CN210451535U - 一种便于半导体制程尾气处理设备中洗涤塔焊接的工装 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种便于半导体制程尾气处理设备中洗涤塔焊接的工装，包括下焊接件和上焊接件，所述下焊件的下端内表面活动连接有定位盘一，所述定位盘一顶部中间位置螺纹连接有第一定位轴，所述第一螺纹孔内表面螺纹连接有第二定位轴，所述第二定位轴外表面位于下焊接件右端的位置螺纹连接有定位盘二，所述第一定位轴顶端螺纹连接有第三定位轴，所述第一定位轴与第三定位轴在一条轴线上，所述第一定位轴的轴线与第二定位轴的轴线相互垂直，所述定位盘一与第一定位轴相互垂直；本实用新型通过设有的定位盘一、定位盘二和定位盘三配合第一定位轴、第二定位轴、第三定位轴，可以有效的解决背景技术中的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体生产设备领域，具体为一种便于半导体制程尾气处理设备中洗涤塔焊接的工装。
背景技术
洗涤塔焊接时，由于没有工装辅助焊接，致使焊接过程中容易出现错位、形状位置精度(同轴度、垂直度等)、尺寸精度超差，造成返工或者报废的问题。
实用新型内容
本实用新型的主要目的提供一种便于半导体制程尾气处理设备中洗涤塔焊接的工装，通过设有的定位盘一、定位盘二和定位盘三配合第一定位轴、第二定位轴、第三定位轴，可以有效的解决背景技术中的问题。
为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：
一种便于半导体制程尾气处理设备中洗涤塔焊接的工装，包括下焊接件和上焊接件，所述下焊接件顶端与上焊接件活动连接，所述下焊件的下端内表面活动连接有定位盘，所述定位盘顶部中间位置螺纹连接有第一定位轴，所述第一定位轴外表面靠近定位盘一的位置设有第一螺纹孔，所述第一螺纹孔内表面螺纹连接有第二定位轴，所述第二定位轴外表面位于下焊接件右端的位置螺纹连接有定位盘二，所述第一定位轴顶端螺纹连接有第三定位轴，所述第三定位轴外表面位于上焊接件顶端位置通过螺母螺纹连接有定位盘三，所述第一定位轴与第三定位轴在一条轴线上，所述第一定位轴的轴线与第二定位轴的轴线相互垂直，所述定位盘一与第一定位轴相互垂直，所述定位一1与定位盘三相互平行。
进一步的，所述第三定位轴的外表面靠近第一定位轴的位置设有第二螺纹孔。
进一步的，所述定位盘一与下焊接件低端内表面契合；所述定位盘二与下焊接件右端内表面契合，所述定位盘三与上焊接件顶端内表面契合。
工作原理和有益效果：通过设有的定位盘一、定位盘二和定位盘三配合第一定位轴、第二定位轴、第三定位轴，可以有效的解决背景技术中的问题；使用时，将定位盘一和第一定位轴螺纹连接后，将下焊接件套入第一定位轴杆，保证下焊接件底端内表面与定位盘一契合，然后将第三定位轴杆与第一定位轴杆螺纹连接，再将上焊接件套入第三定位轴杆，然后定位盘三通过螺母与第三定位轴杆螺纹连接，保证上焊接件顶端内表面与定位盘三契合，定位完成后可以保证上焊接件与下焊接件在同一条轴线上，然后进行焊接，保证焊接的精确度，需要对下焊接件右端进行焊接时，将第一定位轴杆与第二定位轴杆螺纹连接，保证定位盘二与下焊接件右端内表面契合，即可进行焊接，可以有效的处理背景技术中存在的问题；所述第三定位轴的外表面靠近第一定位轴的位置设有第二螺纹孔，若上焊接件左端或者右端需要焊接时，可以再连接一个第二定位轴杆和定位盘二进行定位，完成焊接，提高装置的实用性；所述定位盘一与下焊接件低端内表面契合，所述定位盘二与下焊接件右端内表面契合，所述定位盘三与上焊接件顶端内表面契合，保证定位盘一、定位盘二和定位盘三配合第一定位轴、第二定位轴、第三定位轴能够对焊接件进行自动校准定位，从而保证焊接精度，同时提高加工效率，节约时间；所述第一定位轴的轴线与第二定位轴的轴线相互垂直；所述定位盘一与第一定位轴相互垂直；所述定位盘一与定位盘三相互平行，工装组装完成以后，即便定位盘一与地面接触的点不平整，因为定位盘一与定位盘三相互平行，也能保证焊接件对接，提高装置的适用性。
附图说明
图1为本实用新型的截面结构示意图；
图2为本实用新型的立体结构示意图。
