CN210065894U - 真空镀膜机的冷却系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种真空镀膜机的冷却系统，包括真空镀膜机腔体、热交换管道组、出水温度检测装置、进水流量控制装置、控制器和出水管，热交换管道组设置有进水口和出水口，出水管与出水口相连通，进水流量控制装置与进水口相连通，出水温度检测装置用于检测从出水口中流出水的温度，进水流量控制装置用于控制进入进水口处的进水流量大小，出水温度检测装置将检测到的实时出水温度值传递给控制器，控制器内预设置有基准出水温度值以与接收到的实时出水温度值进行比较，并根据比较结果去控制进水流量控制装置工作，以增大或者缩小进水流量。本实用新型具有能够根据不同的降温需要及时将真空镀膜机腔体的内部温度迅速降至所需温度的效果。

Description

真空镀膜机的冷却系统

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机的技术领域，尤其是涉及一种真空镀膜机的冷却系统。

背景技术

真空镀膜机主要是指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，其已经被广泛应用，制镀薄膜尤其广泛，其制造的各种薄膜被应用到各光电系统及光学仪器中，如数码相机、望远镜、显示技术、半导体激光、微机电系统、各种滤光片、建筑玻璃、汽车工业、眼镜片等等，镀膜机器已经与人类的生活紧密联系。在使用真空镀膜设备制备薄膜材料时，由于必须达到一定的真空度时才可以进行镀膜过程，普遍采用油扩散泵来实现真空镀膜的真空条件。冷却系统是保证油扩散泵正常工作的重要条件，在真空镀膜装置上也是一个极为重要的系统。

现检索到一篇公布号为CN208008874U的中国实用新型专利公开了一种真空镀膜机冷却装置，包括：机体、金属导热管、进水管、出水管、散热板和散热风扇，该装置能够提高灌输到金属导热管内部的冷却液的利用率，具有较好的冷却降温效果，便于实际使用。

上述中的现有技术方案存在以下缺陷：真空镀膜机在进行不同的镀膜工作时，真空镀膜机腔体内所需要的降温量是不一样的，上述装置不能准确控制真空镀膜机腔体内部的降温量,不能根据不同的降温需要及时将真空镀膜机腔体的内部温度迅速降至所需温度。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种真空镀膜机的冷却系统，具有能够根据不同的降温需要及时将真空镀膜机腔体的内部温度迅速降至所需温度的优点。

本实用新型的上述实用新型目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种真空镀膜机的冷却系统，包括真空镀膜机腔体和热交换管道组，

所述热交换管道组布设于真空镀膜机腔体内侧壁上，所述冷却系统还包括：出水温度检测装置、进水流量控制装置、控制器和出水管，所述热交换管道组设置有进水口和出水口，所述出水管与所述出水口相连通，所述进水流量控制装置与所述进水口相连通，所述出水温度检测装置固定连接在所述出水管的内壁上，

所述出水温度检测装置用于检测从所述出水口中流出水的温度，所述进水流量控制装置用于控制进入所述进水口处的进水流量大小，所述出水温度检测装置、所述进水流量控制装置均与所述控制器电性连接，

所述出水温度检测装置将检测到的实时出水温度值传递给所述控制器，所述控制器内预设置有基准出水温度值以与接收到的实时出水温度值进行比较，并根据比较结果去控制所述进水流量控制装置工作，以增大或者缩小进水流量。

通过采用上述技术方案，当控制器接收到的实时出水温度值比控制器预设置的基准出水温度值高时，控制器就会控制进水流量控制装置增大进水流量，从而增加单位时间内真空镀膜机腔体内的降温量，对真空镀膜机腔体内部进行更快速的降温，实时出水温度值就会逐渐降低，直至控制器接收到的实时出水温度值与控制器预设置的基准气压值相同时，控制器就会控制进水流量控制装置停止增大进水流量；当控制器接收到的实时出水温度值比控制器预设置的基准出水温度值低时，控制器就会控制进水流量控制装置缩小进水流量，从而减少单位时间内真空镀膜机腔体内的降温量，对真空镀膜机腔体内部进行更慢速的降温，实时出水温度值就会逐渐升高，直至控制器接收到的实时出水温度值与控制器预设置的基准气压值相同时，控制器就会控制进水流量控制装置停止缩小进水流量；该真空镀膜机的冷却系统具有能够根据降温需要及时将其腔体内部的温度迅速降至所需温度的优点。

