CN210119446U - 掩膜板检查设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了掩膜板检查设备，包括工作台和位移机构，所述位移机构安装在工作台的上端，所述位移机构和工作台通过螺母固定连接，通过在工作台上的位移机构上增加有一个聚光辅助装置，且该聚光辅助装置略高出检测台且安装在检测台平行左侧的位移机构上，该新型的聚光辅助装置可以通过接受照明摄像检测模组检验讯号而驱使该位移机构朝检测台方向进行位移，以使得该聚光辅助装置趋近于检测台上的被检测的掩膜板，从而使得被检测的掩膜板通过聚光灯珠的聚光照明作用能够被检测的更加具体清晰，从而通过聚光灯珠的辅助照明能够辅助照明摄像检测模组能够依序摄取掩膜板上的数据。

Description

掩膜板检查设备

技术领域

本实用新型属于掩膜板相关技术领域，具体涉及掩膜板检查设备。

背景技术

光学掩模板在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位，以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构，掩膜版应用十分广泛，在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版，如IC（Integrated Circuit，集成电路）、FPD（Flat Panel Display，平板显示器）、PCB（Printed Circuit Boards，印刷电路板）、MEMS（Micro ElectroMechanical Systems，微机电系统）等。

公开号为208420016U的专利文件公开了一种半导体光检测设备，该半导体光检测设备，通过传动电机带动主动传动轮和从动传动轮传动连接，使得传送带运动，从而使得物件在传送带顶部运动，结构简单，操作便捷，节省手工搬运的时间，提高工作效率，但是现有的掩膜板检查设备在进行检测时都是直接把掩膜板放置在检测台上然后经由照明摄像检测模块进行照明摄像检测操作，而在此之前不能通过其它设备对检测台进行检查是否有异物存在，这样则会容易造成被照明摄像检测模块摄取的影像上会还有没有清除的异物，从而会增加检测的难度以及会影响到检测的结果；2、在对掩膜板进行检测时通过直接放置的方式也极易产生掩膜板在被检测时产生位移，而没有一个对掩膜板进行稳定放置的装置对其进行保护，这样也会容易造成掩膜板在检测时因为微小位移而影响到照明摄像检测模块的摄像结果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供掩膜板检查设备，以解决上述背景技术中提出的在检测之前不能通过其它设备对检测台进行检查是否有异物存在，这样则会容易造成被照明摄像检测模块摄取的影像上会还有没有清除的异物，从而会增加检测的难度以及会影响到检测的结果的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：掩膜板检查设备，包括工作台和位移机构，所述位移机构安装在工作台的上端，所述位移机构和工作台通过螺母固定连接，所述工作台最后侧上端两角处均设置有支柱，两个所述支柱和检测台通过焊接固定连接，两个所述支柱的上端连接有连接横板，所述位移机构上端靠左侧设置有聚光辅助装置，所述位移机构的上端连接有工作基座，所述聚光辅助装置设置在工作基座的左侧，所述工作基座的上端连接有承载台，所述承载台的上端连接有横向平放的检测台，所述检测台上端外壁左右两侧均连接有稳定保护装置，所述检测台的正上方设置有照明摄像检测模组，所述照明摄像检测模组的后端连接有升降机构，所述升降机构的后端连接在连接横板的前端外壁上。

优选的，所述聚光辅助装置上设置有滑杆，所述滑杆的最下端连接在位移机构上，所述滑杆的最上端连接有横向的连接横杆，所述连接横杆的前端周长外部套接有平移滑套，所述平移滑套的前端连接有探照杆，所述平移滑套和探照杆通过焊接固定连接，所述探照杆的最前端连接有聚光灯珠。

优选的，所述稳定保护装置上设置有四个固定插孔，四个所述固定插孔分别设置在承载台上端靠近四角处内部，四个所述固定插孔的圆周内部均套接有固定插杆，所述承载台左右两侧各两个固定插杆上均连接有连接条，两个所述连接条分别设置在检测台的左右两侧，两个所述连接条的对向内壁上均连接有稳定弹簧，所述稳定弹簧的另外一端均连接有稳定弹片，两个所述稳定弹片的对向内壁上均连接有软硅胶保护垫，所述软硅胶保护垫和稳定弹片通过粘接剂固定连接。

