CN209981181U

CN209981181U - Io盒拆卸检修辅助装置

Info

Publication number: CN209981181U
Application number: CN201920956897.3U
Authority: CN
Inventors: 颜超仁; 陈章晏; 丁洋
Original assignee: Huaian Imaging Device Manufacturer Corp
Current assignee: Huaian Imaging Device Manufacturer Corp
Priority date: 2019-06-24
Filing date: 2019-06-24
Publication date: 2020-01-21
Anticipated expiration: 2029-06-24

Abstract

该实用新型涉及一种IO盒拆卸检修辅助装置，包括：安装台，用于安装待拆卸的IO盒；支撑架，连接至所述安装台，用于支撑安装至所述安装台的所述IO盒，使所述IO盒的空间位置固定。以上IO盒拆卸检修辅助装置具有支撑架，能够将所述安装台上安装的待拆卸的IO盒顶起，使所述IO盒的空间位置固定，便于用户对所述IO盒内的部件进行维护、检修，十分方便。并且，在使用所述IO盒拆卸检修辅助装置时，无需将所述IO盒内的电缆、线缆等完全拆卸下来，只需拆卸部分必须要拆卸的电缆、线缆，因此大大缩短了对IO盒内的部件进行检修、维护时所需的时间。

Description

IO盒拆卸检修辅助装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆生产制造加工设备领域，具体涉及一种IO盒拆卸检修辅助装置。

背景技术

半导体制造生产中，湿法设备的使用非常广泛。常用的湿法刻蚀机台，例如DNSSingle Tool SU-3100，机台的IO讯号、通讯、MPC Power Supply Board等主要设备均安装于IO盒内部，因此IO盒是湿法刻蚀机台最重要的地方，并且是一切电力/讯号/通讯的源头。机台运行中，如IO盒内其中一个控制板(Controller Board)发生问题，则会导致整台机台挂机，影响该湿法刻蚀机台的产能，并且会影响当前正在制程中的产品的良率，严重时甚至会引起当前正在制程中的产品报废，因此，在具体的使用过程中，必须非常注意IO盒的状态。

IO盒位于前塔(Front Tower)处，挂于三轴盒(Three Axis Box)下方，位于风机单元(FFU unit)303上方(此处可参阅图3)。现有技术中，在更新维护IO盒内的部件时，需要以人力将所述IO盒拆下，再进行相应的更新维护，在经济效益上非常不理想。并且，IO盒整体约重5kg，且化学洗净机台内空间狭隘，难以搬运，IO盒下方又是风机单元303，不能踩踏，因此只能借助外界设置的方管铁架302等工具支撑工作人员进行搬运作业，非常危险。并且IO盒上有许多配线，如IO讯号、通讯电缆等，必须花费一定时间拆解、标记电缆，才可卸下IO盒本体，进行进一步的更换，耗时、耗力又危险。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种IO盒拆卸检修辅助装置，能够方便用户对IO盒的拆解。

为解决上述技术问题，本实用新型中提供了一种IO盒拆卸检修辅助装置，包括：安装台，用于安装待拆卸的IO盒；支撑架，连接至所述安装台，用于支撑安装至所述安装台的所述IO盒，使所述IO盒的空间位置固定。

可选的，所述支撑架包括：支撑轴，垂直设置于所述安装台下方，与所述安装台连接；所述IO盒拆卸检修辅助装置还包括：驱动电机，所述支撑轴连接至所述驱动电机，由所述驱动电机驱动所述支撑轴伸缩。

可选的，所述支撑轴的外表面设置有螺纹。

可选的，还包括：连接法兰，连接到所述安装台与所述支撑轴，用于将所述安装台安装至所述支撑轴顶端。

可选的，还包括：波纹管，罩设于所述支撑轴外侧。

可选的，还包括：外壳，罩设在所述驱动电机外侧，且所述外壳的底部设置有辅助的万向轮。

可选的，所述外壳表面设置有维修门。

可选的，还包括：安装架，连接至所述支撑架，用于固定所述支撑架的位置。

可选的，所述安装架的数目为两个，分别设置在所述支撑架两侧，以固定所述支撑架的位置。

以上IO盒拆卸检修辅助装置具有支撑架，能够将所述安装台上安装的待拆卸的IO盒顶起，使所述IO盒的空间位置固定，便于用户对所述IO盒内的部件进行维护、检修，十分方便。并且，在使用所述IO盒拆卸检修辅助装置时，无需将所述IO盒内的电缆、线缆等完全拆卸下来，只需拆卸部分必须要拆卸的电缆、线缆，因此大大缩短了对IO盒内的部件进行检修、维护时所需的时间。