本实用新型进一步设置为，所述出水温度检测装置包括：安装座和多个温度传感器，所述安装座固定连接在所述出水管的内侧壁上，多个所述温度传感器均匀间隔设置在所述安装座上。

通过采用上述技术方案，就可以有多个温度传感器来检测出水管不同位置的实时出水温度值，当某一个温度传感器或某几个温度传感器的检测结果不够准确时，控制器取多个实时出水温度值并取其平均值就可以对从出水口的出水温度检测结果进行修正，从而出水温度检测装置的检测精度就会大大增加。

本实用新型进一步设置为，所述进水流量控制装置包括：第一进水箱、第二进水箱、第一进水管、第二进水管、第三进水管、电子三向阀和电动调节阀，所述电子三向阀的三个开口分别与所述第一进水管、所述第二进水管、所述第三进水管相连通，所述第一进水管远离所述电子三向阀的一端连通所述第一进水箱，所述第二进水管远离所述电子三向阀的一端连通所述第二进水箱，所述第三进水管远离所述电子三向阀的一端与所述进水口连通，所述电动调节阀设于所述第三进水管上，

所述第一进水箱内水的温度为11-20摄氏度，所述第二进水箱内水的温度1-10摄氏度，所述电子三向阀、所述电动调节阀均与所述控制器电性连接。

通过采用上述技术方案，当控制器接收到的实时出水温度值比控制器预设置的基准出水温度值高0-20摄氏度时，控制器就会打开电子三向阀与第一进水管和第三进水管相连通的阀门，第一进水箱内11-20摄氏度的冷却水就会流入热交换管道组，然后控制器控制电动调节阀增大阀门的打开比例，增加进水流量；当控制器接收到的实时出水温度值比控制器预设置的基准出水温度值高20摄氏度以上时，控制器就会打开电子三向阀与第二进水管和第三进水管相连通的阀门，第二进水箱内1-10摄氏度的冷却水就会流入热交换管道组，然后控制器控制电动调节阀增大阀门的打开比例，增加进水流量；当控制器接收到的实时出水温度值比控制器预设置的基准出水温度值低时，控制器就会打开电子三向阀与第一进水管和第三进水管相连通的阀门，第一进水箱内11-20摄氏度的冷却水就会流入热交换管道组，然后控制器控制电动调节阀减小阀门的打开比例，减小进水流量；当真空镀膜机有不同的降温需要时，电动调节阀的设计能够及时改变进水流量的大小，第一进水箱和第二进水箱能够提供不同温度的冷却水，更好的适用于不同的降温需求，更加及时合理地改变真空镀膜机腔体内部的降温量，进一步提升冷却效果。

本实用新型进一步设置为，所述热交换管道组还包括：分水管、汇水管和多个流动管，多个所述流动管的两端分别与所述分水管、所述汇水管相连通，所述分水管与所述进水口相连通，所述汇水管与所述出水口相连通。

通过采用上述技术方案，就可以把从进水口流入的水分流到多个流动管内，并将从多个流动管流出的水汇流到出水口，这种设计可以增加热交换管道组中冷却水与真空镀膜机腔体内空气的热量交换面积，从而实现快速降温。

本实用新型进一步设置为，多个所述流动管均匀间隔布置在所述真空镀膜机腔体的内侧壁上，所述流动管均呈现为弯曲形状。

通过采用上述技术方案，将流动管内设计为弯曲形状，其内部冷却水的流动路径就会变长，便于冷却水更充分地与真空镀膜机腔体内空气进行热量交换，进一步提升冷却效果。

本实用新型进一步设置为，所述流动管内壁上设置有多个凸状体，所述流动管内还安装有液体缓冲机构。

通过采用上述技术方案，凸状体和液体缓冲机构在流动管内具有阻挡冷却水流动的效果，从而冷却水在流动管内的流动速度就会更慢，使冷却水在流动管内的流动时间更长，从而带走更多的热量，进一步提升冷却效果。