优选的，所述稳定保护装置上的连接条、稳定弹片和软硅胶保护垫的截面形状和面积相同，所述连接条、稳定弹片和软硅胶保护垫的长度均与检测台的宽度相等，所述连接条、稳定弹片和软硅胶保护垫的高度均高出检测台的高度。

优选的，所述聚光辅助装置的高度略高于检测台到工作台之间的距离，所述聚光辅助装置的运动轨迹与工作基座的运动轨迹保持一致。

优选的，所述支柱共设置有两个，两个所述支柱均通过焊接与工作台固定连接，两个所述支柱的形状大小和结构组成均相同，两个所述支柱相互之间保持相对平行状态。

与现有技术相比，本实用新型提供了掩膜板检查设备，具备以下有益效果：

1、本实用新型通过在工作台上的位移机构上增加有一个聚光辅助装置，且该聚光辅助装置略高出检测台且安装在检测台平行左侧的位移机构上，该新型的聚光辅助装置可以通过滑杆活动在位移机构上，且聚光辅助装置的另外一端设置有一个聚光灯珠，该新型的聚光辅助装置可以通过接受照明摄像检测模组检验讯号而驱使该位移机构朝检测台方向进行位移，以使得该聚光辅助装置趋近于检测台上的被检测的掩膜板，从而使得该新型的聚光辅助装置上的聚光灯珠被位移到检测台与照明摄像检测模组之间，从而使得聚光灯珠所发的光源能够正对着被检测的掩膜板上，从而使得被检测的掩膜板通过聚光灯珠的聚光照明作用能够被检测的更加具体清晰，从而通过聚光灯珠的辅助照明能够辅助照明摄像检测模组能够依序摄取掩膜板上的数据，保证对检测样品能够在检测时更加精细化和准确化；

2、本实用新型通过在检测台左右两侧的承载台上增加有两端对向安装的稳定保护装置，且两个稳定保护装置相互之间保持相对平行状态，而通过两个稳定保护装置的保护作用能够使得放置在检测台上的掩膜板能够被牢牢的限制住的同时又能够对其进行保护作用，从而保护掩膜板在进行检测时能够保持稳定状态下进行，且两个稳定保护装置能够通过自身两个固定插杆插入到承载台上的固定插孔内部来实现快速拆卸和安装，而当需要使用两个稳定保护装置对放置在检测台上的掩膜板进行加固和保护时，此时只需要把两个稳定保护装置通过自身两个固定插杆而插入到承载台上固定插孔内部进行快速安装，而当把掩膜板放置到检测台上后，此时两个稳定保护装置上的稳定弹片则会通过稳定弹簧的作用向着检测台方向推动，直到通过稳定弹簧把两个稳定弹片前端外壁上的软硅胶保护垫给紧贴在掩膜板的左右两端外壁上，从而对正常放置的掩膜板进行加固和保护作用，从而使得照明摄像检测模组能够稳定且顺利的对放置在检测台上的掩膜板进行检测。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制，在附图中：

