加工过程,提升了设备使用效果。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是本实用新型收料机构的俯视示意图;
图中:1、放料机构,2、收料机构,3、控制装置,4、压辊机构,5、压紧装置,6、切断机构,21、主电机,22、轮盘,23、缠绕杆,24、限位盘,25、连接杆,26、次电机,27、主动轴,28、支架。
具体实施方式
以下结合附图和实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
如图1-2所示,本实用新型示意性的示出了一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构,包括包括放料机构1、收料机构2、压紧装置5和切断机构6,所述放料机构1、收料机构2、压紧装置5和切断机构6均设置于真空舱内,所述放料机构1和收料机构2分别位于溅镀区左右两侧,所述压紧装置5和切断机构6 均位于收料机构2上方并与真空舱顶部固定连接,所述收料机构2包括若干卷料机构,所述卷料机构用于缠绕从放料机构1上放下的带料。
如图2所示,所述收料机构2还包括主电机21、轮盘22、主动轴27和支架 28,所述主电机21主体与真空舱侧壁固定连接,所述主电机21的输出端与主动轴27的端部固定连接,所述主动轴27架设在支架28上并与支架28转动连接,所述主动轴27穿过轮盘22的圆心并与轮盘22固定连接,所述轮盘22和支架 28数量均为2个,2个所述轮盘22均设置在2个支架28之间。进一步的,2个所述轮盘22之间设置有若干卷料机构,所述卷料机构围绕主动轴27圆周布置,所述卷料机构在主电机21的驱动下随着轮盘22做圆周运动。刚进一步的,所述卷料机构包括缠绕杆23、限位盘24、连接杆25和次电机26,所述连接杆25一端与限位盘24固定连接,另一端与轮盘22固定连接,所述次电机26主体与轮盘22固定连接,所述次电机26的输出端与缠绕杆23的端部固定连接,所述缠绕杆23两端分别与限位盘24和另一个轮盘22可拆卸式转动连接。通过在收料机构2上设置若干卷料机构对带料进行分开缠绕,避免了收纳带料时,由于缠绕外径过大带料发生偏移,进而提高了带料溅镀精度,同时收料机构2能够实现对放料机构1上同一批带料的一次性收纳,避免了加工过程中换型,提高了加工效率。更加进一步的,所述缠绕杆23的外径上覆盖有双面胶。双面胶可以将带料牢固的粘在缠绕杆23上,确保了带料由第一个卷料机构切换到第二个卷料机构时,带料与第二个卷料机构连接稳定,不发生偏移。
作为本实用新型的优选实施方式,所述压紧装置5包括两个气缸和一个滚轴,两个所述气缸的主体均与真空舱顶部固定连接,两个所述气缸的输出端分别连接滚轴的两端,所述压紧装置5下压时,滚轴的侧面将带料压在缠绕杆23的侧面上。压紧装置5在压紧后一方面可以有效地使带料与缠绕杆粘接牢固,另一方面可以使切断机构6在切割时带料不会发生移动,保证切割质量。
作为本实用新型的优选实施方式,所述切断机构6包括滑轨、T型滑块、连接滑块和滚刀,所述滑轨沿着主动轴27所在轴线方向固定在真空舱顶部,所述 T型滑块的水平部与滑轨滑动连接,所述连接滑块的顶部侧面与T型滑块的垂直面滑动连接,所述滚刀与连接滑块的底部固定连接。T型滑块沿导轨的驱动动力和连接滑块上下移动的驱动动力可以由气缸、油缸、电缸、电机中的一种提供;滚刀转动切割的动力可以由电机提供。
作为本实用新型的优选实施方式,还包括压辊机构4,所述压辊机构4数量为两个,分别位于放料机构1与溅镀区之间和溅镀区与收料机构2之间,所述压辊机构4包括上压辊、下压辊和两个电缸,所述上压辊和下压辊均与带料接触,所述上压辊的两端分别连接两个电缸的输出端,两个所述电缸主体均与真空舱顶部固定连接,所述下压辊位于上压辊下方并与真空舱侧壁固定连接。压辊机构4 对带料进行溅镀前后进行定位和导向,使带料溅镀时保持稳定,提高了加工质量。
作为本实用新型的优选实施方式,还包括控制装置3,所述控制装置3固定设置在真空舱外侧壁上,所述控制装置3与放料机构1、收料机构2、压辊机构 4、压紧装置5和切断机构6均电连接,控制装置3上设置有急停开关和声光报警器,分别用来进行紧急停机和错误报警警示。
作为本实用新型的优选实施方式,所述放料机构1为卷料放料架或带料放料架中的一种。放料机构1底部设置有升降机构,便于工人抬起带料安装在放料机构1上。
本实用新型的工作原理是:
溅镀开始时,对真空舱内进行抽真空,随后溅镀过程中,放料机构1进行放料,卷料机构上的次电机26驱动缠绕杆23转动进行收料,当收到一定量时,收料机构2上的主电机21驱动轮盘22转动一定角度,使另一个卷料机构移动到压紧装置5下方,随后压紧装置5下移使滚轴将带料压紧在缠绕杆23上,双面胶将带料固定在缠绕杆23上,同时,切断机构6上的连接滑块下移,使滚刀与带料边缘接触,T型滑块沿着导轨匀速移动,完成滚刀对带料的切断,重复上述步骤,即可完成放料机构1上带料的一次性收纳。
上述说明示出并描述了本实用新型的优选实施例,如前所述,应当理解本实用新型并非局限于本文所披露的形式,不应看作是对其他实施例的排除,而可用于各种其他组合、修改和环境,并能够在本文所述实用新型构想范围内,通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本实用新型的精神和范围,则都应在本实用新型所附权利要求的保护范围内。