本实用新型进一步设置为，所述液体缓冲机构包括：转动杆和弹性件，所述转动杆的一端与所述流动管内壁转动连接，所述弹性件的一端固定在所述转动杆的另一端，所述弹性件的另一端在受到水流冲击时与所述流动管内壁相抵接，所述弹性件具体为弹簧。

通过采用上述技术方案，当冷却水在热交换管道组内流动时，冷却水会不断地冲击液体缓冲机构的转动杆，从而使弹簧不断地与流动管内壁相抵接，进而弹簧会不断反弹使转动杆在一定的角度范围内转动，该设计的液体缓冲机构对冷却水起到较佳阻挡缓冲作用，而且对冷却水的流动影响较小。

本实用新型进一步设置为，所述真空镀膜机的冷却系统还包括出水储存箱，所述出水储存箱与所述出水管相连通，所述出水储存箱内部设有水箱过滤器，所述水箱过滤器包括：粗滤网、细滤网、多孔泡沫介质和环形滤网安装板，所述出水储存箱上端的内侧壁上固定有供所述水箱过滤器卡接的环形凸块，所述环形安装板的底部卡接在所述环形凸块内，所述粗滤网固定连接在所述环形滤网安装板的上方，所述粗滤网、所述多孔泡沫介质、所述细滤网由上至下依次布置，所述环形滤网安装板的上表面还设置有勾环。

通过采用上述技术方案，粗滤网、细滤网、多孔泡沫介质结合使用，可以实现对已经用过的冷却水进行多层过滤，使收集到的冷却水更加干净，方便后续对过滤后的冷却水进行回收利用或者循环使用；环形滤网安装板结合环形凸块，为环形滤网安装板提供了稳定的安装位置，结构更加牢固；另一方面，勾环方便工作人员手指勾住，以施加提升力，有利于工作人员快速将环形滤网安装板拆除，便于更换和清理粗滤网、细滤网、多孔泡沫介质。

综上所述，本实用新型的有益技术效果为：

1.能够根据不同降温量的需要及时将真空镀膜机腔体内部的温度迅速降至所需温度；

2.在单位时间内能够带走真空镀膜机腔体内部更多的热量，降温效果更好；

3.能够供给不同温度的冷却水，更好的适用于不同的降温需求。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型中流动管的内部结构示意图。

附图标记：1、真空镀膜机腔体；21、进水口；22、出水口；23、分水管；24、汇水管；25、流动管；251、凸状体；252、液体缓冲机构；2521、转动杆；2522、弹性件；3、出水温度检测装置；31、安装座；32、温度传感器；41、第一进水箱；42、第二进水箱；43、第一进水管；44、第二进水管；45、第三进水管；46、电子三向阀；47、电动调节阀；5、控制器；6、出水储存箱；61、出水管；62、水箱过滤器；621、粗滤网；622、多孔泡沫介质；623、细滤网；624、环形滤网安装板；625、勾环；63、环形凸块。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

参照图1，为本实用新型公开的一种真空镀膜机的冷却系统，包括真空镀膜机腔体1和热交换管道组，热交换管道组布设于真空镀膜机腔体1内侧壁上，冷却系统还包括：出水温度检测装置3、进水流量控制装置、控制器5和出水管61。

热交换管道组设置有进水口21和出水口22，出水管61与出水口22相连通，进水流量控制装置与进水口21相连通，出水温度检测装置3固定连接在出水管61的内壁上，出水温度检测装置3用于检测从出水口22中流出水的温度，进水流量控制装置用于控制进入进水口21处的进水流量大小，出水温度检测装置3、进水流量控制装置均与控制器5电性连接，出水温度检测装置3将检测到的实时出水温度值传递给控制器5，控制器5内预设置有基准出水温度值以与接收到的实时出水温度值进行比较，并根据比较结果去控制进水流量控制装置工作，以增大或者缩小进水流量。

