CN210109153U - 激光二极管芯粒测试承载部及应用其的测试设备 - Google Patents

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王胜利
杨波
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Silicon electric semiconductor equipment (Shenzhen) Co., Ltd
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SHENZHEN SIDEA SEMICONDUCTOR EQUIPMENT CO Ltd
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Abstract

本实用新型公开了一种激光二极管芯粒测试承载部及应用其的激光二极管芯粒测试设备。所述测试承载部包括运动载料部和第一调节部,所述运动载料部与第一调节部连接;所述运动载料部设置有真空吸附孔,所述真空吸附孔能够将激光二极管芯粒吸附;所述第一调节部设置有直角内边框调节块,所述直角内边框调节块能够相对于激光二极管芯粒运动,使激光二极管芯粒沿垂直于真空吸附方向运动并沿直角边适配。

Description

激光二极管芯粒测试承载部及应用其的测试设备
技术领域
本实用新型涉及激光二极管芯粒测试承载部及应用其的测试设备。
背景技术
激光二极管芯粒为规则的矩形结构,测试时需要保证测试电极面处于预设的位置,利用其测试电极面相对于矩形结构的对应关系,能够实现对激光二极管芯粒的位置调节,从而使测试电极面满足测试的位置要求。
实用新型内容
为解决激光二极管芯粒测试的位置调节问题,本实用新型提出一种激光二极管芯粒测试承载部,以及应用所述测试承载部的激光二极管芯粒测试设备。
本实用新型的技术方案为:所述测试承载部包括运动载料部和第一调节部,所述运动载料部与第一调节部连接;
所述运动载料部设置有真空吸附孔,所述真空吸附孔能够将激光二极管芯粒吸附;
所述第一调节部设置有直角内边框调节块,所述直角内边框调节块能够相对于激光二极管芯粒运动,使激光二极管芯粒沿垂直于真空吸附方向运动并沿直角边适配。
进一步的,所述第一调节部还包括,
升降调节部,所述直角内边框调节块通过气缸与升降调节部连接,使直角内边框调节块能够相对于升降调节部进行升降运动;
第一水平调节部,滑动连接于升降调节部;
第二水平调节部,滑动连接于第一水平调节部;第一水平调节部相对于第二水平调节部的运动方向垂直于升降调节部相对于第一水平调节部的运动方向。
进一步的,所述直角内边框调节块包括矩形内孔,激光二极管芯粒能够容纳于所述矩形内孔。
进一步的,所述运动载料部包括基体和运动部,所述运动部运动连接于基体,所述运动部上设置有真空吸附孔。
进一步的,所述运动部旋转连接于所述基体。
进一步的,所述所述运动部滑动连接于所述基体。
进一步的,所述运动载料部还包括吸附块;
所述吸附块连接于运动部,所述吸附块设置有真空吸附孔。
进一步的,所述运动部设置有多个真空吸附孔,所述多个真空吸附孔沿运动部旋转轴均匀分布。
进一步的,所述运动载料部旋转轴平行于竖直方向。
一种激光二极管芯粒测试设备,所述激光二极管芯粒测试设备包括上述任意一项所述的激光二极管芯粒测试承载部。
本实用新型的有益效果在于:利用激光二极管芯粒为矩形的特点,采用直角内边框调节块沿激光二极管芯粒的一个直角边适配就能实现对激光二极管芯粒放置角度的调节,从而让激光二极管芯粒满足测试的角度要求;结构简单,使用方便可靠。
附图说明
图1为本实用新型激光二极管芯粒测试承载部示意图;
图2为本实用新型第一调节部示意图;
图3为本实用新型运动载料部示意图。
具体实施方式
为便于本领域技术人员理解本实用新型的技术方案,下面将本实用新型的技术方案结合具体实施例作进一步详细的说明。
如图1和图2所示,一种激光二极管芯粒测试承载部,所述测试承载部100包括运动载料部20和第一调节部30,所述运动载料部20与第一调节部30连接;
所述运动载料部20设置有真空吸附孔,所述真空吸附孔能够将激光二极管芯粒吸附;所述运动载料部20能够将激光二极管芯粒从角度调节工位运动至测试工位;