Claims (10)

1.一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构,其特征在于:包括放料机构(1)、收料机构(2)、压紧装置(5)和切断机构(6),所述放料机构(1)、收料机构(2)、压紧装置(5)和切断机构(6)均设置于真空舱内,所述放料机构(1)和收料机构(2)分别位于溅镀区左右两侧,所述压紧装置(5)和切断机构(6)均位于收料机构(2)上方并与真空舱顶部固定连接,所述收料机构(2)包括若干卷料机构,所述卷料机构用于缠绕从放料机构(1)上放下的带料。
2.根据权利要求1所述的一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构,其特征在于:所述收料机构(2)还包括主电机(21)、轮盘(22)、主动轴(27)和支架(28),所述主电机(21)主体与真空舱侧壁固定连接,所述主电机(21)的输出端与主动轴(27)的端部固定连接,所述主动轴(27)架设在支架(28)上并与支架(28)转动连接,所述主动轴(27)穿过轮盘(22)的圆心并与轮盘(22)固定连接,所述轮盘(22)和支架(28)数量均为2个,2个所述轮盘(22)均设置在2个支架(28)之间。
3.根据权利要求2所述的一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构,其特征在于:2个所述轮盘(22)之间设置有若干卷料机构,所述卷料机构围绕主动轴(27)圆周布置,所述卷料机构在主电机(21)的驱动下随着轮盘(22)做圆周运动。
4.根据权利要求3所述的一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构,其特征在于:所述卷料机构包括缠绕杆(23)、限位盘(24)、连接杆(25)和次电机(26),所述连接杆(25)一端与限位盘(24)固定连接,另一端与轮盘(22)固定连接,所述次电机(26)主体与轮盘(22)固定连接,所述次电机(26)的输出端与缠绕杆(23)的端部固定连接,所述缠绕杆(23)两端分别与限位盘(24)和另一个轮盘(22)转动连接。
5.根据权利要求4所述的一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构,其特征在于:所述缠绕杆(23)的外径上覆盖有双面胶。
6.根据权利要求1所述的一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构,其特征在于:所述压紧装置(5)包括两个气缸和一个滚轴,两个所述气缸的主体均与真空舱顶部固定连接,两个所述气缸的输出端分别连接滚轴的两端,所述压紧装置(5)下压时,滚轴的侧面将带料压在缠绕杆(23)的侧面上。
7.根据权利要求1所述的一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构,其特征在于:所述切断机构(6)包括滑轨、T型滑块、连接滑块和滚刀,所述滑轨沿着主动轴(27)所在轴线方向固定在真空舱顶部,所述T型滑块的水平部与滑轨滑动连接,所述连接滑块的顶部侧面与T型滑块的垂直面滑动连接,所述滚刀与连接滑块的底部固定连接。
8.根据权利要求1所述的一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构,其特征在于:还包括压辊机构(4),所述压辊机构(4)数量为两个,分别位于放料机构(1)与溅镀区之间和溅镀区与收料机构(2)之间,所述压辊机构(4)包括上压辊、下压辊和两个电缸,所述上压辊和下压辊均与带料接触,所述上压辊的两端分别连接两个电缸的输出端,两个所述电缸主体均与真空舱顶部固定连接,所述下压辊位于上压辊下方并与真空舱侧壁固定连接。
9.根据权利要求8所述的一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构,其特征在于:还包括控制装置(3),所述控制装置(3)固定设置在真空舱外侧壁上,所述控制装置(3)与放料机构(1)、收料机构(2)、压辊机构(4)、压紧装置(5)和切断机构(6)均电连接。
10.根据权利要求1所述的一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构,其特征在于:所述放料机构(1)为卷料放料架或带料放料架中的一种。
CN201920845296.5U 2019-06-06 2019-06-06 一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构 Active CN210480318U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201920845296.5U CN210480318U (zh) 2019-06-06 2019-06-06 一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201920845296.5U CN210480318U (zh) 2019-06-06 2019-06-06 一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN210480318U true CN210480318U (zh) 2020-05-08

