CN210012898U - 一种抽真空设备及镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及机械技术领域，公开了一种抽真空设备及镀膜设备，其中抽真空设备包括：腔体；抽真空组件与所述腔体连接，用于抽取所述腔体内的流体；冷却组件具有冷凝件，所述冷凝件与所述腔体内的流体接触，所述冷凝件具有预设温度，用于将所述腔体内的流体转换为预设状态，以减少所述腔体内的流体。利用抽真空组件和腔体连接，对腔体内流体进行抽真空；通过冷凝组件对腔体内的流体进行预设转换，以减少腔体内的流体，抽真空组件可以独立使用进行抽真空；在冷凝组件对腔体内的流体进行预设转换时，抽真空组件对腔体内部流体进行抽真空，通过把部分流体进行预设转换，减少腔体内的流体；使得抽真空时间缩短，提升设备使用率。

Description

一种抽真空设备及镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及机械技术领域，具体涉及一种抽真空设备及镀膜设备。

背景技术

抽真空是生产或维修过程中，一个必不可少的重要工序。即用真空泵与制冷系统管路相连接(一般是高低压侧同时连接)，将系统管路中的不凝性气体和水分等排除的过程。

真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。

现有技术中，真空镀膜的方法很多，如：

(1)真空蒸镀：将需镀膜的基体清洗后放到镀膜室，抽空后将膜料加热到高温，使蒸气达到约13.3Pa而使蒸气分子飞到基体表面，凝结而成薄膜。

(2)阴极溅射镀：将需镀膜的基体放在阴极对面，把惰性气体(如氩)通入已抽空的室内，保持压强约1.33～13.3Pa，然后将阴极接上2000V的直流电源，便激发辉光放电，带正电的氩离子撞击阴极，使其射出原子，溅射出的原子通过惰性气氛沉积到基体上形成膜。

(3)化学气相沉积：通过热分解所选定的金属化合物或有机化合物，获得沉积薄膜的过程。

但在实际真空镀膜设备工作过程中，要求真空度小于3E-6Torr，所需抽真空时间较长，设备使用率低，影响产品出产率。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种抽真空设备，以解决抽真空时间较长、设备使用率低的问题。

根据第一方面，本实用新型实施例提供了一种抽真空设备，包括：

腔体；

抽真空组件，与所述腔体连接，用于抽取所述腔体内的流体；

冷却组件，具有冷凝件；其中，所述冷凝件与所述腔体内的流体接触，所述冷凝件具有预设温度，用于将所述腔体内的流体转换为预设状态，以减少所述腔体内的流体。

本实用新型实施例所提供的一种抽真空设备，利用抽真空组件和腔体连接，对腔体内流体进行抽真空；通过冷凝组件对腔体内的流体进行预设转换，以减少腔体内的流体，抽真空组件可以独立使用进行抽真空；在冷凝组件对腔体内的流体进行预设转换时，抽真空组件对腔体内部流体进行抽真空，通过把部分流体进行预设转换，减少腔体内的流体；使得抽真空时间缩短，提升设备使用率。

结合第一方面，在第一方面第一实施方式中，所述冷却组件设置于所述腔体内部。

本实用新型实施例所提供的一种抽真空设备，冷却组件设置于腔体内部，通过改变腔体内部温度，加速腔体内部流体进行预设转换。

结合第一方面或第一方面第一实施方式，在第一方面第二实施方式中，所述冷却组件还包括有温度控制器，所述温度控制器与所述冷凝件连接，用于调整所述冷凝件的温度。

本实用新型实施例所提供的一种抽真空设备，所述温度控制器与所述冷凝件连接，能够对腔体内部温度进行控制，有利于对腔体内部温度进行监控，根据所需环境及时调整抽真空速度，确保产品质量。

结合第一方面或第一方面第一实施方式，在第一方面第三实施方式中，所述腔体具有第一通孔，所述冷凝件通过所述第一通孔伸入所述腔体内；所述温度控制器设置于所述腔体外。

本实用新型实施例所提供的一种抽真空设备，所述腔体具有第一通孔，冷凝件通过第一通孔伸入所述腔体，通过使用可拆卸的冷凝件，提高了所述设备的灵活性，所述温度控制器设置在腔体外，把温度控制器放置与腔体外部这样有利于操作员通过观察温度控制器对腔体内部温度进行监控，灵活调整腔体内部的冷却效果。

结合第一方面或第一方面第一实施方式，在第一方面第四实施方式中，所述冷凝件为第一管路。

本实用新型实施例所提供的一种抽真空设备，利用所述第一管路对腔体内部进行冷却，达到减少流体的目的。

结合第一方面或第一方面第一实施方式，在第一方面第五实施方式中，所述预设温度小于或等于-100℃。

本实用新型实施例所提供的一种抽真空设备，当预设温度小于或等于-100℃，或者当预设温度处于低温环境时(-100℃以下)，有利于腔体内的流体冷却。

结合第一方面或第一方面第一实施方式，在第一方面第六实施方式中，所述腔体还具有第二通孔；其中，所述抽真空组件包括：第二管路，所述第二管路通过所述第二通孔与所述腔体导通。

