CN210270627U - 一种质量流量控制器 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种质量流量控制器，包括设备主体、阀体、差动放大电路和微处理器；第一阀门处设置有流量检测传感器A，第二阀门处设置有流量检测传感器B，流量检测传感器A和流量检测传感器B分别检测阀体两端的气管道接头和出气管道接头处流通的气体流量，并将检测结果通过差动放大电路连接至微处理器，差动发大电路可将信号放大，并有效降低零点漂移的发生；温度检测仪A和温度检测仪B检测第一阀门和第二阀门处的温度变化信息，并将检测结果同样通过差动放大电路连接至微处理器，根据检测结果，微处理器调整温控器，从而调整降温管道内冷却液的温度，降低阀体周围温度波动幅度，进一步避免零点漂移的发生，防止检测数据不准确。

Description

一种质量流量控制器

技术领域

本实用新型涉及气体流量监控设备技术领域，具体为一种质量流量控制器。

背景技术

质量流量控制器用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。特点:精度高，重复性好。通常由电路板、传感器、进出气管道接头、分流器管道、机壳、调节阀等部件组成。

在现代工业中，许多制造工序都需要使用反应气体，将各种反应气体供给到半导体机台时需要控制反应气体的流量，因此在各种反应气体的供给流路中都分别设置有质量流量控制器。在实际使用过程中发现，现有的质量流量控制器存在零点漂移问题，零点漂移会影响重复性，导致测量值不准确，进而影响质量流量控制器的精度。引起质量流量控制器零点漂移的原因很多，例如工作温度过高、器件线路老化、反应气体中含有固体异物或传感器本身的热漂移等，都会使质量流量控制器的零点产生漂移。由于现有的质量流量控制器无法自动反馈零点漂移的数据信号，因此目前只能通过设备点检以收集零点漂移的数据或确认所述质量流量控制器的使用时间，根据设备点检情况确定是否需要进行手动调整对零点漂移进行补偿。采用这种人工监控方式比较费时，而且零点漂移无法得到及时补偿。因此，无法有效地防止零点漂移的发生。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种质量流量控制器，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种质量流量控制器，包括设备主体、阀体、差动放大电路和微处理器；所述设备主体底部设置有固定座，设备主体内部设置有阀体，阀体两端分别连接进气管道接头和出气管道接头；所述进气管道接头处设置有第一阀门，出气管道接头处设置有第二阀门，所述第一阀门处设置有流量检测传感器A，第二阀门处设置有流量检测传感器B，流量检测传感器A和流量检测传感器B通过差动放大电路连接至微处理器；所述阀体外侧设置有均匀排布的降温管道，降温管道内填充冷却液，降温管道末端连接至冷却液储罐，冷却液储罐一侧设置有温控器，温控器连接至微处理器。

优选的，所述阀体包括主阀体和分流器，分流器上设置有分流入口和分流出口，分流入口和分流出口分别于进气管道接头和出气管道接头对应连接。

优选的，所述流量检测传感器A和流量检测传感器B处分别设置有温度检测仪A和温度检测仪B，温度检测仪A和温度检测仪B同样通过差动放大电路连接至微处理器。

优选的，所述降温管道呈S型排布在阀体外侧，进气管道接头和出气管道接头处分别设置有环绕的降温管道。

优选的，所述微处理器连接至显示设备，显示设备上设置有报警提示组件。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，操作方便，检测结果准确度高；流量检测传感器A和流量检测传感器B分别检测阀体两端的气管道接头和出气管道接头处流通的气体流量，并将检测结果通过差动放大电路连接至微处理器，差动发大电路可将信号放大，并有效降低零点漂移的发生；温度检测仪A和温度检测仪B检测第一阀门和第二阀门处的温度变化信息，并将检测结果同样通过差动放大电路连接至微处理器，根据检测结果，微处理器调整温控器，从而调整降温管道内冷却液的温度，降低阀体周围温度波动幅度，进一步避免零点漂移的发生，防止检测数据不准确。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的工作流程示意图。

图中：1、设备主体；2、固定座；3、阀体；4、进气管道接头；5、出气管道接头；6、第一阀门；7、第二阀门；8、流量检测传感器A；9、流量检测传感器B；10、差动放大电路；11、微处理器；12、降温管道；13、冷却液；14、冷却液储；15、温控器；16、温度检测仪A；17、温度检测仪B。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种质量流量控制器，包括设备主体1、阀体3、差动放大电路10和微处理器11；所述设备主体1底部设置有固定座2，设备主体1内部设置有阀体3，阀体3两端分别连接进气管道接头4和出气管道接头5；所述进气管道接头4处设置有第一阀门6，出气管道接头5处设置有第二阀门7，所述第一阀门6处设置有流量检测传感器A8，第二阀门7处设置有流量检测传感器B9，流量检测传感器A8和流量检测传感器B9通过差动放大电路10连接至微处理器11；所述阀体3外侧设置有均匀排布的降温管道12，降温管道12内填充冷却液13，降温管道12末端连接至冷却液储罐14，冷却液储罐14一侧设置有温控器15，温控器15连接至微处理器11。

