CN210060737U - 一种碳化硅晶片抛光用的固定装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种碳化硅晶片抛光用的固定装置，包括工作台，所述工作台的两侧内壁通过螺栓固定有同一个隔板，且隔板顶部外壁的两侧均通过螺栓固定有电动伸缩杆，所述工作台顶部外壁开设有安装槽，且安装槽的内壁通过螺栓固定有顶部带有开口的抛光箱，所述抛光箱底部外壁的两侧均开设有通孔，两个所述电动伸缩杆的输出轴分别穿过两个通孔内壁，且两个所述电动伸缩杆输出轴通过螺栓固定有同一个安装板，所述抛光箱的两侧内壁通过轴承固定有同一个固定机构。本实用新型通过固定机构中电动滑轨带动夹紧板来夹紧晶片，抵紧板在晶片底部抵紧晶片，避免晶片在打磨过程中发生位移，解决了现有的碳化硅晶片在抛光过程中容易晃动的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域，尤其涉及一种碳化硅晶片抛光用的固定装置。
背景技术
金刚砂又名碳化硅(SiC)是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料通过电阻炉高温冶炼而成。碳化硅在大自然也存在罕见的矿物，莫桑石。碳化硅又称碳硅石。在当代C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中，碳化硅为应用最广泛、最经济的一种，可以称为金钢砂或耐火砂。目前中国工业生产的碳化硅分为黑色碳化硅和绿色碳化硅两种，均为六方晶体，比重为3.20～3.25，显微硬度为2840～3320kg/mm2。
现有的碳化硅晶片在抛光过程中由于固定装置不能完全固定晶片，容易导致晶片在抛光过程中出现损伤抛光不均的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种碳化硅晶片抛光用的固定装置。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种碳化硅晶片抛光用的固定装置，包括工作台，所述工作台的两侧内壁通过螺栓固定有同一个隔板，且隔板顶部外壁的两侧均通过螺栓固定有电动伸缩杆，所述工作台顶部外壁开设有安装槽，且安装槽的内壁通过螺栓固定有顶部带有开口的抛光箱，所述抛光箱底部外壁的两侧均开设有通孔，两个所述电动伸缩杆的输出轴分别穿过两个通孔内壁，且两个所述电动伸缩杆输出轴通过螺栓固定有同一个安装板，所述抛光箱的两侧内壁通过轴承固定有同一个固定机构，所述工作台顶部内壁的一侧通过螺栓固定有减速电机，且减速电机的输出轴通过联轴器连接在固定机构的传动轴上，所述固定机构包括固定框，且固定框的两侧内壁均通过螺栓固定有电动滑轨，两个所述电动滑轨的两侧内壁均滑动连接有夹紧板。
优选的，所述安装板顶部外壁开设有固定槽，且固定槽底部内壁设置有三个弹簧，所述固定槽底部内壁通过螺栓固定有压力传感器，其中一个所述弹簧的一端固定在压力传感器上，三个所述弹簧顶部外壁通过螺栓固定有同一个抵紧板。
优选的，所述工作台顶部外壁的两侧均通过螺栓固定有液压缸，且两个液压缸的活塞杆通过螺栓固定有同一个固定板。
优选的，所述固定板底部外壁中轴线处通过螺栓固定有抛光机构。
优选的，两个所述夹紧板相对一侧内壁均开设有夹紧槽，且两个夹紧槽的内壁均粘接有橡胶垫，所述压力传感器的输出端通过信号线连接有微处理器。
优选的，所述电动伸缩杆、减速电机、液压缸和电动滑轨均通过导线连接有开关，且开关通过导线和微处理器相连接。
本实用新型的有益效果为：
1.本碳化硅晶片抛光用的固定装置，通过在抛光箱中设置固定机构，通过固定机构中电动滑轨带动夹紧板来夹紧晶片，又通过抵紧板在晶片底部抵紧晶片，避免晶片在打磨过程中发生位移，解决了现有的碳化硅晶片在抛光过程中容易晃动的问题。
2.本碳化硅晶片抛光用的固定装置，通过在抵紧板底部设置压力传感器，通过压力传感器监测抵紧的力，避免抵紧板抵紧的力度过大，导致镜片抛光不均匀的问题，通过减速电机方便带动固定机构翻转，方便抛光机构进行双面抛光。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种碳化硅晶片抛光用的固定装置的剖视结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种碳化硅晶片抛光用的固定装置的固定机构结构示意图。