图1为本实用新型提出的掩膜板检查设备结构示意图；

图2为本实用新型提出的聚光辅助装置结构示意图；

图3为本实用新型提出的稳定保护装置结构示意图；

图中：1、检测台；2、稳定保护装置；3、工作台；4、工作基座；5、位移机构；6、聚光辅助装置；7、支柱；8、连接横板；9、承载台；10、升降机构；11、照明摄像检测模组；12、滑杆；13、连接横杆；14、平移滑套；15、探照杆；16、聚光灯珠；17、固定插杆；18、软硅胶保护垫；19、固定插孔；20、连接条；21、稳定弹簧；22、稳定弹片。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：掩膜板检查设备，包括工作台3和位移机构5，位移机构5安装在工作台3的上端，位移机构5和工作台3通过螺母固定连接，工作台3最后侧上端两角处均设置有支柱7，两个支柱7和检测台1通过焊接固定连接，两个支柱7的上端连接有连接横板8，支柱7共设置有两个，两个支柱7均通过焊接与工作台3固定连接，两个支柱7的形状大小和结构组成均相同，两个支柱7相互之间保持相对平行状态，两个平行支柱7能够使得连接横板8在安装好之后与整个工作台3之间保持相对平行状态，从而使得升降机构10在连接横板8上进行升降时能够更好的控制照明摄像检测模组11与检测台1之间的距离，位移机构5上端靠左侧设置有聚光辅助装置6，位移机构5的上端连接有工作基座4，聚光辅助装置6设置在工作基座4的左侧，聚光辅助装置6的高度略高于检测台1到工作台3之间的距离，聚光辅助装置6的运动轨迹与工作基座4的运动轨迹保持一致，该新型的聚光辅助装置6可以通过接受照明摄像检测模组11检验讯号而驱使该位移机构5朝检测台1方向进行位移，以使得该聚光辅助装置6趋近于检测台1上的被检测的掩膜板，从而使得该新型的聚光辅助装置6上的聚光灯珠16被位移到检测台1与照明摄像检测模组11之间，从而使得聚光灯珠16所发的光源能够正对着被检测的掩膜板上，从而使得被检测的掩膜板通过聚光灯珠16的聚光照明作用能够被检测的更加具体清晰，工作基座4的上端连接有承载台9，承载台9的上端连接有横向平放的检测台1，检测台1上端外壁左右两侧均连接有稳定保护装置2，检测台1的正上方设置有照明摄像检测模组11，照明摄像检测模组11的后端连接有升降机构10，升降机构10的后端连接在连接横板8的前端外壁上。

掩膜板检查设备，聚光辅助装置6上设置有滑杆12，滑杆12的最下端连接在位移机构5上，滑杆12的最上端连接有横向的连接横杆13，连接横杆13的前端周长外部套接有平移滑套14，平移滑套14的前端连接有探照杆15，平移滑套14和探照杆15通过焊接固定连接，探照杆15的最前端连接有聚光灯珠16，聚光辅助装置6能够使得聚光灯珠16所发的光源能够正对着被检测的掩膜板上，从而使得被检测的掩膜板通过聚光灯珠16的聚光照明作用能够被检测的更加具体清晰，从而通过聚光灯珠16的辅助照明能够辅助照明摄像检测模组11能够依序摄取掩膜板上的数据，保证对检测样品能够在检测时更加精细化和准确化。

掩膜板检查设备，稳定保护装置2上设置有四个固定插孔19，四个固定插孔19分别设置在承载台9上端靠近四角处内部，四个固定插孔19的圆周内部均套接有固定插杆17，承载台9左右两侧各两个固定插杆17上均连接有连接条20，两个连接条20分别设置在检测台1的左右两侧，两个连接条20的对向内壁上均连接有稳定弹簧21，稳定弹簧21的另外一端均连接有稳定弹片22，两个稳定弹片22的对向内壁上均连接有软硅胶保护垫18，软硅胶保护垫18和稳定弹片22通过粘接剂固定连接，两个稳定保护装置2能够通过自身两个固定插杆17插入到承载台9上的固定插孔19内部来实现快速拆卸和安装，而当需要使用两个稳定保护装置2对放置在检测台1上的掩膜板进行加固和保护时，此时只需要把两个稳定保护装置2通过自身两个固定插杆17而插入到承载台9上固定插孔19内部进行快速安装，而当把掩膜板放置到检测台1上后，此时两个稳定保护装置2上的稳定弹片22则会通过稳定弹簧21的作用向着检测台1方向推动，直到通过稳定弹簧21把两个稳定弹片22前端外壁上的软硅胶保护垫18给紧贴在掩膜板的左右两端外壁上，从而对正常放置的掩膜板进行加固和保护作用，且稳定保护装置2上的连接条20、稳定弹片22和软硅胶保护垫18的截面形状和面积相同，连接条20、稳定弹片22和软硅胶保护垫18的长度均与检测台1的宽度相等，连接条20、稳定弹片22和软硅胶保护垫18的高度均高出检测台1的高度，两个稳定保护装置2相互之间保持相对平行状态，而通过两个稳定保护装置2的保护作用能够使得放置在检测台1上的掩膜板能够被牢牢的限制住的同时又能够对其进行保护作用，从而保护掩膜板在进行检测时能够保持稳定状态下进行。

