CN210261991U - 一种cvd下部电极结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种CVD下部电极结构，包括基体、设于基体上的框架和玻璃，所述基体设有导向孔，所述结构还包括与框架贴合接触且可对沿导向孔升降的升降部件进行导向的遮蔽导向部件，所述玻璃设于框架与遮蔽导向部件上。本实用新型通过对基体导向孔附近的边框改造，通过遮蔽导向部件的设置，一方面起到遮蔽作用，使得上部向下流动的沉积气体不会进入到边缘导向孔内部缝隙空间去，不会造成边缘放电，另一方面，由于台阶孔的设置，在玻璃加载上升和卸载下降的过程中，可以起到一定导向作用。

Description

一种CVD下部电极结构

技术领域

本实用新型属于CVD设备技术领域，具体涉及一种CVD下部电极结构。

背景技术

G8.5高世代线CVD设备和液晶面板尺寸达2.4*2.7m²，比其更高的时代线、设备和产品伴随着更大的尺寸。高世代线产品及设备，由于尺寸的增大，Susceptor(加热基座)内部加热结构的设计，在使用中，和工作氛围同步时，温度均匀性成为一个很重要的问题。该设备在真空腔体中的设备工作原理：在高温下，将腔体抽至真空状态(1torr)时，通入制程气体，将高频电源加在上电极板形成电场，形成等离子(整体呈电中性)，通过吸附结合作用，在玻璃基板上形成薄膜，主要是Gate绝缘膜，a-si半导体膜，Passivation钝化膜。膜质是工艺重点管控的项目，影响因素居多，主要困扰膜的致密性及组分的是参数是基板温度。基板的温度是由承载基板的加热器基座来提供的，加热器基座又名Susceptor，是CVD工艺的核心部件。由于腔体中存在大量的plasma(等离子体)，在设备下部电极Susceptor边缘存在一些需要导电的区域，上面没有阳极膜，所以为了避免自上而下的气氛进入到该区域造成放电，需要在玻璃基板的边缘将其遮挡，避免plasma气氛的进入，因此采用名为shadowframe的框架结构将其遮蔽起来，可有效的避免气氛进入，避免放电，但是被遮挡在shadowframe下面的玻璃是无法被沉积上薄膜的，随着显示技术的改革及发展，窄边框、超窄边框及无边框面板是面板不断更新发展的方向。

现有的CVD产品的结构为：以Al6061为基体的Susceptor上部有玻璃，玻璃被边缘的框架shadow frame(Al6061)盖住，以防反应气氛进入到Susceptor边缘的金属区域，造成放电。玻璃的升降通过升降部件沿着基座上的导向孔升降实现，升降部件通常为Golf tee(形似高尔夫球杆，此处我们简称高尔夫球钉)，其为AL₂O₃陶瓷材质。此种结构有一定的缺陷，即在shadow frame下面且位于导向孔附近的玻璃是无法被沉积薄膜的，反应到屏上是以边框形式存在的，造成视觉和感觉体现效果不佳，同时也有可能会造成上部向下流动的沉积气体进入导向孔处的缝隙空间中，易造成放电。后期需要将此部分去除，以至于减小了基体的利用率。

实用新型内容

本实用新型旨在解决现有技术中存在的技术问题。为此，本实用新型提供一种CVD下部电极结构，目的是避免气体进入导向孔处的缝隙空间，避免造成导向孔附近放电的现象。

为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种CVD下部电极结构，包括基体、设于基体上的框架和玻璃，所述基体设有导向孔，所述结构还包括与框架贴合接触且可对沿导向孔升降的升降部件进行导向的遮蔽导向部件，所述玻璃设于框架与遮蔽导向部件上。

所述导向孔设于基体的侧边缘，所述遮蔽导向部件包括相连接的接触板与导向板，所述框架设有安装接触板的安装槽，导向板上设有台阶孔，台阶孔与导向孔的中心轴线在同一条直线上。

所述接触板与导向板为一体成型结构。

所述结构还包括设于基体上支撑框架的支撑机构。

所述支撑机构为支撑销。

所述结构还包括设于基体上紧固框架的紧固机构。

所述紧固机构包括螺栓盖组件，所述框架通过螺栓盖组件与基体上的紧固安装孔固定连接。

所述基体为铝质加热基座，所述遮蔽导向部件和升降部件均采用三氧化二铝制作。

本实用新型的有益效果：本实用新型通过对基体导向孔附近的边框改造，通过遮蔽导向部件的设置，一方面起到遮蔽作用，使得上部向下流动的沉积气体不会进入到边缘导向孔内部缝隙空间去，不会造成边缘放电，另一方面，由于台阶孔的设置，在玻璃加载上升和卸载下降的过程中，可以起到一定导向作用。相比Al6061材质的shadow frame，遮蔽导向部件是AL₂O₃材质的陶瓷，后者表面很光洁，前者粗糙度相对较大，这样不仅避免了划伤和碰撞，而且有效的承载了玻璃，对玻璃起到了动静态固定的作用。采用本实用新型的结构，大屏玻璃基板边缘能够完全被沉积薄膜，不会产生黑边，基板利用率最大，且在显示技术上，带来更佳的视觉和感觉体验。

