CN210015055U - 检测半导体材料内部缺陷的红外装置 - Google Patents

Abstract

检测半导体材料内部缺陷的红外装置，包括红外检测装置主体，红外检测装置主体上安装有两根横杆，两横杆的左端通过横板固定连接，横板的顶面开设圆孔，圆孔内设有转杆，转杆与圆孔通过轴承活动连接，转杆的上端固定安装齿轮，横杆的上方设有纵向的底板，底板上等距离纵向放置数个被检样品，底板的左侧面固定安装齿条，齿条与齿轮啮合。本装置的使用，能一次性放置数个被检样品，并通过旋转转杆，使得每个被检样品均能依次被检测，进而能省略多次拿取检测完的样品并放置新样品的步骤，进而减少工作人员多次重复动作所消耗的时间。

Description

检测半导体材料内部缺陷的红外装置

技术领域

本实用新型属于检测装置领域，具体地说是一种检测半导体材料内部缺陷的红外装置。

背景技术

对半导体材料内部缺陷的检测，是半导体工艺质量控制的常规手段，也是衡量和评价半导体质量的重要标准之一。目前，对半导体内部缺陷的检测常常使用红外显微镜去检测，而红外显微镜不仅传感器制备工艺复杂、难度大、成本高，同时具有整机结构复杂和分辨率低的缺点。其中，中国实用新型“ＣＮ２７９１６３９Ｙ（检测半导体材料内部缺陷的红外装置）”在满足检测的基础上，具有组装调试简单，检测效果可直接以图像的形式观察到材料内部的缺陷的优点，但是该装置在使用时，每次只能在检测装置上放置一个被检样品，由于被检样品往往是多个，因此在检测时，需进行多次的拿放动作，因此较为浪费工作人员的时间和体力。

实用新型内容

本实用新型提供一种检测半导体材料内部缺陷的红外装置，用以解决现有技术中的缺陷。

本实用新型通过以下技术方案予以实现：

检测半导体材料内部缺陷的红外装置，包括红外检测装置主体，红外检测装置主体上安装有两根横杆，两横杆的左端通过横板固定连接，横板的顶面开设圆孔，圆孔内设有转杆，转杆与圆孔通过轴承活动连接，转杆的上端固定安装齿轮，横杆的上方设有纵向的底板，底板上等距离纵向放置数个被检样品，底板的左侧面固定安装齿条，齿条与齿轮啮合，底板的右侧面固定安装固定块，红外检测装置主体上固定安装开有滑槽的滑轨，滑轨为纵向，滑轨上配合设有滑块，滑块能在滑轨的滑槽内滑动，滑块的左侧面与固定块的右侧面固定连接。

如上所述的检测半导体材料内部缺陷的红外装置，所述的红外检测装置主体包括光学显微镜、红外CCD摄像头、视频电缆、模拟图像监视器、图像采集系统和透射光源共同组成。

如上所述的检测半导体材料内部缺陷的红外装置，所述的外检测装置主体上固定安装L型杆，固定块的顶面开设纵向的条形透槽，L型杆的竖向部分插入条形透槽，条形透槽的两侧面内壁对称安装数对弹片，位于同一纵向线的两相邻弹片之间的横向中心线与检测样品的横向中心线为同一横向线上。

如上所述的检测半导体材料内部缺陷的红外装置，所述的转杆的下端固定安装旋钮。

如上所述的检测半导体材料内部缺陷的红外装置，所述的底板与横杆之间存在一定间隙。

如上所述的检测半导体材料内部缺陷的红外装置，所述的透射光源采用卤素灯。

本实用新型的优点是：本装置在使用时，被检样品均等距离的放置在底板上，其中在开始检测时，从底板一端的被检样品开始检测，在检测完该样品后，旋转转杆，转杆的转动带动齿轮转动，齿轮的转动带动齿条的移动，齿条的移动带动底板的移动，底板的移动带动被检完的样品远离检测区且待检的样品靠近检测区，从而进行下一个样品的检测。本装置中，由于滑块在滑轨的滑槽内滑动，因此在滑块在不妨碍底板移动的前提下，能有效的防止底板前端或后端偏沉时发生倾斜，进而保证装置的正常使用。本装置的使用，能一次性放置数个被检样品，并通过旋转转杆，使得每个被检样品均能依次被检测，进而能省略多次拿取检测完的样品并放置新样品的步骤，进而减少工作人员多次重复动作所消耗的时间。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型的结构示意图；图2是图1的I局部放大图；图3是图1的Ⅱ局部放大图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

检测半导体材料内部缺陷的红外装置，如图所示，包括红外检测装置主体1，红外检测装置主体1上安装有两根横杆2，两横杆2的左端通过横板3固定连接，横板3的顶面开设圆孔4，圆孔4内设有转杆5，转杆5与圆孔4通过轴承6活动连接，转杆5的上端固定安装齿轮7，横杆2的上方设有纵向的底板8，底板8为透光玻璃板做成，底板8上等距离纵向放置数个被检样品，底板8的左侧面固定安装齿条9，齿条9与齿轮7啮合，底板8的右侧面固定安装固定块10，红外检测装置主体1上固定安装开有滑槽的滑轨11，滑轨11为纵向，滑轨11上配合设有滑块12，滑块12能在滑轨11的滑槽内滑动，滑块12的左侧面与固定块10的右侧面固定连接。本装置在使用时，被检样品均等距离的放置在底板8上，其中在开始检测时，从底板8一端的被检样品开始检测，在检测完该样品后，旋转转杆5，转杆5的转动带动齿轮7转动，齿轮7的转动带动齿条9的移动，齿条9的移动带动底板8的移动，底板8的移动带动被检完的样品远离检测区且待检的样品靠近检测区，从而进行下一个样品的检测。本装置中，由于滑块12在滑轨11的滑槽内滑动，因此在滑块12在不妨碍底板8移动的前提下，能有效的防止底板8前端或后端偏沉时发生倾斜，进而保证装置的正常使用。本装置的使用，能一次性放置数个被检样品，并通过旋转转杆5，使得每个被检样品均能依次被检测，进而能省略多次拿取检测完的样品并放置新样品的步骤，进而减少工作人员多次重复动作所消耗的时间。

