CN210005060U - 芯片技术微量气体流量检测模块 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及芯片技术微量气体流量检测模块，用于气体流量检测，它公开了整流器设置在外壳内的主流道中间处，整流器是空心的圆柱体，在整流器内是井字形网格；在外壳内位于整流器的上方设置有一条分流道，分流道的入气口与整流器前端主流道连通，分流道的出气口与整流器后端主流道连通；PCB板设置在外壳内位于分流道的侧面，MEMS芯片安装在PCB板上，PCB芯片封装板上设置有窗口让MEMS芯片表面外露，分流道的中间段与PCB芯片封装板的窗口连通，分流道分为前、后两段，分流道的前段口径比后两段小，分流道的总长度比整流器的长度大。本实用新型的优点是结构合理，检测误差小，工作稳定，流量宽度大。
Description
技术领域
本实用新型涉及芯片技术微量气体流量检测模块，具体地说是一种流量检测宽度大，检测稳定的气体检测模块。
背景技术
现市场上气体流量计是常见的气体检测设备之一，如家用天然气流量表、漏气检测表、气体实验测量表等仪器中都需要应用到气体流量计，特别是在家用天然气流量表，因为要各种家庭使用天然气的习惯和用过，所以要求流量检测宽度要大，而且误差率小，工作稳定，但市场上天然气流量表流量检测宽度不大，需要根据各管道大小选配流量检测宽度相应的气体流量表，这样一来就形成了检测表的规格繁多，各表误差造成统一麻烦同时影响计算结果质量。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供芯片技术微量气体流量检测模块，它针对家庭使用天燃气的特性，采用前小、后大两段分流道设计及井字形网格的整流器产生差压，在大流量的情况下能让气体平稳流过MEMS 表面，保证了检测质量，同时能适应0.1～100L/min的流量宽度。
本实用新型的技术解决方案是在外壳，硅胶垫，PCB板，MEMS芯片，PCB芯片封装板，金属保护外套，整流器的基础上，特点是整流器设置在外壳内的主流道中间处，整流器是空心的圆柱体，在整流器的空腔内通过横条间隔成井字形的网格；在外壳内位于整流器的上方设置有一条冂字形的分流道，分流道的入气口与整流器前端的外壳内主流道连通，分流道的出气口与整流器后端的外壳内主流道连通；分流道内的转角为直角，PCB板设置在外壳内位于分流道的侧面，MEMS 芯片安装在PCB板上，并且通过PCB芯片封装板进行封装，PCB芯片封装板上设置有窗口让MEMS芯片表面外露，分流道的中间段与PCB 芯片封装板的窗口连通，分流道从PCB芯片封装板的窗口为中心点分为前、后两段，分流道的前段口径比后两段小，分流道的总长度比整流器的长度大。
以上所述的PCB芯片封装板上设置有金属保护外套，金属保护外套包围PCB芯片封装板的窗口及MEMS芯片，形成一个气流检测内腔，使MEMS芯片的表面能与分流道内流动的气流接触。
本实用新型所述的分流道是圆型通道，分流道的前段直径是1mm，后段直径是1.3mm，分流道的总长度是整流器总长度的三倍。
本实用新型的工作原理是通过井字形网格的整流器阻挡主流道中的流动气体，使整流器前、后的气体形成总流量的1％气压差，再采用前小后大口径及直角转弯的分流道，及金属保护外套形成一个气流检测内腔，为MEMS提供稳定的检测环境，使得检测流量能达到0.1～ 100L/min的宽度。
本实用新型的优点是结构合理，检测误差小，工作稳定，流量宽度大。
附图说明
图1是本实用新型剖视结构示意图；
图2是本实用新型图1中A-A剖视结构示意图；
图3是本实用新型的整流器立体结构示意图。
具体实施方式
根据图1、图2、图3所示，本实用新型的外壳1内硅胶垫4与 PCB板8是常见的气体检测电路板，PCB板8前后叠加安装，PCB芯片封装板7把型号为(MDP200)MEMS芯片5封装在PCB板8上，而且通过金属保护外套9包围保护MEMS芯片5，然后总长度45mm的主流道3内安装总长度10mm的整流器6，特点是整流器6设置在外壳1 内的主流道3中间处，整流器6是空心的圆柱体，在整流器的空腔内通过横条10间隔成井字形的网格；在外壳1内位于整流器6的上方设置有一条横跨整流器6的冂字形分流道2，分流道2的入气口与整流器6前端的外壳内主流道连通，分流道2的出气口与整流器6后端的外壳内主流道连通；分流道2内的转角为直角，PCB板设8置在外壳1内位于分流道2的侧面，MEMS芯片5安装在PCB板8上并且通过PCB芯片封装板7进行封装，PCB芯片封装板7上设置有窗口让MEMS 芯片5表面外露，分流道2的中间段与PCB芯片封装板7的窗口连通，分流道2从PCB芯片封装板的窗口为中心点分为前、后两段，分流道的前段口径比后两段小，分流道2的总长度比整流器6的长度大。所述的PCB芯片封装板上设置有金属保护外套，金属保护外套9包围 PCB芯片封装板的窗口及MEMS芯片5，形成一个气流检测内腔，使 MEMS芯片的表面能与分流道2内流动的气流接触。所述的分流道2 是圆型通道，分流道2的前段直径是1mm，后段直径是1.3mm，分流道的总长度是整流器6总长度的三倍。
Claims (3)
1.芯片技术微量气体流量检测模块，它包括外壳，硅胶垫，PCB板，MEMS芯片，PCB芯片封装板，金属保护外套，整流器，其特征是整流器设置在外壳内的主流道中间处，整流器是空心的圆柱体，在整流器的空腔内通过横条间隔成井字形的网格；在外壳内位于整流器的上方设置有一条冂字形的分流道，分流道的入气口与整流器前端的外壳内主流道连通，分流道的出气口与整流器后端的外壳内主流道连通；分流道内的转角为直角，PCB板设置在外壳内位于分流道的侧面，MEMS芯片安装在PCB板上，并且通过PCB芯片封装板进行封装，PCB芯片封装板上设置有窗口让MEMS芯片表面外露，分流道的中间段与PCB芯片封装板的窗口连通，分流道从PCB芯片封装板的窗口为中心点分为前、后两段，分流道的前段口径比后两段小，分流道的总长度比整流器的长度大。
2.根据权利要求1所述芯片技术微量气体流量检测模块，其特征是所述的PCB芯片封装板上设置有金属保护外套，金属保护外套包围PCB芯片封装板的窗口及MEMS芯片，形成一个气流检测内腔，使MEMS芯片的表面能与分流道内流动的气流接触。
3.根据权利要求1所述芯片技术微量气体流量检测模块，其特征是所述的分流道是圆型通道，分流道的前段直径是1mm，后段直径是1.3mm，分流道的总长度是整流器总长度的三倍。
Priority Applications (1)
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| CN201921054160.9U CN210005060U (zh) | 2019-07-08 | 2019-07-08 | 芯片技术微量气体流量检测模块 |
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| CN201921054160.9U CN210005060U (zh) | 2019-07-08 | 2019-07-08 | 芯片技术微量气体流量检测模块 |
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| CN210005060U true CN210005060U (zh) | 2020-01-31 |
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|---|---|
| CN (1) | CN210005060U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111426354A (zh) * | 2020-04-15 | 2020-07-17 | 江苏鑫亚达仪表制造有限公司 | 一种流量测量机构及测量装置 |
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2019
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