进一步的，所述阀体3包括主阀体和分流器，分流器上设置有分流入口和分流出口，分流入口和分流出口分别于进气管道接头4和出气管道接头5对应连接。

进一步的，所述流量检测传感器A8和流量检测传感器B9处分别设置有温度检测仪A16和温度检测仪B17，温度检测仪A16和温度检测仪B17同样通过差动放大电路10连接至微处理器11。

进一步的，所述降温管道12呈S型排布在阀体3外侧，进气管道接头4和出气管道接头5处分别设置有环绕的降温管道12。

进一步的，所述微处理器11连接至显示设备，显示设备上设置有报警提示组件。

工作原理：设备主体1底部设置有固定座2，设备主体1内部设置有阀体3，阀体3两端分别连接进气管道接头4和出气管道接头5；所述进气管道接头4处设置有第一阀门6，出气管道接头5处设置有第二阀门7，所述第一阀门6处设置有流量检测传感器A8，第二阀门7处设置有流量检测传感器B9，流量检测传感器A8和流量检测传感器B9分别检测阀体3两端的气管道接头4和出气管道接头5处流通的气体流量，并将检测结果通过差动放大电路10连接至微处理器11，差动发大电路10可将信号放大，并有效降低零点漂移的发生；所述阀体3外侧设置有均匀排布的降温管道12，降温管道12内填充冷却液13，降温管道12末端连接至冷却液储罐14，冷却液储罐14一侧设置有温控器15，温控器15连接至微处理器11，流量检测传感器A8和流量检测传感器B9处分别设置有温度检测仪A16和温度检测仪B17，温度检测仪A16和温度检测仪B17检测第一阀门6和第二阀门7处的温度变化信息，并将检测结果同样通过差动放大电路10连接至微处理器11，根据检测结果，微处理器11调整温控器15，从而调整降温管道12内冷却液13的温度，降低阀体3周围温度波动幅度，进一步避免零点漂移的发生，防止检测数据不准确。

值得注意的是：整个装置通过总控制按钮对其实现控制，由于控制按钮匹配的设备为常用设备，属于现有常熟技术，在此不再赘述其电性连接关系以及具体的电路结构。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种质量流量控制器，其特征在于：包括设备主体(1)、阀体(3)、差动放大电路(10)和微处理器(11)；所述设备主体(1)底部设置有固定座(2)，设备主体(1)内部设置有阀体(3)，阀体(3)两端分别连接进气管道接头(4)和出气管道接头(5)；所述进气管道接头(4)处设置有第一阀门(6)，出气管道接头(5)处设置有第二阀门(7)，所述第一阀门(6)处设置有流量检测传感器A(8)，第二阀门(7)处设置有流量检测传感器B(9)，流量检测传感器A(8)和流量检测传感器B(9)通过差动放大电路(10)连接至微处理器(11)；所述阀体(3)外侧设置有均匀排布的降温管道(12)，降温管道(12)内填充冷却液(13)，降温管道(12)末端连接至冷却液储罐(14)，冷却液储罐(14)一侧设置有温控器(15)，温控器(15)连接至微处理器(11)。

2.根据权利要求1所述的一种质量流量控制器，其特征在于：所述阀体(3)包括主阀体和分流器，分流器上设置有分流入口和分流出口，分流入口和分流出口分别于进气管道接头(4)和出气管道接头(5)对应连接。

3.根据权利要求1所述的一种质量流量控制器，其特征在于：所述流量检测传感器A(8)和流量检测传感器B(9)处分别设置有温度检测仪A(16)和温度检测仪B(17)，温度检测仪A(16)和温度检测仪B(17)同样通过差动放大电路(10)连接至微处理器(11)。

4.根据权利要求1所述的一种质量流量控制器，其特征在于：所述降温管道(12)呈S型排布在阀体(3)外侧，进气管道接头(4)和出气管道接头(5)处分别设置有环绕的降温管道(12)。

5.根据权利要求1所述的一种质量流量控制器，其特征在于：所述微处理器(11)连接至显示设备，显示设备上设置有报警提示组件。

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