CN210262072U - 一种用于隔离单晶炉主炉室与副炉室的隔离机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于隔离单晶炉主炉室与副炉室的隔离机构，包括主炉室、副炉室和翻板阀，主炉室安装在炉体的底座的上平面上，主炉室的顶部的盖体与翻板阀的底部环面密封连接，副炉室与翻板阀的顶部环面密封连接；还包括风机、送风管、出风管和阀门，在翻板阀的阀体的两侧分别开设有入风口和出风口，且入风口和出风口呈对称状设置，入风口和出风口分别与送风管和出风管连接，在风机的出风口的内部安装有滤网，风机的出风口与送风管之间通过管道连接件固定，在送风管和出风管的管体上均安装有阀门。本实用新型可以在单晶炉工作完毕后，将翻板阀内的翻板上粘附的物料吹出翻板阀外，避免翻板上粘附大量物料影响翻板的正常翻转速度及幅度。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶炉领域，具体涉及一种用于隔离单晶炉主炉室与副炉室的隔离机构。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉型号有两种命名方式，一种为投料量，一种为炉室直径。单晶炉上设有主炉室和副炉室，副炉室位于主炉室的上方，主炉室和副炉室之间通过翻板阀隔离开来，利用翻板阀传送物料，但是翻板阀在传送物料时，物料容易粘附在板体上，粘附的物料过多时会对翻板的效率速度造成影响，针对上述问题本申请提出了一种用于隔离单晶炉主炉室与副炉室的隔离机构。
发明内容
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种用于隔离单晶炉主炉室与副炉室的隔离机构。
根据本实用新型实施例提供的技术方案，一种用于隔离单晶炉主炉室与副炉室的隔离机构，包括主炉室、副炉室和翻板阀，所述主炉室安装在炉体的底座的上平面上，所述主炉室的顶部的盖体与翻板阀的底部环面密封连接，所述副炉室与翻板阀的顶部环面密封连接；还包括风机、送风管、出风管和阀门，在所述翻板阀的阀体的两侧分别开设有入风口和出风口，且所述入风口和出风口呈对称状设置，所述入风口和出风口分别与所述送风管和出风管连接，在所述风机的出风口的内部安装有滤网，所述风机的出风口与送风管之间通过管道连接件固定，在所述送风管和出风管的管体上均安装有所述阀门。
本实用新型中，在所述主炉室的盖体上设有观察窗口和直径控制窗口。
本实用新型中，所述主炉室与翻板阀之间、副炉室与翻板阀之间均为法兰式连接。
本实用新型中，所述送风管上的阀门安装在靠近所述入风口的一侧。
本实用新型中，所述入风口和出风口的开设位置对准所述翻板阀内的翻板的位置高度。
本实用新型中，在所述送风管和出风管的口端盖有封闭帽。
综上所述，本实用新型的有益效果：可以在单晶炉工作完毕后，将翻板阀内的翻板上粘附的物料吹出翻板阀外，避免翻板上粘附大量物料影响翻板的正常翻转速度及幅度。
附图说明
通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1为本实用新型的正视结构示意图；
图2为本实用新型中翻板阀的正视结构示意图；
图3为本实用新型中翻板阀的俯视结构示意图；
图4为本申请中螺纹段的结构示意图。
图中标号：1.主炉室、2.副炉室、3.翻板阀、4.风机、5.送风管、6.出风管、7.阀门、8.滤网、9.封闭帽、10.螺纹段。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
如图1、图2和图3所示，一种用于隔离单晶炉主炉室与副炉室的隔离机构，包括主炉室1、副炉室2和翻板阀3，所述主炉室1安装在炉体的底座的上平面上，所述主炉室1的顶部的盖体与翻板阀3的底部环面密封连接，所述副炉室2与翻板阀3的顶部环面密封连接，所述主炉室1与翻板阀3之间、副炉室2与翻板阀3之间均为法兰式连接。在所述主炉室1的盖体上设有观察窗口和直径控制窗口；还包括风机4、送风管5、出风管6和阀门7，在所述翻板阀3的阀体的两侧分别开设有入风口和出风口，且所述入风口和出风口呈对称状设置，所述入风口和出风口的开设位置对准所述翻板阀3内的翻板的位置高度。所述入风口和出风口分别与所述送风管5和出风管6连接，在所述风机4的出风口的内部安装有滤网8，所述风机4的出风口与送风管5之间通过管道连接件固定，在所述送风管5和出风管6的管体上均安装有所述阀门7。
如图1和图2所示，所述送风管5上的阀门7安装在靠近所述入风口的一侧。
如图2所示，在所述送风管5和出风管6的口端盖有封闭帽9，单晶炉工作时，封闭帽9及阀门7处于关闭状态，防止外部的灰尘进入送风管5和出风管的内部
如图2所示，在风机4的出风口的内部安装有滤网8，当风机4工作向翻板阀3内送风时，将气体中的杂质及灰尘过滤掉，避免翻板阀3中进入更多的杂质。
实施例1：主炉室1与翻板阀3之间、副炉室2与翻板阀3之间均为法兰式连接；送风管5与出风管6之间为一体式结构；风机4的出风口通过管道连接件与送风管5连接固定；阀门7的两端环状面通过法兰式连接与送风管5和出风管6连接固定。
实施例2：单晶炉在工作输送物料时，部分物料会粘附在翻板上，粘附量过多可能会对翻板的正常翻动速度及幅度造成影响，在单晶炉工作完成后，打开风机4、阀门7及出风管6的封闭帽9的开关，向翻板阀3内送风，风对准翻板将翻板上的物料从出风管6内吹出即可。
实施例3：在送风管5和出风管6的口端的外壁上与封闭帽9的内部上设有相匹配的螺纹段，送风管5和出风管6与封闭帽9之间通过扭紧固定。
以上描述仅为本实用新型的较佳实施例以及对所运用技术原理等方案的说明。同时，本实用新型中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本实用新型中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。
Claims (6)
1.一种用于隔离单晶炉主炉室与副炉室的隔离机构，包括主炉室(1)、副炉室(2)和翻板阀(3)，所述主炉室(1)安装在炉体的底座的上平面上，所述主炉室(1)的顶部的盖体与翻板阀(3)的底部环面密封连接，所述副炉室(2)与翻板阀(3)的顶部环面密封连接；其特征是：还包括风机(4)、送风管(5)、出风管(6)和阀门(7)，在所述翻板阀(3)的阀体的两侧分别开设有入风口和出风口，且所述入风口和出风口呈对称状设置，所述入风口和出风口分别与所述送风管(5)和出风管(6)连接，在所述风机(4)的出风口的内部安装有滤网(8)，所述风机(4)的出风口与送风管(5)之间通过管道连接件固定，在所述送风管(5)和出风管(6)的管体上均安装有所述阀门(7)。
2.根据权利要求1所述的一种用于隔离单晶炉主炉室与副炉室的隔离机构，其特征是：在所述主炉室(1)的盖体上设有观察窗口和直径控制窗口。
3.根据权利要求1所述的一种用于隔离单晶炉主炉室与副炉室的隔离机构，其特征是：所述主炉室(1)与翻板阀(3)之间、副炉室(2)与翻板阀(3)之间均为法兰式连接。
4.根据权利要求1所述的一种用于隔离单晶炉主炉室与副炉室的隔离机构，其特征是：所述送风管(5)上的阀门(7)安装在靠近所述入风口的一侧。
5.根据权利要求1所述的一种用于隔离单晶炉主炉室与副炉室的隔离机构，其特征是：所述入风口和出风口的开设位置对准所述翻板阀(3)内的翻板的位置高度。
6.根据权利要求1所述的一种用于隔离单晶炉主炉室与副炉室的隔离机构，其特征是：在所述送风管(5)和出风管(6)的口端盖有封闭帽(9)。
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|---|---|---|---|
| CN201920850072.3U CN210262072U (zh) | 2019-06-06 | 2019-06-06 | 一种用于隔离单晶炉主炉室与副炉室的隔离机构 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113249779A (zh) * | 2021-04-20 | 2021-08-13 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 一种翻板阀、拉晶炉及加料方法和拉晶方法 |
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2019
- 2019-06-06 CN CN201920850072.3U patent/CN210262072U/zh active Active
Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN113249779A (zh) * | 2021-04-20 | 2021-08-13 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 一种翻板阀、拉晶炉及加料方法和拉晶方法 |
| CN113249779B (zh) * | 2021-04-20 | 2022-03-15 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 一种翻板阀、拉晶炉及加料方法和拉晶方法 |
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