具体而言，为对被检物品进行检测，本实施例所述的红外检测装置主体1包括光学显微镜、红外CCD摄像头、视频电缆、模拟图像监视器、图像采集系统和透射光源共同组成。透射光源从被检验样品的底部以平行光方式照射到样品，透过的近红外信号通过光学显微镜的物镜进入显微镜内部进行放大，最后经接口达到红外CCD摄像头并转换为电信号，通过视频电缆再进入模拟监视器直接显示或进入图像采集系统转换为数字信号后在进行分析和显示。

具体的，为保证每次旋转转杆5均能保证被检样品均正好位于红外检测装置主体1的检测区，本实施例所述的外检测装置主体1上固定安装L型杆13，固定块10的顶面开设纵向的条形透槽14，L型杆13的竖向部分插入条形透槽14，条形透槽14的两侧面内壁对称安装数对弹片15，位于同一纵向线的两相邻弹片15之间的横向中心线与检测样品的横向中心线为同一横向线上。旋转转杆5并通过齿轮7与齿条9的配合带动底板8的移动，底板8的移动带动被检样品移动时带动固定块10移动，由于L型杆13固定不动，固定块10的移动带动弹片15移动，并与L型杆13的竖杆逐渐接触，从而使得两相对弹片15发生弯曲，使得两相对弹片15之间间隙逐渐变大，待两相对弹片15之间的间隙大于L型杆13竖杆的宽度时，L型杆13的竖杆穿过该两个相对的弹片15，从而L型杆13不再阻挡弹片15，其中，由于L型杆13的阻挡，两相对的弹片15经过L型杆10在L型杆阻力作用下，转杆5的旋转较为费力，而L型杆13不再阻碍时，转杆5的旋转较为轻松，因此工作人员能根据旋转的力度确定每次旋转的距离保持一致，进而使得每次旋转均能使得被检样品均正好位于红外检测装置主体1的检测区。

进一步的，为方便转杆5的旋转，本实施例所述的转杆5的下端固定安装旋钮16。转杆5的下端固定安装旋钮16，使得工作人员通过抓取旋钮16旋转转杆5，进而使得转杆5的旋转更加方便。

更进一步的，为防止横杆2的顶面与底板8的底面在滑动时产生磨损，本实施例所述的底板8与横杆2之间存在一定间隙。底板8与横杆2之间存在一定间隙，能使得底板8移动时不会与横杆2产生摩擦力，进而底板8的底面不会产生磨损，从而保证透射光源能顺利通过底板8照射在被检样品上。

更进一步的，为减少装置成本，本实施例所述的透射光源采用卤素灯。卤素灯为市场上最常见的一种灯，同时价格低廉，从而能减少装置的成本。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (6)

1.检测半导体材料内部缺陷的红外装置，其特征在于：包括红外检测装置主体（1），红外检测装置主体（1）上安装有两根横杆（2），两横杆（2）的左端通过横板（3）固定连接，横板（3）的顶面开设圆孔（4），圆孔（4）内设有转杆（5），转杆（5）与圆孔（4）通过轴承（6）活动连接，转杆（5）的上端固定安装齿轮（7），横杆（2）的上方设有纵向的底板（8），底板（8）上等距离纵向放置数个被检样品，底板（8）的左侧面固定安装齿条（9），齿条（9）与齿轮（7）啮合，底板（8）的右侧面固定安装固定块（10），红外检测装置主体（1）上固定安装开有滑槽的滑轨（11），滑轨（11）为纵向，滑轨（11）上配合设有滑块（12），滑块（12）能在滑轨（11）的滑槽内滑动，滑块（12）的左侧面与固定块（10）的右侧面固定连接。

2.根据权利要求1所述的检测半导体材料内部缺陷的红外装置，其特征在于：所述的红外检测装置主体（1）包括光学显微镜、红外CCD摄像头、视频电缆、模拟图像监视器、图像采集系统和透射光源共同组成。

3.根据权利要求1所述的检测半导体材料内部缺陷的红外装置，其特征在于：所述的外检测装置主体（1）上固定安装L型杆（13），固定块（10）的顶面开设纵向的条形透槽（14），L型杆（13）的竖向部分插入条形透槽（14），条形透槽（14）的两侧面内壁对称安装数对弹片（15），位于同一纵向线的两相邻弹片（15）之间的横向中心线与检测样品的横向中心线为同一横向线上。

4.根据权利要求1所述的检测半导体材料内部缺陷的红外装置，其特征在于：所述的转杆（5）的下端固定安装旋钮（16）。

5.根据权利要求1或2所述的检测半导体材料内部缺陷的红外装置，其特征在于：所述的底板（8）与横杆（2）之间存在一定间隙。

6.根据权利要求2所述的检测半导体材料内部缺陷的红外装置，其特征在于：所述的透射光源采用卤素灯。

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