Family

ID=70512982

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201920845296.5U Active CN210480318U (zh) 2019-06-06 2019-06-06 一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN210480318U (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111573363A (zh) * 2020-05-09 2020-08-25 东莞市祥振通印刷机械有限公司 一种不停机放料装置
CN113651159A (zh) * 2021-10-20 2021-11-16 常州欣盛半导体技术股份有限公司 Pi膜输送用的镜面轮及其使用方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111573363A (zh) * 2020-05-09 2020-08-25 东莞市祥振通印刷机械有限公司 一种不停机放料装置
CN113651159A (zh) * 2021-10-20 2021-11-16 常州欣盛半导体技术股份有限公司 Pi膜输送用的镜面轮及其使用方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN210480318U (zh) 一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构
CN110722359B (zh) 变压器硅钢片剪叠机
CN112045080B (zh) 一种适用于大尺寸薄型电机冲片的校正装置
CN209403415U (zh) 成型机构及具有其的蛋卷加工设备
CN114309235B (zh) 一种切料冲裁变距摆盘自动智能一体化装置
CN117842746A (zh) 一种便于更换卷轴的电极箔收卷装置
CN212919645U (zh) 一种用于吸塑载带生产的快速裁切余料及出料装置
CN117208622A (zh) 应用于模切机的废料带牵引机构及不停机式模切机
CN115448073B (zh) 收卷机构及锂电池极片生产线
CN214601583U (zh) 一种自动化铝盖滚线装置
CN114083621A (zh) 一种聚酯塑料薄膜片材质制备智能模切机
CN209206088U (zh) 一种冲压料带多盘收料机
CN108184941B (zh) 一种智能机器人旋转削面机构及其削面方法
CN221755440U (zh) 压铸件自动下料装置
CN218873426U (zh) 一种用于载带的边缘冲孔机
CN217942013U (zh) 一种卷料切割机
CN218159994U (zh) 一种cnc绕线机下料装置
CN221697121U (zh) 一种便于调节的自动裁断机下料机
CN216183009U (zh) 一次性纸塑盖的旋转镶底设备
CN219520881U (zh) 电池极片激光切割机的皮带输送装置
CN217266091U (zh) 一种提高工作效率的led电镀放料设备
CN218370717U (zh) 一种具有检测功能的立式多盘收料机构
CN221729581U (zh) 一种全自动供料的肉类切片机
CN220925804U (zh) 一种卧式双工位自动换盘收料机
CN217994936U (zh) 一种自动码垛分流装箱机构

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right

Denomination of utility model: A continuous winding mechanism for chip carrier vacuum sputtering

Effective date of registration: 20220121

Granted publication date: 20200508

Pledgee: China Construction Bank Corporation Changzhou Economic Development Zone sub branch

Pledgor: Changzhou Xinsheng Semiconductor Technology Co.,Ltd.

Registration number: Y2022320000027

PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right