CN210349801U - 一种用于硅片陶瓷盘分离机的工作台装置 - Google Patents
一种用于硅片陶瓷盘分离机的工作台装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN210349801U CN210349801U CN201921653074.XU CN201921653074U CN210349801U CN 210349801 U CN210349801 U CN 210349801U CN 201921653074 U CN201921653074 U CN 201921653074U CN 210349801 U CN210349801 U CN 210349801U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- bottom plate
- ceramic disc
- ceramic
- turntable unit
- detection sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Centrifugal Separators (AREA)
Abstract
本实用新型是涉及硅片分离机构技术领域，具体为一种用于硅片陶瓷盘分离机的工作台装置。包括底板；还包括陶瓷盘转台单元；底板前端底部通过连接杆与气缸相连，气缸底部连接第一铰链支架，底板后端底部连接第二铰链支架；陶瓷盘转台单元设于底板上端面中心，陶瓷盘转台单元两侧设有多组滚筒，底板上端面后侧边上设有标记检测传感器，标记检测传感器与陶瓷盘转台单元信号连接。本实用新型可进行陶瓷盘机械化自动上下料，提高了效率，节约了成本。
Description
技术领域
本实用新型是涉及硅片分离机构技术领域，具体为一种用于硅片陶瓷盘分离机的工作台装置。
背景技术
晶硅作为一种半导体材料，在晶体管、太阳能光伏发电和集成电路方面得到广泛运用。随着绿色能源时代的到来，国际和国内市场的硅片需求日益增加，为了增大产量，使得用于硅片加工的陶瓷盘尺寸进一步增大，质量也更重。
现有的料盘分离机构，都采用陶瓷盘平面式传输，机械式夹爪直接夹取料盘或人工剥离硅片的方式，当硅片和陶瓷盘紧密贴合的时候，分离过程中料盘之间相互吸附力比较大，直接夹取分离时可能导致料盘分离不成功或者损坏料盘；人工剥离装料，手动进行硅片取料，不仅处理效率较低，而且由于人工的误操作，容易导致硅片质量受损，从而增加了生产成本。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种用于硅片陶瓷盘分离机的工作台装置。
为解决上述技术问题，本实用新型采用的解决方案是：
提供一种用于硅片陶瓷盘分离机的工作台装置，包括底板；还包括陶瓷盘转台单元；
底板前端底部通过连接杆与气缸相连，气缸底部连接第一铰链支架，底板后端底部连接第二铰链支架；
陶瓷盘转台单元设于底板上端面中心，陶瓷盘转台单元两侧设有多组滚筒，底板上端面后侧边上设有标记检测传感器，标记检测传感器与陶瓷盘转台单元信号连接。
作为一种改进，底板上端面后端设有阻挡气缸。
作为一种改进，陶瓷盘转台单元的结构上设有真空吸附结构，转台由伺服电机控制，用于吸附陶瓷盘，避免因装夹对陶瓷盘的损伤及准确定位旋转角度。
作为一种改进，底板上端面标记检测传感器邻侧设有喷气嘴。
作为一种改进，底板后端旁侧还设有晶片滑道。
本实用新型的工作原理为滚筒输送单元传送陶瓷盘，阻挡气缸实现机械式限位，陶瓷盘倾斜单元通过气缸及铰链支架实现陶瓷盘倾斜，陶瓷盘转台单元带动陶瓷盘旋转的同时标记检测单元实现陶瓷盘上硅片定位，铲片机械式分离后硅片通过底板前段的硅片滑道处下片。
与现有技术相比，本实用新型的技术效果是：
可进行陶瓷盘机械化自动上下料，提高了效率，节约了成本。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
附图标记为：1-第一铰链支架；2-气缸；3-连接杆；4-底板；5-喷气嘴；6-标记检测传感器；7-滚筒；8-陶瓷安转台单元；9-阻挡气缸；10-晶片滑道；11-第二铰链支架。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式，进一步阐明本实用新型。在阅读了本实用新型之后，其他技术人员对本发明的各种等价形式的修改均属于本申请所附权利要求所限定的范围。
一种用于硅片陶瓷盘分离机的工作台装置，包括底板4，底板4的前端通过连接杆3与气缸2连接，气缸2底部与第一铰链支架1连接，底板4后端与第二铰链支架11相连。底板4上端面设有喷气嘴5、标记检测传感器6、滚筒7、陶瓷盘状态单元8、阻挡气缸9。阻挡气缸9安装于滚筒7后端，标记检测传感器6与喷气嘴5相邻设于底板4后侧边上，陶瓷盘转台单元8设在与底板4上端面中心，多个滚筒7设于陶瓷盘转台单元8两侧。晶片滑道10安装于底板4后端旁侧。标记检测传感器6采用基恩士公司生产的E32-L11FP型号的标记检测传感器。标记检测传感器6与陶瓷盘转台单元8信号连接。
本实用新型的使用方法为：滚筒7带动陶瓷盘传动，到达指定位置后阻挡气缸9对陶瓷盘限位，标准气缸2伸出动作，底板4通过第一铰链支架1、连接杆3、第二铰链支架11等机构实现倾斜，陶瓷盘转台单元8带动陶瓷盘旋转，喷气嘴5吹气的同时标记检测传感器6感应，标记检测传感器6感应到后，陶瓷盘转台单元8停止，铲刀机械式下片，硅片通过晶片滑道10顺利滑下工作台，标准气缸2收缩，底板4复位水平状态，阻挡气缸9收缩，滚筒传动，陶瓷盘输送至工作台外。
最后需要注意的是，以上列举的仅是本实用新型的具体实施例。显然，本实用新型不限于以上实施例，还可有很多变形。本领域的普通技术人员能从本实用新型公开的内容中直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.一种用于硅片陶瓷盘分离机的工作台装置，包括底板；其特征在于，还包括陶瓷盘转台单元；