附图说明

本说明书包括以下附图，所示内容分别是：

图1是现有CVD下部电极结构的结构示意图；

图2是本实用新型的CVD下部电极结构的结构示意图；

图3是图2中未放置玻璃的局部放大图。

图中标记为：

1、基体，2、框架，21、安装槽，3、玻璃，4、导向孔，5、遮蔽导向部件，51、接触板，52、导向板，521、台阶孔，6、支撑销，7、螺栓盖组件。

具体实施方式

下面对照附图，通过对实施例的描述，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明，目的是帮助本领域的技术人员对本实用新型的构思、技术方案有更完整、准确和深入的理解，并有助于其实施。需要说明的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对实用新型的限制。

如图2至图3所示，一种CVD下部电极结构，包括基体1、设于基体1上的框架2和玻璃3，基体1设有导向孔4，该CVD下部电极结构还包括与框架2贴合接触且可对沿导向孔3升降的升降部件进行导向的遮蔽导向部件5，玻璃4设于框架2与遮蔽导向部件5上。升降部件如现有技术中的那样，采用高尔夫球钉，起到对玻璃升降的作用。基体1为铝质加热基座，其材质Al6061，遮蔽导向部件5和升降部件均采用陶瓷三氧化二铝制作。与现有技术中玻璃边缘被框架盖住相比，此种结构设置中，玻璃位于加热基座及框架上，无覆盖区域，使得玻璃可以被完全沉积。导向孔附近设置与框架贴合接触的遮蔽导向部件，玻璃盖在上面后，能够起到遮蔽及导向的作用，此外，还对玻璃起到一定的承载作用。

导向孔4设于基体1的侧边缘，遮蔽导向部件5包括相连接的接触板51与导向板52，框架2设有安装接触板的安装槽21，导向板52上设有台阶孔521，台阶孔521与导向孔4的中心轴线在同一条直线上。接触板51与导向板52优选采用AL₂O₃材质的陶瓷一体加工成型。此结构中，高尔夫球钉的球座可装配在台阶孔中，高尔夫球钉的杆体位于导向孔内，由于高尔夫球钉采用的是AL₂O₃材质的陶瓷，表面很光洁，在玻璃加载上升和卸载下降的过程中，可以避免划伤玻璃的现象，而且有效的承载了玻璃，对玻璃起到了动静态固定的作用。

上述CVD下部电极结构还包括设于基体1上支撑框架2的支撑机构。支撑机构为支撑销6。支撑销对框架起到支撑作用，同时还具有一定的预装配作用。支撑销包括T型主体和设于T型主体上的定位凸起，该支撑销的整体截面呈类十字型结构，该支撑销上的定位凸起与框架相应部位的凹槽配合，起到预定位作用。

此外，该CVD下部电极结构还包括设于基体1上紧固框架2的紧固机构。紧固机构包括螺栓盖组件7，框架2通过螺栓盖组件7与基体1上的紧固安装孔固定连接。紧固安装孔的深度可设置的略大于螺栓的长度。

本实用新型的上述结构设置，使得大屏玻璃边缘能够完全被沉积薄膜，不会产生黑边，实现无边框玻璃面板生产，基板利用率最大，且在显示技术上，带来更佳的视觉和感觉体验。

以上结合附图对本实用新型进行了示例性描述。显然，本实用新型具体实现并不受上述方式的限制。只要是采用了本实用新型的方法构思和技术方案进行的各种非实质性的改进；或未经改进，将本实用新型的上述构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种CVD下部电极结构，包括基体、设于基体上的框架和玻璃，其特征在于，所述基体设有导向孔，所述结构还包括与框架贴合接触且可对沿导向孔升降的升降部件进行导向的遮蔽导向部件，所述玻璃设于框架与遮蔽导向部件上。

2.根据权利要求1所述CVD下部电极结构，其特征在于，所述导向孔设于基体的侧边缘，所述遮蔽导向部件包括相连接的接触板与导向板，所述框架设有安装接触板的安装槽，导向板上设有台阶孔，台阶孔与导向孔的中心轴线在同一条直线上。

3.根据权利要求2所述CVD下部电极结构，其特征在于，所述接触板与导向板为一体成型结构。

4.根据权利要求1所述CVD下部电极结构，其特征在于，所述结构还包括设于基体上支撑框架的支撑机构。

5.根据权利要求4所述CVD下部电极结构，其特征在于，所述支撑机构为支撑销。

6.根据权利要求1所述CVD下部电极结构，其特征在于，所述结构还包括设于基体上紧固框架的紧固机构。

7.根据权利要求6所述CVD下部电极结构，其特征在于，所述紧固机构包括螺栓盖组件，所述框架通过螺栓盖组件与基体上的紧固安装孔固定连接。

8.根据权利要求1所述CVD下部电极结构，其特征在于，所述基体为铝质加热基座，所述遮蔽导向部件和升降部件均采用陶瓷三氧化二铝制作。

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