本实用新型实施例所提供的一种抽真空设备，所述第二管路通过所述第二通孔与所述腔体导通，有利于提高抽真空的速度。

根据第二方面，本实用新型实施例还提供了一种镀膜设备，包括本实用新型第一方面，或第一方面任一实施方式中所述的抽真空设备。

本实用新型实施例所提供的一种镀膜设备，包括一种抽真空设备；半成品在腔体中进行镀膜操作，镀膜过程中所产生的流体通过抽真空装置进行抽真空，通过增加冷却组件；提高所述设备的抽真空时间，产品出产率，通过冷却组件的控制，延长设备使用周期。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例中一种抽真空设备结构示意图；

图2是本实用新型实施例中一种抽真空设备侧面结构示意图；

附图标记：

11-冷却组件；12-腔体；13-抽真空组件；111-冷凝件；112-温度控制器；131-第二管路；

21-第一通孔；22-第二通孔；

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本使用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例

本实用新型实施例提供一种抽真空设备，如图1所示，该抽真空设备包括：腔体12，抽真空组件13以及冷却组件11。

其中，腔体12内的流体包括大气中存在的气体，以及产品生产过程所产生的金属或化学物质在腔体内解吸释放出的流体。以下所述腔体12内的流体为气体和水分，如：空气、氢、氮等气体物质，也可以是镀膜材料气化后的原子、分子或者离子。

抽真空组件13与腔体12连接，该抽真空组件13用于抽取腔体12内的流体。其中，抽真空组件13不限于安装在腔体12内或腔体12外，只需保证其与腔体12连接且确保腔体12在抽真空中的密闭性，能够将腔体12内流体抽取出即可。

作为本实施例的一种可选的具体实施方式，该抽真空组件13通过抽真空机对腔体12内部进行抽真空，当操作员启动抽真空组件13时，抽真空机通过对腔体12内流体不断的吸入、排出，以达到抽真空的目的。

可选的，所述抽真空组件13还可以是包括抽真空泵，利用抽真空泵在腔内形成的通过旋转产生体积变化的流体，在将存在于腔体12内的流体排出泵外的过程；也可理解为在吸气过程中，吸气腔体12积增大，真空度降低，将容器内气体吸入泵腔，在排气过程中体积变小，压强增大，最终通过油封将吸入的流体排出泵外的过程，通过抽真空泵抽出腔体12内部流体。

进一步可选的，所述抽真空组件13还可以包括有压缩机，压缩机对腔体12内部的流体进行压缩排出，以达到抽真空目的。所述压缩机从吸气管吸入低温低压的制冷剂气体，通过电机运转带动活塞对其进行压缩后，向排气管排出高温高压的制冷剂气体，为制冷循环提供动力。通过吸气、压缩、排气等步骤，减少腔体12内部的流体。

除以上抽真空组件13外还可以是任何具有抽真空功能的设备，在此不再赘述。

请结合图1，冷却组件11具有冷凝件111，该冷凝件111与腔体12内的流体接触，冷凝件111具有预设温度，用于将所述腔体12内的流体转换为预设状态，以减少腔体12内的流体。该冷凝件111具有预设温度，用于将腔体12内的流体转换为预设状态，以减少腔体12内的流体。例如，冷凝件111可以利用热交换原理使冷凝性流体冷却凝结为液体/固体的腔体12内降温的方式，对腔体12内部的流体进行冷却，使得冷却后的流体为预设状态吸附在冷凝件111上。

其中，冷却组件11可以是全部设置于腔体12内部，也可以是部分设置于腔体12内部，只需保证冷却组件11中的冷凝件111能够与腔体12内的流体接触即可。

进一步地，所述该冷凝件111可以是冷凝管，也可以是冷凝柱、冷凝机等,只需保证该冷凝件111能够将腔体12内的流体转换为预设状态，从而使得腔体12内的流体减少，腔体12内剩余的流体会通过抽真空组件13进行抽离。

本实施例提供的抽真空设备，利用抽真空组件13和腔体12连接，对腔体12内流体进行抽真空；通过冷凝组件对腔体12内的流体进行预设转换，以减少腔体12内的流体，抽真空组件13可以独立使用进行抽真空；在冷凝组件对腔体12内的流体进行预设转换时，抽真空组件13对腔体12内部流体进行抽真空，通过把部分流体进行预设转换，减少腔体12内的流体，使得抽真空时间缩短，提升设备使用率。

作为本实施例的一种可选实施方式，该冷却组件11还包括有温度控制器112，该温度控制器112与冷凝件111连接，用于调整冷凝件111的温度。所述温度控制器112，可以具备显示功能，能够实时监控腔体12内部的温度，以便随时通过冷凝件111调节腔体12内部温度；所述温度控制器112控制冷凝件111对腔体12进行冷却，当抽真空工作结束后，温度控制器112会控制冷凝件111进行升温处理，使腔体12内部处于至常温，将冷凝的物质进行释放，保证腔体12的使用寿命。

