CN210261989U - 一种用于炭炭复合材料板材气相沉积的沉积室 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种用于炭炭复合材料板材气相沉积的沉积室，包括主沉积室和多个分隔组件；主沉积室包括吊装底板，吊装底板上设置有4个支撑方柱安装孔，每个安装孔内安装一根支撑方柱，支撑方柱的顶部安装横梁，四块沉积室侧板安装在支撑方柱的外侧，盖板放置在横梁的上方，吊装底板、支撑方柱、横梁、沉积室侧板及盖板形成沉积腔；多条插槽板平行安装在沉积腔内的吊装底板上，插槽板上均匀设置插槽，插槽板的两端设置固定孔；所述的分隔组件包括两根隔条和连接两根隔条的连接绳。本申请结构合理、制作简单，可整体吊装、操作方便，可摆放大尺寸板材，板材变形小、沉积气氛流畅、无无效沉积面积，板材沉积表面均匀致密。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种用于炭炭复合材料板材气相沉积的沉积室，属于炭炭复合材料板材气相沉积加工设备技术领域。
背景技术
炭/炭复合材料是碳纤维增强碳基体的复合材料，与传统石墨产品比较，具有高强高模、密度低、热膨胀系数小、耐烧蚀、抗热冲击及高的导电性等一系列优点。目前炭/炭复合材料板材的生产工艺中，有一种是沉积法，预制体板材直接在气相沉积炉内沉积到所需密度，然后高温处理。
现有的气相沉积过程，有两种板材摆放的方式，一是板材平放在沉积炉内沉积，另一种是板材立放在沉积炉内沉积，这两种沉积方式，只适应于小尺寸的板材，但不适应大尺寸板材，特别是光伏行业大型单晶硅生长炉用板材；立放沉积会导致板材变形大，性能不佳；平放沉积，由于炉内沉积气氛不流畅，导致沉积效果差，密度不均；再者，现有沉积炉一般为圆形，板材不管是立放还是平放，都会有较大的无效沉积空间，沉积气场浓度低而影响沉积效率。因此，在板材的气相沉积生产工艺中，需要一种可摆放大尺寸板材、减少板材变形、保证沉积气氛流畅和减少无效沉积面积的沉积室。
实用新型内容
本实用新型针对现有技术存在的不足，提供一种用于炭炭复合材料板材气相沉积的沉积室。
本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种用于炭炭复合材料板材气相沉积的沉积室，其特征在于，包括主沉积室和多个分隔组件；所述的主沉积室包括吊装底板，吊装底板上设置有4个支撑方柱安装孔，每个安装孔内安装一根支撑方柱，支撑方柱的顶部安装横梁，横梁有四根且成闭环连接，四块沉积室侧板安装在支撑方柱的外侧，盖板放置在横梁的上方，吊装底板、支撑方柱、横梁、沉积室侧板及盖板形成沉积腔；多条插槽板平行安装在沉积腔内的吊装底板上，插槽板上均匀设置插槽，插槽板的两端设置固定孔；所述的分隔组件包括两根隔条和连接两根隔条的连接绳。
预制体板材插放在平行的插槽板的插槽上，多个插槽板可以保证板材的插放稳定性，分隔组件的两根隔条端部通过连接绳连接，便于放置和取下，隔条放置在插放的两个板材之间，以稳定板材，防止板材变形，同时将插放的板材相互隔开，留出间隙让沉积气体通过，保证气氛的流畅，使板材沉积表面更加均匀致密，吊装底板、支撑方柱、横梁、沉积室侧板及盖板形成方形沉积腔，板材插放后减少了沉积腔内的无效沉积空间，保证了稳定的沉积气场浓度。
在上述技术方案的基础上，本实用新型为了达到使用的方便以及装备的稳定性，还可以对上述的技术方案作出如下的改进：
进一步，所述的吊装底板为圆形结构，且在吊装底板的边缘上均匀设置有四个吊装槽口。沉积室可以整体吊装在沉积炉中，插放板材时，将沉积室从沉积炉中整体吊出，装入板材后再将沉积室整体装入沉积炉中，在沉积炉外进行板材的装入和取出，即使插放大尺寸的板材，也可以保证操作的方便和安全。