图中：1、下焊接件；2、上焊接件；3、第一定位轴；4、第二定位轴；5、第三定位轴；6、第二螺纹孔。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
如图1-2所示，一种便于半导体制程尾气处理设备中洗涤塔焊接的工装，包括下焊接件1和上焊接件2，下焊接件1顶端与上焊接件2活动连接，下焊件 1的下端内表面活动连接有定位盘1，定位盘1顶部中间位置螺纹连接有第一定位轴3，第一定位轴3外表面靠近定位盘1的位置设有第一螺纹孔，第一螺纹孔内表面螺纹连接有第二定位轴4，第二定位轴4外表面位于下焊接件1右端的位置螺纹连接有定位盘2，第一定位轴3顶端螺纹连接有第三定位轴5，第三定位轴5外表面位于上焊接件2顶端位置通过螺母螺纹连接有定位盘3，第一定位轴 3与第三定位轴5在一条轴线上，第一定位轴3的轴线与第二定位轴4的轴线相互垂直，定位盘1与第一定位轴3相互垂直，定位盘1与定位盘3相互平行。
本实用新型一种便于半导体制程尾气处理设备中洗涤塔焊接的工装，通过将定位盘1和第一定位轴3螺纹连接后，将下焊接件1套入第一定位轴杆3，保证下焊接件1底端内表面与定位盘1契合，然后将第三定位轴杆5与第一定位轴杆3螺纹连接，再将上焊接件2套入第三定位轴杆3，然后定位盘3通过精密配合螺纹螺母与第三定位轴杆3螺纹连接，保证上焊接件2顶端内表面与定位盘3契合，定位完成后可以保证上焊接件2与下焊接件1在同一条轴线上，然后进行焊接，保证焊接的精确度，需要对下焊接件右端进行焊接时，将第一定位轴杆3与第二定位轴杆4螺纹连接，保证定位盘2与下焊接件1右端内表面契合，即可进行焊接，可以有效的处理背景技术中存在的问题。
其中，第三定位轴5的外表面靠近第一定位轴3的位置设有第二螺纹孔6，若上焊接件左端或者右端需要焊接时，可以再连接一个第二定位轴杆和定位盘2 进行定位，完成焊接，提高装置的实用性,即可以和其他工装配合作为其他产品的焊接工装。
其中，定位盘1与下焊接件1低端内表面契合，定位盘2与下焊接件1右端内表面契合，定位盘3与上焊接件2顶端内表面契合，保证定位盘1、定位盘 2和定位盘3配合第一定位轴、第二定位轴、第三定位轴能够对焊接件进行自动校准定位，从而保证焊接精度，同时提高加工效率。
其中，第一定位轴3的轴线与第二定位轴4的轴线相互垂直，定位盘1与第一定位轴3相互垂直，定位盘1与定位盘3相互平行，工装组装完成以后，即便定位盘1与地面接触的点不平整，因为定位盘1与定位盘3相互平行，也能保证焊接件对接，提高装置的适用性。
以上只通过说明的方式描述了本实用新型的某些示范性实施例，毋庸置疑，对于本领域的普通技术人员，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下，可以用各种不同的方式对所描述的实施例进行修正。因此，上述附图和描述在本质上是说明性的，不应理解为对本实用新型权利要求保护范围的限制。
Claims (3)
1.一种便于半导体制程尾气处理设备中洗涤塔焊接的工装，包括下焊接件(1)和上焊接件(2)，所述下焊接件(1)顶端与上焊接件(2)活动连接，其特征在于：所述下焊件(1)的下端内表面活动连接有定位盘一；所述定位盘一顶部中间位置螺纹连接有第一定位轴(3)；所述第一定位轴(3)外表面靠近定位盘一的位置设有第一螺纹孔；所述第一螺纹孔内表面螺纹连接有第二定位轴(4)；所述第二定位轴(4)外表面位于下焊接件(1)右端的位置螺纹连接有定位盘二；所述第一定位轴(3)顶端螺纹连接有第三定位轴(5)；所述第三定位轴(5)外表面位于上焊接件(2)顶端位置通过螺母螺纹连接有定位盘三；所述第一定位轴(3)与第三定位轴(5)在一条轴线上；所述第一定位轴(3)的轴线与第二定位轴(4)的轴线相互垂直；所述定位盘一与第一定位轴(3)相互垂直；所述定位盘一与定位盘三相互平行。
2.根据权利要求1所述的一种便于半导体制程尾气处理设备中洗涤塔焊接的工装，其特征在于：所述第三定位轴(5)的外表面靠近第一定位轴(3)的位置设有第二螺纹孔(6)。
3.根据权利要求1所述的一种便于半导体制程尾气处理设备中洗涤塔焊接的工装，其特征在于：所述定位盘1与下焊接件(1)低端内表面契合；所述定位盘二与下焊接件(1)右端内表面契合；所述定位盘三与上焊接件(2)顶端内表面契合。
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