出水温度检测装置3包括：安装座31和多个温度传感器32，安装座31通过胶水粘接或卡接等方式固定在出水管61的内侧壁上，多个温度传感器32均匀间隔设置在安装座31上，每个温度传感器32外表面均应设置导热性能良好的防水保护膜，且每个温度传感器32与安装座31的连接位置应进行加固处理。这样就可以有多个温度传感器32来检测出水管61不同位置的实时出水温度值，当某一个温度传感器32或某几个温度传感器32的检测结果不够准确时，控制器5取多个实时出水温度值并取其平均值就可以对出水口22的出水温度检测结果进行修正，从而出水温度检测装置3的检测精度就会大大增加。

进水流量控制装置包括：第一进水箱41、第二进水箱42、第一进水管43、第二进水管44、第三进水管45、电子三向阀46和电动调节阀47，电子三向阀46的三个开口分别与第一进水管43、第二进水管44、第三进水管45相连通，第一进水管43远离电子三向阀46的一端连通第一进水箱41，第二进水管44远离电子三向阀46的一端连通第二进水箱42，第三进水管45远离电子三向阀46的一端与进水口21连通，电动调节阀47设于第三进水管45上，连通方式为法兰连接、螺纹连接等其他可替代方式，电子三向阀46、电动调节阀47均与控制器5电性连接；第一进水箱41内水的温度为11-20摄氏度（此种温度的冷却水由冷却水塔提供），第二进水箱42内水的温度1-10摄氏度（此种温度的冷却水由冷却水塔提供），在其它实施例中，第一进水箱41和第二进水箱42内冷却水的温度也可以根据具体的降温需要进行适当调整，且第一进水箱41和第二进水箱42中也可以装有制冷剂等其他液体。

当控制器5接收到的实时出水温度值比控制器5预设置的基准出水温度值高0-20摄氏度时，控制器5就会打开电子三向阀46与第一进水管43和第三进水管45相连通的阀门，第一进水箱41内11-20摄氏度的冷却水就会流入热交换管道组，然后控制器5控制电动调节阀47增大阀门的打开比例，增加进水流量；当控制器5接收到的实时出水温度值比控制器5预设置的基准出水温度值高20摄氏度以上时，控制器5就会打开电子三向阀46与第二进水管44和第三进水管45相连通的阀门，第二进水箱42内1-10摄氏度的冷却水就会流入热交换管道组，然后控制器5控制电动调节阀47增大阀门的打开比例，增加进水流量；当控制器5接收到的实时出水温度值比控制器5预设置的基准出水温度值低时，控制器5就会打开电子三向阀46与第一进水管43和第三进水管45相连通的阀门，第一进水箱41内11-20摄氏度的冷却水就会流入热交换管道组，然后控制器5控制电动调节阀47减小阀门的打开比例，减小进水流量；当真空镀膜机有不同的降温需要时，电动调节阀47的设计能够及时改变进水流量的大小，第一进水箱41和第二进水箱42能够提供不同温度的冷却水，更好的适用于不同的降温需求，更加及时合理地改变真空镀膜机腔体1内部的降温量，进一步提升冷却效果。

热交换管道组具体包括：分水管23、汇水管24和多个流动管25，多个流动管25的两端分别与分水管23、汇水管24相连通，分水管23与进水口21相连通，汇水管24与出水口22相连通，连通方式为法兰连接、螺纹连接或焊接等方式。这样就可以把从进水口21流入的水分流到多个流动管25内，并将从多个流动管25流出的水汇流到出水口22，这种设计可以增加热交换管道组中冷却水与真空镀膜机腔体1内空气的热量交换面积，从而实现快速降温。