本实用新型的工作原理及使用流程：本实用新型安装好过后，在使用时，操作者控制工作台3上的位移机构5和升降机构10时，控制模组可接受到检测信号，并以此来驱使照明摄像检测模组11朝工作基座4以及检测台1上投射光源，而投射的光源可以提供照明摄像检测模组11摄取影像的足够光源，其中，照明摄像检测模组11作为摄像组件与照明组件组合，其利用分光镜及同轴光原理进行照明和影像的摄取，接着，控制模组会控制位移机构5以步进方式朝着照明摄像检测模组11方向位移，从而带动工作基座4进行位移，从而让照明摄像检测模组11可对检测台1整个上表面中各区域的影像进行摄取，最后位移机构5以步进方式驱使工作基座4逐步的进行位移时，控制模组控制张摄像检测模组对放置在检测台1上的掩膜板的影像进行摄取，硬产生数据，且照明摄像检测模组11可具有自动对焦功能，从而使其可在不同的方向进行影像摄取，并都能够拍出需要被检测的影像。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.掩膜板检查设备，包括工作台（3）和位移机构（5），其特征在于：所述位移机构（5）安装在工作台（3）的上端，所述位移机构（5）和工作台（3）通过螺母固定连接，所述工作台（3）最后侧上端两角处均设置有支柱（7），两个所述支柱（7）和检测台（1）通过焊接固定连接，两个所述支柱（7）的上端连接有连接横板（8），所述位移机构（5）上端靠左侧设置有聚光辅助装置（6），所述位移机构（5）的上端连接有工作基座（4），所述聚光辅助装置（6）设置在工作基座（4）的左侧，所述工作基座（4）的上端连接有承载台（9），所述承载台（9）的上端连接有横向平放的检测台（1），所述检测台（1）上端外壁左右两侧均连接有稳定保护装置（2），所述检测台（1）的正上方设置有照明摄像检测模组（11），所述照明摄像检测模组（11）的后端连接有升降机构（10），所述升降机构（10）的后端连接在连接横板（8）的前端外壁上。

2.根据权利要求1所述的掩膜板检查设备，其特征在于：所述聚光辅助装置（6）上设置有滑杆（12），所述滑杆（12）的最下端连接在位移机构（5）上，所述滑杆（12）的最上端连接有横向的连接横杆（13），所述连接横杆（13）的前端周长外部套接有平移滑套（14），所述平移滑套（14）的前端连接有探照杆（15），所述平移滑套（14）和探照杆（15）通过焊接固定连接，所述探照杆（15）的最前端连接有聚光灯珠（16）。

3.根据权利要求1所述的掩膜板检查设备，其特征在于：所述稳定保护装置（2）上设置有四个固定插孔（19），四个所述固定插孔（19）分别设置在承载台（9）上端靠近四角处内部，四个所述固定插孔（19）的圆周内部均套接有固定插杆（17），所述承载台（9）左右两侧各两个固定插杆（17）上均连接有连接条（20），两个所述连接条（20）分别设置在检测台（1）的左右两侧，两个所述连接条（20）的对向内壁上均连接有稳定弹簧（21），所述稳定弹簧（21）的另外一端均连接有稳定弹片（22），两个所述稳定弹片（22）的对向内壁上均连接有软硅胶保护垫（18），所述软硅胶保护垫（18）和稳定弹片（22）通过粘接剂固定连接。

4.根据权利要求3所述的掩膜板检查设备，其特征在于：所述稳定保护装置（2）上的连接条（20）、稳定弹片（22）和软硅胶保护垫（18）的截面形状和面积相同，所述连接条（20）、稳定弹片（22）和软硅胶保护垫（18）的长度均与检测台（1）的宽度相等，所述连接条（20）、稳定弹片（22）和软硅胶保护垫（18）的高度均高出检测台（1）的高度。

5.根据权利要求2所述的掩膜板检查设备，其特征在于：所述聚光辅助装置（6）的高度略高于检测台（1）到工作台（3）之间的距离，所述聚光辅助装置（6）的运动轨迹与工作基座（4）的运动轨迹保持一致。

6.根据权利要求1所述的掩膜板检查设备，其特征在于：所述支柱（7）共设置有两个，两个所述支柱（7）均通过焊接与工作台（3）固定连接，两个所述支柱（7）的形状大小和结构组成均相同，两个所述支柱（7）相互之间保持相对平行状态。

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