所述第一调节部30设置有直角内边框调节块31,所述直角内边框调节块31能够相对于激光二极管芯粒运动,使处于角度调节工位的激光二极管芯粒沿垂直于真空吸附方向运动并沿直角边适配;由于激光二极管芯粒为矩形,采用直角内边框调节块31沿激光二极管芯粒的一个直角边适配就能实现对激光二极管芯粒放置角度的调节,从而让激光二极管芯粒满足测试的角度要求,或者,经直角内边框调节块31调节后的激光二极管芯粒运动到测试位置时进行测试角度的准确调节,从而提升激光二极管芯粒的角度调试难度,因为激光二极管芯粒随意放置到运动载料部20上时,其角度偏差较大而不能直接用于测试;采用运动载料部20结构能够使激光二极管芯粒的角度调节和测试处于不同的位置,从而进行一颗激光二极管芯粒的测试时,同时进行另一颗激光二极管芯粒的角度调节,提升激光二极管芯粒的测试效率。
如图1、图2所示,所述第一调节部30还包括,
升降调节部32,所述直角内边框调节块31通过气缸与升降调节部32连接,使直角内边框调节块31能够相对于升降调节部32进行升降运动;
第一水平调节部33,滑动连接于升降调节部32;
第二水平调节部34,滑动连接于第一水平调节部33;第一水平调节部33相对于第二水平调节部34的运动方向垂直于升降调节部32相对于第一水平调节部33的运动方向;
使直角内边框调节块31满足空间运动要求,从而能够对处于角度调节工位的激光二极管芯粒进行角度调节,常规的方案有:将直角内边框调节块31运动至激光二极管芯粒沿真空吸附方向的正上方,将直角内边框调节块31靠近激光二极管芯粒使激光二极管芯粒容纳于直角内边框调节块31中,将直角内边框调节块31沿激光二极管芯粒吸附平面运动,使激光二极管芯粒的直角边抵靠直角内边框调节块31中的直角内边,从而使激光二极管芯粒沿直角内边框调节块31中的直角内边放置,从而实现对激光二极管芯粒的角度调节;结构简单,使用方便可靠。
如图1和图2所示,所述直角内边框调节块31包括矩形内孔,激光二极管芯粒能够容纳于所述矩形内孔,利用矩形内孔的直角内边实现对激光二极管芯粒真空吸附角度的调节,从而使激光二极管芯粒放置的角度满足测试要求。
如图1、图2和图3所示,所述运动载料部20包括基体21和运动部22,所述运动部22运动连接于基体21,所述运动部22上设置有真空吸附孔,即将需要测试的激光二极管芯粒吸附于运动部22上,通过运动连接使激光二极管芯粒能够从角度调节工位运动至测试工位,此处的运动连接包括但不限于旋转连接和滑动连接,即如果角度调节工位和测试工位沿同心圆分布,那么将运动部22与基体21通过旋转连接即能够满足使用要求;如果角度调节工位和测试工位沿直线排布,通过基体21和运动部22之间的滑动连接就能够满足要求;此处运动部22运动连接于基体21应该能够解释为能够满足将激光二极管芯粒从角度调节工位运动至测试工位的所有常规方案;所述运动部22旋转连接于所述基体21,运动部22与基体21占用的整体结构相对集中,从而体积较小;或者,所述所述运动部22滑动连接于所述基体21,此时便于对激光二极管芯粒测试承载部相关的零部件进行维护。
如图1、图2和图3所示,所述运动载料部20还包括吸附块23;
所述吸附块23连接于运动部22,所述吸附块23设置有真空吸附孔;为了保证激光二极管芯粒的吸附安全可靠,需要将真空吸附孔周围做成平整度较高的平面以贴合激光二极管芯粒,采用吸附块23结构容易保证吸附平面的平整度,从而降低加工难度。
如图1、图2和图3所示,所述运动部22设置有多个真空吸附孔,所述多个真空吸附孔沿运动部22旋转轴均匀分布,从而提升激光二极管芯粒测试的效率;所述运动载料部20旋转轴平行于竖直方向,即保证激光二极管芯粒沿水平面吸附,减少因激光二极管芯粒重力而影响测试角度和位置,降低相应设备的调整,保证激光二极管芯粒位置的准确度;例如,为了满足测试要求,只需要保证测试探针沿垂直于激光二极管芯粒电极面的方向靠近或远离,即分别调节激光二极管芯粒吸附的水平度,以及测试探针的竖直度;如果以激光二极管芯粒为基准,调试测试探针的垂直度,容易造成激光二极管芯粒划伤。
如图1、图2和图3所示,一种激光二极管芯粒测试设备,所述激光二极管芯粒测试设备包括上述的激光二极管芯粒测试承载部100。
以上是本实用新型的较佳实施例,不用于限定本实用新型的保护范围。应当认可,本领域技术人员在理解了本实用新型技术方案后所作的非创造性变形和改变,应当也属于本实用新型的保护和公开的范围。