所述底板前端底部通过连接杆与气缸相连，气缸底部连接第一铰链支架，底板后端底部连接第二铰链支架；
所述陶瓷盘转台单元设于底板上端面中心，陶瓷盘转台单元两侧设有多组滚筒，底板上端面后侧边上设有标记检测传感器，标记检测传感器与陶瓷盘转台单元信号连接。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述底板上端面后端设有阻挡气缸。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述陶瓷盘转台单元的结构上设有真空吸附结构，转台由伺服电机控制，用于吸附陶瓷盘，避免因装夹对陶瓷盘的损伤及准确定位旋转角度。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述底板上端面标记检测传感器邻侧设有喷气嘴。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述底板后端旁侧还设有晶片滑道。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921653074.XU CN210349801U (zh) | 2019-09-30 | 2019-09-30 | 一种用于硅片陶瓷盘分离机的工作台装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921653074.XU CN210349801U (zh) | 2019-09-30 | 2019-09-30 | 一种用于硅片陶瓷盘分离机的工作台装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN210349801U true CN210349801U (zh) | 2020-04-17 |
Family
ID=70178218
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201921653074.XU Active CN210349801U (zh) | 2019-09-30 | 2019-09-30 | 一种用于硅片陶瓷盘分离机的工作台装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN210349801U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114654609A (zh) * | 2022-05-10 | 2022-06-24 | 芜湖益盈鼎裕自动化设备有限公司 | 一种一体化蓝宝石晶圆自动铲片装置 |
-
2019
- 2019-09-30 CN CN201921653074.XU patent/CN210349801U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114654609A (zh) * | 2022-05-10 | 2022-06-24 | 芜湖益盈鼎裕自动化设备有限公司 | 一种一体化蓝宝石晶圆自动铲片装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6780734B2 (en) | Wafer table and semiconductor package manufacturing apparatus using the same | |
| CN113231330B (zh) | Avi视觉检测机 | |
| CN109166789B (zh) | 多工位电池片划片装置 | |
| JP2016039301A (ja) | 粘着テープ剥離方法および粘着テープ剥離装置 | |
| CN111785823B (zh) | 一种先进的led晶粒分选及倒膜装置 | |
| CN102737958A (zh) | 基板转贴方法及基板转贴装置 | |
| CN113933681B (zh) | 一种芯片测试设备 | |
| CN210349801U (zh) | 一种用于硅片陶瓷盘分离机的工作台装置 | |
| CN102800614A (zh) | 半导体晶圆固定方法及半导体晶圆固定装置 | |
| CN111804621A (zh) | 一种电池片测试分选设备 | |
| CN113998457B (zh) | 多芯片检测系统 | |
| CN107363184A (zh) | 转盘式翅片制备装置 | |
| CN111468417A (zh) | 一种瓶盖垫片次品检测分拣机构 | |
| CN214918223U (zh) | 一种Busbar自动上料定位设备 | |
| CN210102900U (zh) | 一种热剥单机 | |
| CN216945200U (zh) | 一种试剂盒上料检测机构 | |
| CN213855825U (zh) | 一种儿童相机用线路板检测装置 | |
| CN212386810U (zh) | 自动贴抚遮光片设备 | |
| CN212328947U (zh) | 一种硅片分选机用检测装置 | |
| CN212023232U (zh) | 自动化贴标、换标及其检测装置 | |
| CN209580481U (zh) | 一种充电外壳自动化贴膜设备 | |
| CN109094919B (zh) | 集成电路用晶圆贴标签设备 | |
| CN208916217U (zh) | 一种自动供料系统 | |
| CN218230921U (zh) | 一种芯片盘自动上下料装置 | |
| CN207026332U (zh) | 转盘式翅片制备装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |