CN210060811U - 一种碳化硅晶片抛光的废屑清理装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种碳化硅晶片抛光的废屑清理装置，包括工作台，所述工作台的两侧内壁通过螺栓固定有隔板，所述工作台底部内壁设置有收集箱，所述收集箱的一侧外壁开设有通风口，且通风口的内壁通过螺栓固定有过滤网，所述工作台顶部外壁开设有安装槽，且安装槽的内壁通过螺栓固定有顶部带开口的抛光箱，所述抛光箱底部外壁开设有排尘口，且排尘口的内壁套接有收集管，所述收集管的一端连接在收集箱上。本实用新型通过在相对密封的抛光箱中进行抛光，避免抛光时废屑飞溅难以收集，又通过收集管中的风扇将抛光时的废屑吸入收集箱中，方便废屑的收集，解决了现有的抛光装置没有设置废屑清理装置的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域，尤其涉及一种碳化硅晶片抛光的废屑清理装置。
背景技术
金刚砂又名碳化硅(SiC)是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料通过电阻炉高温冶炼而成。碳化硅在大自然也存在罕见的矿物，莫桑石。碳化硅又称碳硅石。在当代C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中，碳化硅为应用最广泛、最经济的一种，可以称为金钢砂或耐火砂。目前中国工业生产的碳化硅分为黑色碳化硅和绿色碳化硅两种，均为六方晶体，比重为
3.20～3.25，显微硬度为2840～3320kg/mm2。
现有的碳化硅晶片在抛光过程中的废屑没有设置清理装置，容易造成废屑导出飞溅不仅难以清理，而且容易伤人。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种碳化硅晶片抛光的废屑清理装置。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种碳化硅晶片抛光的废屑清理装置，包括工作台，所述工作台的两侧内壁通过螺栓固定有隔板，所述工作台底部内壁设置有收集箱，所述收集箱的一侧外壁开设有通风口，且通风口的内壁通过螺栓固定有过滤网，所述工作台顶部外壁开设有安装槽，且安装槽的内壁通过螺栓固定有顶部带开口的抛光箱，所述抛光箱底部外壁开设有排尘口，且排尘口的内壁套接有收集管，所述收集管的一端连接在收集箱上，所述收集管的两侧内壁通过螺栓固定有同一个风扇，且收集管的两侧外壁均设置有收集接头。
优选的，所述抛光箱的两侧内壁均通过螺栓固定有吸尘头，且两个吸尘头分别通过管道连接在两个收集接头上。
优选的，所述隔板顶部外壁的两侧均通过螺栓固定有液压缸，且两个液压缸活塞杆顶部外壁通过螺栓固定有同一个安装板，所述安装板底部外壁中轴线处通过螺栓固定有抛光机构。
优选的，所述抛光箱的两侧外壁均开设有矩形开口，且两个矩形开口的内壁滑动连接有同一个固定板，所述固定板的两侧外壁均通过连接板连接在两个液压缸的活塞杆上。
优选的，所述工作台的一侧外壁分别设置有观察窗和检修门。
优选的，所述风扇和液压缸通过导线连接有开关，且开关通过导线连接有微处理器。
本实用新型的有益效果为：
1.本碳化硅晶片抛光的废屑清理装置，通过在工作台上设置抛光箱，通过在相对密封的抛光箱中进行抛光，避免抛光时废屑飞溅难以收集，又通过收集管中的风扇将抛光时的废屑吸入收集箱中，方便废屑的收集，解决了现有的抛光装置没有设置废屑清理装置的问题。
2.本碳化硅晶片抛光的废屑清理装置，又在抛光箱的两侧设置吸尘头，便于对抛光过程中飞溅的废屑进行收集。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种碳化硅晶片抛光的废屑清理装置的剖视结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种碳化硅晶片抛光的废屑清理装置的主视结构示意图。
图中：1工作台、2隔板、3收集箱、4过滤网、5收集管、6风扇、7收集接头、9抛光箱、10固定板、12抛光机构、11液压缸、13吸尘头、14安装板、15检修门、16观察窗。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-2，一种碳化硅晶片抛光的废屑清理装置，包括工作台1，工作台1的两侧内壁通过螺栓固定有隔板2，工作台1底部内壁设置有收集箱3，收集箱3的一侧外壁开设有通风口，且通风口的内壁通过螺栓固定有过滤网4，工作台1顶部外壁开设有安装槽，且安装槽的内壁通过螺栓固定有顶部带开口的抛光箱9，抛光箱9底部外壁开设有排尘口，且排尘口的内壁套接有收集管5，收集管5的一端连接在收集箱3上，收集管5的两侧内壁通过螺栓固定有同一个风扇6，且收集管5的两侧外壁均设置有收集接头7，抛光箱9的两侧内壁均通过螺栓固定有吸尘头13，且两个吸尘头13分别通过管道连接在两个收集接头7上，隔板2顶部外壁的两侧均通过螺栓固定有液压缸11，且两个液压缸11活塞杆顶部外壁通过螺栓固定有同一个安装板14，安装板14底部外壁中轴线处通过螺栓固定有抛光机构12，抛光箱9的两侧外壁均开设有矩形开口，且两个矩形开口的内壁滑动连接有同一个固定板10，固定板10的两侧外壁均通过连接板连接在两个液压缸11的活塞杆上，工作台1的一侧外壁分别设置有观察窗16和检修门15，风扇6和液压缸11通过导线连接有开关，且开关通过导线连接有微处理器，微处理器的型号为ARM9TDMI。
工作原理：使用时，通过在工作台上设置抛光箱9，通过在相对密封的抛光箱9中进行抛光，又通过收集管5中的风扇6将抛光的废屑吸入收集箱3中，方便废屑的收集，又在抛光箱9的两侧设置吸尘头13，便于对抛光过程中飞溅的废屑进行收集，通过检修门15方便对收集箱3进行清理，透过观察窗16方便观察抛光情况。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种碳化硅晶片抛光的废屑清理装置，包括工作台(1)，其特征在于，所述工作台(1)的两侧内壁通过螺栓固定有隔板(2)，所述工作台(1)底部内壁设置有收集箱(3)，所述收集箱(3)的一侧外壁开设有通风口，且通风口的内壁通过螺栓固定有过滤网(4)，所述工作台(1)顶部外壁开设有安装槽，且安装槽的内壁通过螺栓固定有顶部带开口的抛光箱(9)，所述抛光箱(9)底部外壁开设有排尘口，且排尘口的内壁套接有收集管(5)，所述收集管(5)的一端连接在收集箱(3)上，所述收集管(5)的两侧内壁通过螺栓固定有同一个风扇(6)，且收集管(5)的两侧外壁均设置有收集接头(7)。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片抛光的废屑清理装置，其特征在于，所述抛光箱(9)的两侧内壁均通过螺栓固定有吸尘头(13)，且两个吸尘头(13)分别通过管道连接在两个收集接头(7)上。
3.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片抛光的废屑清理装置，其特征在于，所述隔板(2)顶部外壁的两侧均通过螺栓固定有液压缸(11)，且两个液压缸(11)活塞杆顶部外壁通过螺栓固定有同一个安装板(14)，所述安装板(14)底部外壁中轴线处通过螺栓固定有抛光机构(12)。
4.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片抛光的废屑清理装置，其特征在于，所述抛光箱(9)的两侧外壁均开设有矩形开口，且两个矩形开口的内壁滑动连接有同一个固定板(10)，所述固定板(10)的两侧外壁均通过连接板连接在两个液压缸(11)的活塞杆上。
5.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片抛光的废屑清理装置，其特征在于，所述工作台(1)的一侧外壁分别设置有观察窗(16)和检修门(15)。
6.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片抛光的废屑清理装置，其特征在于，所述风扇(6)和液压缸(11)通过导线连接有开关，且开关通过导线连接有微处理器。
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