CN210190208U - 一种用于玻璃晶圆的精雕装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于玻璃晶圆的精雕装置，包括精雕机本体，精雕机本体包括支撑板，支撑板的顶端侧壁固定有支撑柱，支撑柱远离支撑板的顶端侧壁固定有固定板，固定板的两端均开设有对称设置的第一凹槽，第一凹槽的两侧侧壁滑动连接有滑块，滑块之间固定有调节板，调节板与滑块之间垂直设置，调节板的顶端侧壁沿其长度方向开设有第一通孔，第一通孔的一侧侧壁沿其长度方向开设有多个齿条，调节板的一端延伸至第一凹槽外部固定有挡板，且挡板与调节板之间垂直设置。本实用新型能够对不同大小的晶圆工件进行夹持固定，便于进行固定，提高了便捷性，而且能够根据不同大小的晶圆工件进行调节，提高了实用性。

Description

一种用于玻璃晶圆的精雕装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆技术领域，尤其涉及一种用于玻璃晶圆的精雕装置。

背景技术

现有的晶圆进行精雕处理时，需要通过精雕机进行处理，传统的精雕机无法对不同大小的晶圆工件进行固定，容易在出现过程中出现偏移，影响精雕精度，为此，我们提出了一种用于玻璃晶圆的精雕装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于玻璃晶圆的精雕装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种用于玻璃晶圆的精雕装置，包括精雕机本体，所述精雕机本体包括支撑板，支撑板的顶端侧壁固定有支撑柱，支撑柱远离支撑板的顶端侧壁固定有固定板，固定板的两端均开设有对称设置的第一凹槽，第一凹槽的两侧侧壁滑动连接有滑块，滑块之间固定有调节板，调节板与滑块之间垂直设置，所述调节板的顶端侧壁沿其长度方向开设有第一通孔，第一通孔的一侧侧壁沿其长度方向开设有多个齿条，所述调节板的一端延伸至第一凹槽外部固定有挡板，且挡板与调节板之间垂直设置，所述固定板的底端侧壁固定有对称设置的步进电机。

优选的，所述步进电机的输出轴通过联轴器固定有转轴，转轴远离步进电机的一端延伸至第一凹槽内部固定有齿轮，且齿轮与齿条之间啮合传动连接。

优选的，所述挡板的竖截面为长条形，且挡板相互靠近的一侧侧壁连接有海绵垫。

优选的，所述固定板的一侧侧壁连接有第一点动开关和第二点动开关。

优选的，所述步进电机的输入端通过导线分别与第一点动开关和第二点动开关连接。

优选的，所述固定板的竖截面为长条形，且固定板与支撑板之间平行设置。

本实用新型有益效果是：

1：通过设置的固定板、调节板、挡板以及海绵垫之间的配合，能够对不同大小的晶圆工件进行夹持固定，便于进行固定，提高了便捷性；

2：通过设置的第一点动开关、第二点动开关、转轴以及齿轮、齿条之间的配合，能够根据不同大小的晶圆工件进行调节，提高了实用性；

本实用新型能够对不同大小的晶圆工件进行夹持固定，便于进行固定，提高了便捷性，而且能够根据不同大小的晶圆工件进行调节，提高了实用性。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种用于玻璃晶圆的精雕装置的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种用于玻璃晶圆的精雕装置的A部分放大结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种用于玻璃晶圆的精雕装置的固定板内部结构俯视图。

图中：1精雕机本体、2支撑板、3支撑柱、4固定板、5第一凹槽、6滑块、7调节板、8第一通孔、9齿条、10步进电机、11转轴、12齿轮、13挡板、14海绵垫、15第一点动开关、16第二点动开关。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

参照图1-3，一种用于玻璃晶圆的精雕装置，包括精雕机本体1，精雕机本体1包括支撑板2，支撑板2的顶端侧壁固定有支撑柱3，支撑柱3远离支撑板2的顶端侧壁固定有固定板4，固定板4的两端均开设有对称设置的第一凹槽5，第一凹槽5的两侧侧壁滑动连接有滑块6，滑块6之间固定有调节板7，调节板7与滑块6之间垂直设置，调节板7的顶端侧壁沿其长度方向开设有第一通孔8，第一通孔8的一侧侧壁沿其长度方向开设有多个齿条9，调节板7的一端延伸至第一凹槽5外部固定有挡板13，且挡板13与调节板7之间垂直设置，固定板4的底端侧壁固定有对称设置的步进电机10。

步进电机10的输出轴通过联轴器固定有转轴11，转轴11远离步进电机10的一端延伸至第一凹槽5内部固定有齿轮12，且齿轮12与齿条9之间啮合传动连接，挡板13的竖截面为长条形，且挡板13相互靠近的一侧侧壁连接有海绵垫14，固定板4的一侧侧壁连接有第一点动开关15和第二点动开关16，步进电机10的输入端通过导线分别与第一点动开关15和第二点动开关16连接，固定板4的竖截面为长条形，且固定板4与支撑板2之间平行设置。

工作原理：当对晶圆进行固定时，按下第一点动开关15，启动步进电机10带动转轴11进行转动，转轴11带动齿轮12进行旋转，齿轮12与齿条9之间啮合传动带动调节板7移动，调节板7带动挡板13移动，然后将晶圆工件放置在固定板4表面，按下第二点动开关16，步进电机10带动转轴11进行反转，转轴11带动齿轮12进行旋转，齿轮12与齿条9之间啮合传动带动调节板7移动，调节板7带动挡板13移动，使挡板13向晶圆工件靠近，最后使挡板13紧紧抵住晶圆工件，对晶圆工件进行固定，最后启动650型号的精雕机本体1，进行精雕处理，该设计简单快捷，能够对不同大小的晶圆工件进行夹持固定，便于进行固定，提高了便捷性，而且能够根据不同大小的晶圆工件进行调节，提高了实用性。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种用于玻璃晶圆的精雕装置，包括精雕机本体，其特征在于，所述精雕机本体包括支撑板，支撑板的顶端侧壁固定有支撑柱，支撑柱远离支撑板的顶端侧壁固定有固定板，固定板的两端均开设有对称设置的第一凹槽，第一凹槽的两侧侧壁滑动连接有滑块，滑块之间固定有调节板，调节板与滑块之间垂直设置，所述调节板的顶端侧壁沿其长度方向开设有第一通孔，第一通孔的一侧侧壁沿其长度方向开设有多个齿条，所述调节板的一端延伸至第一凹槽外部固定有挡板，且挡板与调节板之间垂直设置，所述固定板的底端侧壁固定有对称设置的步进电机。

2.根据权利要求1所述的一种用于玻璃晶圆的精雕装置，其特征在于，所述步进电机的输出轴通过联轴器固定有转轴，转轴远离步进电机的一端延伸至第一凹槽内部固定有齿轮，且齿轮与齿条之间啮合传动连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于玻璃晶圆的精雕装置，其特征在于，所述挡板的竖截面为长条形，且挡板相互靠近的一侧侧壁连接有海绵垫。

4.根据权利要求1所述的一种用于玻璃晶圆的精雕装置，其特征在于，所述固定板的一侧侧壁连接有第一点动开关和第二点动开关。

5.根据权利要求1所述的一种用于玻璃晶圆的精雕装置，其特征在于，所述步进电机的输入端通过导线分别与第一点动开关和第二点动开关连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于玻璃晶圆的精雕装置，其特征在于，所述固定板的竖截面为长条形，且固定板与支撑板之间平行设置。

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