具体地，当需要对腔体12进行抽真空时，温度控制器112调整冷凝件111的温度，使其降低至预设温度(预设温度小于或等于-100℃)，腔体12内的流体在该预设温度下转换为预设状态，吸附在冷凝件111表面，从而使得腔体12内的流体减少；当腔体12不需要为真空状态时，温度控制112调整冷凝件111的温度，使其温度上升，吸附在其表面的预设状态的流体恢复至原态。其中，所述冷凝件111为第一管路，第一管路位于腔体12内，通过温度控制器112对进行调温，设为-100℃。第一管路通过制冷降低腔体12内流体的温度，使部分可凝性流体结晶吸附在第一管路上，以此减少腔体12内的流体。

可选的，该所述冷凝件111为冷凝机，冷凝机全部位于腔体12内，通过电导线与对腔体12外部温度控制器112进行连接；冷凝机上电后对腔体12内部的流体进行降温冷却处理，被冷却流体附着在冷凝机上；通过冷却使腔体12内所需抽取的流体减少。

如图1所示，抽真空组件13与腔体12进行连接可独立工作进行抽真空，也可以与冷凝组件同时工作；当用户对抽真空有要求时，冷却组件11对腔体12内的流体温度进行调节；冷凝件111对可凝结流体进行凝结处理，同时抽真空组件13对腔体12内的流体进行抽离，通过抽真空冷凝的方式缩短抽真空时间。

其中，抽真空组件13与冷却组件11的工作过程可以采用方式进行：

(1)所述抽真空组件13对腔体12内流体先进行抽真空，当需要对该作业提速时，冷却组件11工作，冷却组件11对腔体12内部的流体进行冷却，加速作业；通过先抽空后制冷，这样可以进行灵活操作。

(2)所述在抽真空设备在启动工作时，同时启动所述抽真空组件13和冷却组件11；腔体12内流体被抽真空组件13抽出，同时对腔体12内剩余流体进行冷却，通过同时启动两个组件达到加速作业的目的。

(3)可以在抽真空机设备启动前对腔体12内部进行冷却，先对腔体12内部进行冷却，可以减少腔体12内的流体。当冷却达到设置温度时，接通抽真空机抽出腔体12内部流体；通过先对腔体12内部降温然后抽取流体，能够最大限度的留住腔体12所需的流体，之后排出剩余流体。

作为本实施例的一种可选的具体实施方式，如图2所示，所述腔体12具有第一通孔21，冷凝件111通过第一通孔21伸入腔体12内；所述温度控制器112设置于腔体12外。其中，与冷凝件111连接的温度控制器112可嵌于腔体12表面，以保证冷却的密封性、节省空间，便于调控。

如图2所示，所述腔体12还包括第一通孔21，所述第一通孔21是为方便冷凝件111伸入腔体12，与外部温度控制器112连接。

此外，腔体12还具有第二通孔22，第二通孔22用于抽真空组件13进行抽真空，第二通孔22连接第二管路131，所述第二管路131和抽真空组件13可以安装在腔体12内部向外排出腔体12内的流体，也可以安装在腔体12外部抽出腔体12内的流体。所述第一通孔21和第二通孔22的实际形状与所述第一、二管路相同，例如，可以是圆型、方形等。

本实用新型实施例还提供了一种镀膜设备，包括一种抽真空设备。其中所述镀膜设备中抽真空部分的结构可参见上述图1以及图2所示实施例的详细描述，在此不再赘述。

虽然结合附图描述了本实用新型的实施例，但是本领域技术人员可以在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下做出各种修改和变型，这样的修改和变型均落入由所附权利要求所限定的范围之内。

Claims (8)

1.一种抽真空设备，其特征在于，包括：

腔体(12)；

抽真空组件(13)，与所述腔体(12)连接，用于抽取所述腔体(12)内的流体；

冷却组件(11)，具有冷凝件(111)；其中，所述冷凝件(111)与所述腔体(12)内的流体接触，所述冷凝件(111)具有预设温度，用于将所述腔体(12)内的流体转换为预设状态，以减少所述腔体(12)内的流体。

2.根据权利要求1所述的一种抽真空设备，其特征在于，所述冷却组件(11)设置于所述腔体(12)内部。

3.根据权利要求1所述的一种抽真空设备，其特征在于，所述冷却组件(11)还包括有温度控制器(112)，所述温度控制器(112)与所述冷凝件(111)连接，用于调整所述冷凝件(111)的温度。

4.根据权利要求3所述的一种抽真空设备，其特征在于，所述腔体(12)具有第一通孔(21)，所述冷凝件(111)通过所述第一通孔(21)伸入所述腔体(12)内；所述温度控制器(112)设置于所述腔体(12)外。

5.根据权利要求4所述的一种抽真空设备，其特征在于，所述冷凝件(111)为第一管路。

6.根据权利要求1所述的一种抽真空设备，其特征在于，所述预设温度小于或等于-100℃。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的一种抽真空设备，其特征在于，所述腔体(12)还具有第二通孔(22)；其中，所述抽真空组件(13)包括：

第二管路(131)，所述第二管路(131)通过所述第二通孔(22)与所述腔体(12)导通。

8.一种镀膜设备，其特征在于，包括权利要求1-7任一项所述的抽真空设备。

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