附图说明

图1为本实用新型的一种具体实施方式中的IO盒拆卸检修辅助装置的拆解示意图。

图2为本实用新型的一种具体实施方式中的连接法兰的俯视示意图。

图3为本实用新型的一种具体实施方式中的IO盒拆卸检修辅助装置安装有IO盒时的示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施方式对本实用新型提出的一种IO盒拆卸检修辅助装置作进一步详细说明。

请参阅图1和图3，为本实用新型的一种具体实施方式中的IO盒拆卸检修辅助装置的拆解示意图，图3为本实用新型的一种具体实施方式中的IO盒拆卸检修辅助装置安装有IO盒时的示意图。

在该具体实施方式中，提供了一种IO盒拆卸检修辅助装置，包括：安装台101，用于安装待拆卸的IO盒301；支撑架100，连接至所述安装台101，用于支撑安装至所述安装台101的所述IO盒301，使所述IO盒301的空间位置固定。

该具体实施方式中的IO盒拆卸检修辅助装置具有支撑架100，能够将所述安装台101上安装的待拆卸的IO盒301顶起，使所述IO盒301的空间位置固定，便于用户对所述IO盒301内的部件进行维护、检修，十分方便。并且，在使用所述IO盒拆卸检修辅助装置时，无需将所述IO盒301内的电缆、线缆等完全拆卸下来，只需拆卸部分必须要拆卸的电缆、线缆，因此大大缩短了对IO盒301内的部件进行检修、维护时所需的时间。

在一种具体实施方式中，所述支撑架100包括：支撑轴，垂直设置于所述安装台101下方，与所述安装台101连接。实际上，所述支撑轴也可与所述安装台101具有一非直角的夹角。只是在所述支撑轴与所述安装台101为垂直关系时，所述支撑轴为所述安装台101提供的支撑力没有在其他方向上的分力，因此所述支撑轴会更耐用。

在一种具体实施方式中，所述支撑轴由不锈钢或铜制成，直径大于2cm，以使得所述支撑轴能够支撑质量较大的IO盒301。

所述IO盒拆卸检修辅助装置还包括：驱动电机，所述支撑轴连接至所述驱动电机，由所述驱动电机驱动所述支撑轴伸缩，这样就可以带动设置在所述支撑轴顶端的安装台101一起伸缩，以满足不同用户对所述IO盒301高度的需求，以便用户对所述IO盒301进行操作。

在一种具体实施方式中，所述支撑轴的外表面设置有螺纹，使得所述支撑轴可以跟随所述驱动电机的驱动旋进旋出，实现伸缩。

在一种具体实施方式中，还包括一控制器111，连接至所述驱动电机，用于控制所述驱动电机的正转和反转，从而控制所述支撑轴的升缩。在一种具体实施方式中，所述控制器111设置有三个按钮112，分别对应至驱动电机的正转，即支撑轴升起，以及驱动电机的反转，即支撑轴的下落，还有就是支撑轴的运动停止，这时所述支撑轴升出的高度固定。

请参阅图2，为本实用新型的一种具体实施方式中的连接法兰的俯视示意图。

在该具体实施方式中，所述IO盒拆卸检修辅助装置还包括：连接法兰104，连接到所述安装台101与所述支撑轴，用于将所述安装台101安装至所述支撑轴顶端。设置所述连接法兰104，使得所述安装台101和所述支撑轴的连接关系更加稳固。

在该具体实施方式中，所述连接法兰104表面设置有六个第一螺孔202，用于连接到所述支撑轴的端面。且所述连接法兰104表面还设置有4个第二螺孔201，用于连接到所述安装台101。

具体的，所述安装台101的底部与第二螺孔201的位置相对的地方开有螺孔。所述支撑轴的端面也开有螺孔，与所述第一螺孔202的位置相对应。

在一种具体实施方式中，所述安装台101也设置有限位块103。当所述IO盒301安装至所述安装台101时，所述限位块103限制所述IO盒301与所述安装台101的相对位置，使所述IO盒301不会相对于所述安装台101发生滑移，保证了IO盒301不会滑下安装台101，给用户造成危险。