图中：1工作台、2隔板、3电动伸缩杆、4抛光箱、5安装板、6压力传感器、7弹簧、8抵紧板、9减速电机、10固定机构、11液压缸、12固定板、13抛光机构、14固定框、15夹紧板、16电动滑轨。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-2，一种碳化硅晶片抛光用的固定装置，包括工作台1，工作台1的两侧内壁通过螺栓固定有同一个隔板2，且隔板2顶部外壁的两侧均通过螺栓固定有电动伸缩杆3，工作台1顶部外壁开设有安装槽，且安装槽的内壁通过螺栓固定有顶部带有开口的抛光箱4，抛光箱4底部外壁的两侧均开设有通孔，两个电动伸缩杆3的输出轴分别穿过两个通孔内壁，且两个电动伸缩杆3输出轴通过螺栓固定有同一个安装板5，抛光箱4的两侧内壁通过轴承固定有同一个固定机构10，工作台1顶部内壁的一侧通过螺栓固定有减速电机9，且减速电机9的输出轴通过联轴器连接在固定机构10的传动轴上，固定机构10包括固定框14，且固定框14的两侧内壁均通过螺栓固定有电动滑轨16，两个电动滑轨16的两侧内壁均滑动连接有夹紧板15，安装板5顶部外壁开设有固定槽，且固定槽底部内壁设置有三个弹簧7，固定槽底部内壁通过螺栓固定有压力传感器6，其中一个弹簧7的一端固定在压力传感器6上，三个弹簧7顶部外壁通过螺栓固定有同一个抵紧板8，工作台1顶部外壁的两侧均通过螺栓固定有液压缸11，且两个液压缸11的活塞杆通过螺栓固定有同一个固定板12，固定板12底部外壁中轴线处通过螺栓固定有抛光机构13，两个夹紧板15相对一侧内壁均开设有夹紧槽，且两个夹紧槽的内壁均粘接有橡胶垫，压力传感器6的输出端通过信号线连接有微处理器，电动伸缩杆3、减速电机9、液压缸11和电动滑轨16均通过导线连接有开关，且开关通过导线和微处理器相连接，微处理器的型号为ARM9TDMI。
工作原理：使用时，通过在抛光箱4中设置固定机构10，通过固定机构10中电动滑轨16带动夹紧板15来夹紧晶片，又通过抵紧板8在晶片底部抵紧晶片，避免晶片在打磨过程中发生位移，通过在抵紧板8底部设置压力传感器6，通过压力传感器6监测抵紧的力，避免抵紧板8抵紧的力度过大，导致镜片抛光不均匀的问题，通过减速电机9方便带动固定机构10翻转，方便抛光机构13进行双面抛光。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种碳化硅晶片抛光用的固定装置，包括工作台(1)，其特征在于，所述工作台(1)的两侧内壁通过螺栓固定有同一个隔板(2)，且隔板(2)顶部外壁的两侧均通过螺栓固定有电动伸缩杆(3)，所述工作台(1)顶部外壁开设有安装槽，且安装槽的内壁通过螺栓固定有顶部带有开口的抛光箱(4)，所述抛光箱(4)底部外壁的两侧均开设有通孔，两个所述电动伸缩杆(3)的输出轴分别穿过两个通孔内壁，且两个所述电动伸缩杆(3)输出轴通过螺栓固定有同一个安装板(5)，所述抛光箱(4)的两侧内壁通过轴承固定有同一个固定机构(10)，所述工作台(1)顶部内壁的一侧通过螺栓固定有减速电机(9)，且减速电机(9)的输出轴通过联轴器连接在固定机构(10)的传动轴上，所述固定机构(10)包括固定框(14)，且固定框(14)的两侧内壁均通过螺栓固定有电动滑轨(16)，两个所述电动滑轨(16)的两侧内壁均滑动连接有夹紧板(15)。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片抛光用的固定装置，其特征在于，所述安装板(5)顶部外壁开设有固定槽，且固定槽底部内壁设置有三个弹簧(7)，所述固定槽底部内壁通过螺栓固定有压力传感器(6)，其中一个所述弹簧(7)的一端固定在压力传感器(6)上，三个所述弹簧(7)顶部外壁通过螺栓固定有同一个抵紧板(8)。
3.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片抛光用的固定装置，其特征在于，所述工作台(1)顶部外壁的两侧均通过螺栓固定有液压缸(11)，且两个液压缸(11)的活塞杆通过螺栓固定有同一个固定板(12)。
4.根据权利要求3所述的一种碳化硅晶片抛光用的固定装置，其特征在于，所述固定板(12)底部外壁中轴线处通过螺栓固定有抛光机构(13)。
5.根据权利要求2所述的一种碳化硅晶片抛光用的固定装置，其特征在于，两个所述夹紧板(15)相对一侧内壁均开设有夹紧槽，且两个夹紧槽的内壁均粘接有橡胶垫，所述压力传感器(6)的输出端通过信号线连接有微处理器。
6.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片抛光用的固定装置，其特征在于，所述电动伸缩杆(3)、减速电机(9)、液压缸(11)和电动滑轨(16)均通过导线连接有开关，且开关通过导线和微处理器相连接。
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| CN111730437A (zh) * | 2020-06-29 | 2020-10-02 | 广州佳优华信息科技有限公司 | 一种数控车床 |
| CN113400198A (zh) * | 2020-03-17 | 2021-09-17 | 无锡美译精密机械科技有限公司 | 一种自动磨合机 |
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