进一步，所述的吊装底板上且位于沉积腔内设有多个碳源气体进口，碳源气体进口成点阵布置。气体通过碳源气体进口可以均匀的进入到沉积室内，并且可以迅速的分布到每个板材上。
进一步，所述的插槽板上的插槽的宽度大于需要加工的板材的厚度3-5mm。板材插放在插槽中不会过紧而导致出现不易插放和取出板材的情况，也不会因为插放过松而导致板材插放在插槽中的不稳定和变形。
进一步，所述的连接绳为碳绳，所述的吊装底板、支撑方柱、横梁、沉积室侧板及盖板为石墨材质。沉积炉内是高温的环境，石墨和碳材质可以保证在气相沉积过程中材料的稳定。
进一步，所述的支撑方柱设置有与吊装底板上支撑方柱安装孔配合的插入端，插装方便紧固，支撑方柱成长方形或者正方形布置在吊装底板上。
进一步，所述的吊装底板的底部放置有集气垫环，集气垫环在碳源气体进入沉积室的过程中防止碳源气体逃逸，保证碳源气体进口的最大利用率。
本实用新型的优点在于：方形沉积室结构合理、制作简单，板材均匀插放，隔条固定，沉积过程中板材稳定不变形；沉积室内气氛流畅，沉积气场浓度稳定，板材沉积表面更加均匀致密；方形沉积室可摆放大尺寸板材，无无效沉积空间，沉积效率高；沉积室可整体吊装，在沉积炉外进行板材的装入和取出，操作方便。
附图说明
图1为一种用于炭炭复合材料板材气相沉积的沉积室的整体结构示意图；
图2为用于炭炭复合材料板材气相沉积的沉积室的俯视图；
图3为吊装底板的结构示意图；
图4为插槽板的立体图；
图5为支撑方柱的立体图；
图6为用于炭炭复合材料板材气相沉积的沉积室整体吊装在沉积炉中的示意图。
附图标记记录如下：1-集气垫环，2-吊装底板，3-支撑方柱，4-沉积室侧板，5-插槽板，6-横梁，7-隔条，8-盖板。
具体实施方式
一种用于炭炭复合材料板材气相沉积的沉积室(参见图1-6)，包括主沉积室和多个分隔组件；主沉积室包括吊装底板2，吊装底板2上设置有4个支撑方柱安装孔，每个安装孔内安装一根支撑方柱3，支撑方柱3的顶部安装横梁6，横梁6有四根且成闭环连接，四块沉积室侧板4安装在支撑方柱3的外侧，盖板8放置在横梁6的上方，吊装底板2、支撑方柱3、横梁6、沉积室侧板4及盖板8形成沉积腔；多条插槽板5平行安装在沉积腔内的吊装底板2上，插槽板5上均匀设置插槽，插槽板5的两端设置固定孔；分隔组件包括两根隔条7和连接两根隔条7的连接绳。支撑方柱3设置有与吊装底板2上支撑方柱安装孔配合的插入端，插装方便紧固，支撑方柱3成长方形或者正方形布置在吊装底板2上。
预制体板材插放在平行的插槽板5的插槽上，多个插槽板5可以保证板材的插放稳定性，分隔组件的两根隔条7端部通过连接绳连接，便于放置和取下，隔条7放置在插放的两个板材之间，以稳定板材，防止板材变形，同时将插放的板材相互隔开，留出间隙让沉积气体通过，保证气氛的流畅，使板材沉积表面更加均匀致密，吊装底板2、支撑方柱3、横梁6、沉积室侧板4及盖板8形成方形沉积腔，减少了无效沉积空间，保证了稳定的沉积气场浓度。隔条7连接绳为碳绳，吊装底板2、支撑方柱3、横梁6、沉积室侧板4及盖板8为石墨材质，保证在气相沉积过程中的高温环境下材料的稳定。吊装底板2为圆形结构，且在吊装底板2的边缘上均匀设置有四个吊装槽口，沉积室可以整体吊装在沉积炉中，插放板材时，将沉积室从沉积炉中整体吊出，装入板材后再将沉积室整体装入沉积炉中，在沉积炉外进行板材的装入和取出，即使插放大尺寸的板材，也可以保证操作的方便和安全。吊装底板2上且位于沉积腔内设有多个碳源气体进口，碳源气体进口成点阵布置，气体通过碳源气体进口可以均匀的进入到沉积室内，并且可以迅速的分布到每个板材上。插槽板5上的插槽的宽度大于需要加工的板材的厚度3-5mm，板材插放在插槽中不会过紧而导致出现不易插放和取出板材的情况，也不会因为插放过松而导致板材插放在插槽中的不稳定和变形。吊装底板2的底部放置有集气垫环1，集气垫环1在碳源气体进入沉积室的过程中防止碳源气体逃逸，保证碳源气体进口的最大利用率。