在图1、3中只画出了位于所述安装台101前后两侧的限位块103，实际上，在一些具体实施方式中，所述安装台101的左右两侧也有所述限位块103，这样，所述IO盒301在安装至所述安装台101时，放置在四个限位块103所围成的区域的内侧，被四个限位块103限制在所述安装台101平面上，难以发生掉落。

在一种具体实施方式中，所述IO盒拆卸检修辅助装置还包括：波纹管106，罩设于所述支撑轴外侧。所述波纹管106不仅可以用来遮挡灰尘，还可以用来为所述安装台101提供一定的支撑力。并且，由于所述支撑轴是可以伸缩的，因此，设置可伸缩的波纹管106来防尘，可以适应于支撑轴的不同长度。

在一种具体实施方式中，所述IO盒拆卸检修辅助装置还包括：外壳105，罩设在所述驱动电机外侧，且所述外壳105的底部设置有辅助的万向轮109。设置外壳105可以防止灰尘粘到所述驱动电机，保证所述驱动电机的清洁。设置万向轮109可以让所述支撑架100被放置到地面时，可以更方便的进行移动。

在一种具体实施方式中，所述外壳105表面设置有维修门110。通过设置维修门110，既方便了对驱动电机的维修需求，又能保证外壳105的防尘功能。

在一种具体实施方式中，所述维修门110设置所述外壳105的侧壁上。实际上，可根据需要设置所述维修门110所在的具体位置，如设置成位于所述外壳105的上壁。

在一种具体实施方式中，所述IO盒拆卸检修辅助装置还包括：安装架102，连接至所述支撑架100，用于固定所述支撑架100的位置。

在一种具体实施方式中，所述安装架102的数目为两个，分别设置在所述支撑架100两侧，以固定所述支撑架100的位置。

实际上，也可根据需要设置所述安装架102的数目。在一些具体实施方式中，可以设置三个以上的安装架102，来使所述支撑架100的位置固定，而不会发生摇晃。

在图1所示的具体实施方式中，第一安装架的第一端安装到所述外壳105的第一侧壁，第一安装架的第二端安装到方管铁架302上。第二安装架的第一端安装到所述外壳105的第一侧壁，第二安装架的第二端安装到方管铁架302上。

具体的，所述安装架102的第一端通过螺钉等安装、固定到所述外壳105表面，所述安装架102的第二端具有门型夹107，与方管铁架302的形状相适应，将方管铁架302夹在所述门型夹107的两个侧壁之间，且所述门型夹107的一个侧壁穿透有锁紧螺钉108。通过锁紧螺钉108的锁紧，将所述门型夹107固定到所述铁架上，实现所述安装架102的安装。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims

1.一种IO盒拆卸检修辅助装置，其特征在于，包括：

安装台，用于安装待拆卸的IO盒；

支撑架，连接至所述安装台，用于支撑安装至所述安装台的所述IO盒，使所述IO盒的空间位置固定。

2.根据权利要求1所述的IO盒拆卸检修辅助装置，其特征在于，所述支撑架包括：

支撑轴，垂直设置于所述安装台下方，与所述安装台连接；

所述IO盒拆卸检修辅助装置还包括：

驱动电机，所述支撑轴连接至所述驱动电机，由所述驱动电机驱动所述支撑轴伸缩。

3.根据权利要求2所述的IO盒拆卸检修辅助装置，其特征在于，所述支撑轴的外表面设置有螺纹。

4.根据权利要求2所述的IO盒拆卸检修辅助装置，其特征在于，还包括：

连接法兰，连接到所述安装台与所述支撑轴，用于将所述安装台安装至所述支撑轴顶端。

5.根据权利要求2所述的IO盒拆卸检修辅助装置，其特征在于，还包括：

波纹管，罩设于所述支撑轴外侧。

6.根据权利要求2所述的IO盒拆卸检修辅助装置，其特征在于，还包括：

外壳，罩设在所述驱动电机外侧，且所述外壳的底部设置有辅助的万向轮。

7.根据权利要求6所述的IO盒拆卸检修辅助装置，其特征在于，所述外壳表面设置有维修门。

8.根据权利要求1所述的IO盒拆卸检修辅助装置，其特征在于，还包括：

安装架，连接至所述支撑架，用于固定所述支撑架的位置。

9.根据权利要求8所述的IO盒拆卸检修辅助装置，其特征在于，所述安装架的数目为两个，分别设置在所述支撑架两侧，以固定所述支撑架的位置。