Claims (10)

1.一种激光二极管芯粒测试承载部,其特征在于:所述测试承载部(100)包括运动载料部(20)和第一调节部(30),所述运动载料部(20)与第一调节部(30)连接;
所述运动载料部(20)设置有真空吸附孔,所述真空吸附孔能够将激光二极管芯粒吸附;
所述第一调节部(30)设置有直角内边框调节块(31),所述直角内边框调节块(31)能够相对于激光二极管芯粒运动,使激光二极管芯粒沿垂直于真空吸附方向运动并沿直角边适配。
2.根据权利要求1所述的激光二极管芯粒测试承载部,其特征在于:所述第一调节部(30)还包括,
升降调节部(32),所述直角内边框调节块(31)通过气缸与升降调节部(32)连接,使直角内边框调节块(31)能够相对于升降调节部(32)进行升降运动;
第一水平调节部(33),滑动连接于升降调节部(32);
第二水平调节部(34),滑动连接于第一水平调节部(33);第一水平调节部(33)相对于第二水平调节部(34)的运动方向垂直于升降调节部(32)相对于第一水平调节部(33)的运动方向。
3.根据权利要求1所述的激光二极管芯粒测试承载部,其特征在于:所述直角内边框调节块(31)包括矩形内孔,激光二极管芯粒能够容纳于所述矩形内孔。
4.根据权利要求1所述的激光二极管芯粒测试承载部,其特征在于:所述运动载料部(20)包括基体(21)和运动部(22),所述运动部(22)运动连接于基体(21),所述运动部(22)上设置有真空吸附孔。
5.根据权利要求4所述的激光二极管芯粒测试承载部,其特征在于:所述运动部(22)旋转连接于所述基体(21)。
6.根据权利要求4所述的激光二极管芯粒测试承载部,其特征在于:所述运动部(22)滑动连接于所述基体(21)。
7.根据权利要求4所述的激光二极管芯粒测试承载部,其特征在于:所述运动载料部(20)还包括吸附块(23);
所述吸附块(23)连接于运动部(22),所述吸附块(23)设置有真空吸附孔。
8.根据权利要求5所述的激光二极管芯粒测试承载部,其特征在于:所述运动部(22)设置有多个真空吸附孔,所述多个真空吸附孔沿运动部(22)旋转轴均匀分布。
9.根据权利要求1所述的激光二极管芯粒测试承载部,其特征在于:所述运动载料部(20)旋转轴平行于竖直方向。
10.一种激光二极管芯粒测试设备,其特征在于:所述激光二极管芯粒测试设备包括权利要求1-9任意一项所述的激光二极管芯粒测试承载部。
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