真空镀膜机的冷却系统还包括出水储存箱6，出水储存箱6与出水管61相连通，出水储存箱6内部设有水箱过滤器62，水箱过滤器62包括：粗滤网621、细滤网623、多孔泡沫介质622和环形滤网安装板624，出水储存箱6上端的内侧壁上通过焊接固定有供水箱过滤器62卡接的环形凸块63，环形安装板的底部卡接在环形凸块63内，粗滤网621固定连接在环形滤网安装板624的上方，粗滤网621、多孔泡沫介质622、细滤网623由上至下依次布置，环形滤网安装板624的上表面还设置有勾环625，环形滤网安装板624、粗滤网621、细滤网623和环形凸块63均应进行防锈处理，粗滤网621、细滤网623和多孔泡沫介质622的种类应根据回收的冷却水的质量进行选取。

粗滤网621、细滤网623、多孔泡沫介质622结合使用，可以实现对已经用过的冷却水进行多层过滤，使收集到的冷却水更加干净，方便后续对过滤后的冷却水进行回收利用或者循环使用；环形滤网安装板624结合环形凸块63，为环形滤网安装板624提供了稳定的安装位置，结构更加牢固；另一方面，勾环625方便工作人员手指勾住，以施加提升力，有利于工作人员快速将环形滤网安装板624拆除，便于更换和清理粗滤网621、细滤网623、多孔泡沫介质622。

结合图1和图2所示，多个流动管25均匀间隔布置在真空镀膜机腔体1的内侧壁上，流动管25均呈现为弯曲形状且其内壁上设置有多个凸状体251，将流动管25内设计为弯曲形状，其内部冷却水的流动路径就会变长，便于冷却水更充分地与真空镀膜机腔体1内空气进行热量交换。

流动管25内还安装有液体缓冲机构252，液体缓冲机构252可以设置于流动管25的端部，以便于其方便安装。液体缓冲机构252包括转动杆2521和弹性件2522，转动杆2521的一端与流动管25内壁转动连接，弹性件2522的一端通过焊接或卡接等方式固定在转动杆2521的另一端，弹性件2522的另一端在受到水流冲击时与流动管25内壁相抵接，弹性件2522具体为弹簧。

当冷却水在热交换管道组内流动时，冷却水会不断地冲击液体缓冲机构252的转动杆2521，从而使弹簧不断地与流动管25内壁相抵接，进而弹簧会不断反弹使转动杆2521在一定的角度范围内转动，该设计的液体缓冲机构252和凸状体251对冷却水起到较佳阻挡缓冲作用，从而冷却水在流动管25内的流动速度就会更慢，使冷却水在流动管25内的流动时间更长，从而带走更多的热量，而且对冷却水的流动影响较小，这样就可以进一步提升冷却效果。

上述实施例的实施原理为：当控制器5接收到的实时出水温度值比控制器5预设置的基准出水温度值高时，控制器5就会控制进水流量控制装置增大进水流量，从而增加单位时间内真空镀膜机腔体1内的降温量，对真空镀膜机腔体1内部进行更快速的降温，实时出水温度值就会逐渐降低，直至控制器5接收到的实时出水温度值与控制器5预设置的基准气压值相同时，控制器5就会控制进水流量控制装置停止增大进水流量；当控制器5接收到的实时出水温度值比控制器5预设置的基准出水温度值低时，控制器5就会控制进水流量控制装置缩小进水流量，从而减少单位时间内真空镀膜机腔体1内的降温量，对真空镀膜机腔体1内部进行更慢速的降温，实时出水温度值就会逐渐升高，直至控制器5接收到的实时出水温度值与控制器5预设置的基准气压值相同时，控制器5就会控制进水流量控制装置停止缩小进水流量；该真空镀膜机的冷却系统具有能够根据降温需要及时将其腔体内部的温度迅速降至所需温度的优点。

本具体实施方式的实施例均为本实用新型的较佳实施例，并非依此限制本实用新型的保护范围，故：凡依本实用新型的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种真空镀膜机的冷却系统，包括真空镀膜机腔体(1)和热交换管道组，其特征在于：

所述热交换管道组布设于真空镀膜机腔体(1)内侧壁上，所述冷却系统还包括：出水温度检测装置(3)、进水流量控制装置、控制器(5)和出水管(61)，所述热交换管道组设置有进水口(21)和出水口(22)，所述出水管(61)与所述出水口(22)相连通，所述进水流量控制装置与所述进水口(21)相连通，所述出水温度检测装置(3)固定连接在所述出水管(61)的内壁上，