装入板材：从沉积室的侧边将板材逐张放入插槽板5的槽内，选取合适尺寸的隔条7，每对隔条7的端部用炭绳连接，插入板材与板材之间，板材之间均布3对隔条7，直至安装板材完毕，使用吊具吊杆插入吊装底板2的吊装槽口内，行车将沉积室整体吊入，安放在沉积炉的集气垫环1上，卸下吊具，盖上盖板8，即可进行沉积加工。
取出板材：取下盖板8，使用吊具吊杆插入吊装底板2的吊装槽口内，行车将沉积室整体吊出，卸下吊具，取出隔条7，然后取出板材，隔条7可重复使用。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种用于炭炭复合材料板材气相沉积的沉积室，其特征在于，包括主沉积室和多个分隔组件；所述的主沉积室包括吊装底板(2)，吊装底板(2)上设置有4个支撑方柱安装孔，每个安装孔内安装一根支撑方柱(3)，支撑方柱(3)的顶部安装横梁(6)，横梁(6)有四根且成闭环连接，四块沉积室侧板(4)安装在支撑方柱(3)的外侧，盖板(8)放置在横梁(6)的上方，吊装底板(2)、支撑方柱(3)、横梁(6)、沉积室侧板(4)及盖板(8)形成沉积腔；多条插槽板(5)平行安装在沉积腔内的吊装底板(2)上，插槽板(5)上均匀设置插槽，插槽板(5)的两端设置固定孔；所述的分隔组件包括两根隔条(7)和连接两根隔条(7)的连接绳。
2.根据权利要求1所述的用于炭炭复合材料板材气相沉积的沉积室，其特征在于，所述的吊装底板(2)为圆形结构，且在吊装底板(2)的边缘上均匀设置有四个吊装槽口。
3.根据权利要求1所述的用于炭炭复合材料板材气相沉积的沉积室，其特征在于，所述的吊装底板(2)上且位于沉积腔内设有多个碳源气体进口。
4.根据权利要求3所述的用于炭炭复合材料板材气相沉积的沉积室，其特征在于，所述的碳源气体进口成点阵布置。
5.根据权利要求1所述的用于炭炭复合材料板材气相沉积的沉积室，其特征在于，所述的插槽板(5)上的插槽的宽度大于板材厚度3-5mm。
6.根据权利要求1所述的用于炭炭复合材料板材气相沉积的沉积室，其特征在于，所述的连接绳为碳绳，所述的吊装底板(2)、支撑方柱(3)、横梁(6)、沉积室侧板(4)及盖板(8)为石墨材质。
7.根据权利要求1所述的用于炭炭复合材料板材气相沉积的沉积室，其特征在于，所述的支撑方柱(3)设置有与吊装底板(2)上支撑方柱安装孔配合的插入端。
8.根据权利要求1所述的用于炭炭复合材料板材气相沉积的沉积室，其特征在于，所述的支撑方柱(3)成长方形或者正方形布置在吊装底板(2)上。
9.根据权利要求1所述的用于炭炭复合材料板材气相沉积的沉积室，其特征在于，所述的吊装底板(2)的底部放置有集气垫环(1)。
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| CN201921399423.XU CN210261989U (zh) | 2019-08-27 | 2019-08-27 | 一种用于炭炭复合材料板材气相沉积的沉积室 |
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| CN (1) | CN210261989U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115504801A (zh) * | 2022-09-01 | 2022-12-23 | 湖南博云新材料股份有限公司 | 一种碳/碳复合材料刹车盘的制备方法 |
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