所述出水温度检测装置(3)用于检测从所述出水口(22)中流出水的温度，所述进水流量控制装置用于控制进入所述进水口(21)处的进水流量大小，所述出水温度检测装置(3)、所述进水流量控制装置均与所述控制器(5)电性连接，

所述出水温度检测装置(3)将检测到的实时出水温度值传递给所述控制器(5)，所述控制器(5)内预设置有基准出水温度值以与接收到的实时出水温度值进行比较，并根据比较结果去控制所述进水流量控制装置工作，以增大或者缩小进水流量。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜机的冷却系统，其特征在于：

所述出水温度检测装置(3)包括：安装座(31)和多个温度传感器(32)，所述安装座(31)固定连接在所述出水管(61)的内侧壁上，多个所述温度传感器(32)均匀间隔设置在所述安装座(31)上。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜机的冷却系统，其特征在于：

所述进水流量控制装置包括：第一进水箱(41)、第二进水箱(42)、第一进水管(43)、第二进水管(44)、第三进水管(45)、电子三向阀(46)和电动调节阀(47)，所述电子三向阀(46)的三个开口分别与所述第一进水管(43)、所述第二进水管(44)、所述第三进水管(45)相连通，所述第一进水管(43)远离所述电子三向阀(46)的一端连通所述第一进水箱(41)，所述第二进水管(44)远离所述电子三向阀(46)的一端连通所述第二进水箱(42)，所述第三进水管(45)远离所述电子三向阀(46)的一端与所述进水口(21)连通，所述电动调节阀(47)设于所述第三进水管(45)上，

所述第一进水箱(41)内水的温度为11-20摄氏度，所述第二进水箱(42)内水的温度1-10摄氏度，所述电子三向阀(46)、所述电动调节阀(47)均与所述控制器(5)电性连接。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜机的冷却系统，其特征在于：

所述热交换管道组还包括：分水管(23)、汇水管(24)和多个流动管(25)，多个所述流动管(25)的两端分别与所述分水管(23)、所述汇水管(24)相连通，所述分水管(23)与所述进水口(21)相连通，所述汇水管(24)与所述出水口(22)相连通。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜机的冷却系统，其特征在于：

多个所述流动管(25)均匀间隔布置在所述真空镀膜机腔体(1)的内侧壁上，所述流动管(25)均呈现为弯曲形状。

6.根据权利要求4所述的真空镀膜机的冷却系统，其特征在于：

所述流动管(25)内壁上设置有多个凸状体(251)，所述流动管(25)内还安装有液体缓冲机构(252)。

7.根据权利要求6所述的真空镀膜机的冷却系统，其特征在于：

所述液体缓冲机构(252)包括：转动杆(2521)和弹性件(2522)，所述转动杆(2521)的一端与所述流动管(25)内壁转动连接，所述弹性件(2522)的一端固定在所述转动杆(2521)的另一端，所述弹性件(2522)的另一端在受到水流冲击时与所述流动管(25)内壁相抵接，所述弹性件(2522)具体为弹簧。

8.根据权利要求1所述的真空镀膜机的冷却系统，其特征在于：

所述真空镀膜机的冷却系统还包括出水储存箱(6)，所述出水储存箱(6)与所述出水管(61)相连通，所述出水储存箱(6)内部设有水箱过滤器(62)，所述水箱过滤器(62)包括：粗滤网(621)、细滤网(623)、多孔泡沫介质(622)和环形滤网安装板(624)，所述出水储存箱(6)上端的内侧壁上固定有供所述水箱过滤器(62)卡接的环形凸块(63)，所述环形安装板的底部卡接在所述环形凸块(63)内，所述粗滤网(621)固定连接在所述环形滤网安装板(624)的上方，所述粗滤网(621)、所述多孔泡沫介质(622)、所述细滤网(623)由上至下依次布置，所述环形滤网安装板(624)的上表面还设置有勾环(625)。

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