CN209957891U - 一种带辅助加热功能的磁材真空镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，且公开了一种带辅助加热功能的磁材真空镀膜机，包括底座，所述底座顶部固定安装有支撑架，所述支撑架的顶部固定安装有真空室，所述真空室的顶部固定安装有电子发生器，所述电子发生器的底部固定连接有枪头。该带辅助加热功能的磁材真空镀膜机，通过加热电阻可以在真空条件下对镀膜产品上残留的水进行加热烘干处理，使得产品更加干净，也增强了产品表面活性，增加镀膜质量，在真空条件下能够有效的防止产品的氧化，通过设置加热室将加热电阻进行密封可以保证镀膜不会镀膜在加热电阻上，保证了加热电阻能够进行可靠的工作，通过玻璃观察窗可以对真空室内的镀膜产品进行观察。

Description

一种带辅助加热功能的磁材真空镀膜机

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种带辅助加热功能的磁材真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，基片与靶材同在真空腔中。

由于镀膜产品前期需要表面处理然后清洗烘干，即使烘干表面也会有潮气存在，潮气会影响镀膜效率和质量，而且在进行镀膜时一次只能装有一定量需要进行镀膜的产品，当第一批产品镀膜完成以后再将产品拿下在工件架上装上另一批需要镀膜的产品，这种方式的效率太低，浪费了大量的时间。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种带辅助加热功能的磁材真空镀膜机，具备效率高，镀膜产品的质量较高的优点，解决了传统的镀膜装置效率低而且产品表面容易残留水分容易导致镀膜效率低和质量不好的问题。

本实用新型提供如下技术方案：一种带辅助加热功能的磁材真空镀膜机，包括底座，所述底座顶部固定安装有支撑架，所述支撑架的顶部固定安装有真空室，所述真空室的顶部固定安装有电子发生器，所述电子发生器的底部固定连接有枪头，所述枪头的底部贯穿真空室并延伸至真空室的内部，所述真空室的顶部固定安装有真空表，所述真空室内腔的侧面固定安装有加热室，所述加热室的内部固定安装有加热电阻，所述底座的顶部固定安装有真空泵，所述真空泵的输出端固定连通有真空连接管，所述真空连接管的另一端与真空室的底部相连通，所述真空室的右侧面固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定安装有第一皮带轮，所述真空室内腔的底部固定安装有第一轴承，所述第一轴承的内部固定套装有传动轴，所述传动轴顶部的外表面固定套装有第一齿轮，所述真空室的底部固定粘接有橡胶堵，所述传动轴的底部贯穿橡胶堵并延伸至真空室的底部且固定套装有第二皮带轮，所述第二皮带轮通过皮带与第一皮带轮传动连接，所述真空室的左侧面固定安装有铰接装置，所述铰接装置的侧面固定连接有第一密封门，所述第一密封门的正面固定安装有玻璃观察窗，所述第一密封门的正面固定粘接有密封圈，所述第一密封门内腔的底部固定安装有第二轴承，所述第二轴承的内圈固定套装有转动轴，所述转动轴的外表面固定安装有工件架，所述转动轴的外表面固定第二齿轮，所述第一密封门的侧面固定连接有卡接座，所述卡接座的内部活动安装有插接杆。

优选的，所述真空室的左侧面通过铰接装置活动安装有第二密封门，所述第二密封门与第一密封门上安装的部件均相同。

优选的，所述真空室的侧面固定安装有与插接杆相适配的插接槽。

优选的，所述加热室的数量为两个，两个所述加热室以真空室的中线为对称轴对称分布。

优选的，所述工件架的数量为六个，六个所述工件架的平面之间的角度差为°。

与现有技术对比，本实用新型具备以下有益效果：

1、该带辅助加热功能的磁材真空镀膜机，通过加热电阻可以在真空条件下对镀膜产品上残留的水进行加热烘干处理，使得产品更加干净，也增强了产品表面活性，增加镀膜质量，在真空条件下能够有效的防止产品的氧化，通过设置加热室将加热电阻进行密封可以保证镀膜不会镀膜在加热电阻上，保证了加热电阻能够进行可靠的工作，通过玻璃观察窗可以对真空室内的镀膜产品进行观察。

2、该带辅助加热功能的磁材真空镀膜机，通过设置第一密封门和第二密封门可以在第一密封门上的产品进行镀膜时，将其他的未镀膜的产品放置在第二密封门上，从而提高了镀膜的工作效率，通过第一齿轮和第二齿轮的配合使得工件在镀膜时能够进行旋转，使得产品表面镀膜更加的均匀。

附图说明

图1为本实用新型结构正视图；

图2为本实用新型结构A处放大图。

图中：1、底座；2、支撑架；3、第二密封门；4、加热室；5、加热电阻； 6、枪头；7、电子发生器；8、真空表；9、铰接装置；10、伺服电机；11、工件架；12、密封圈；13、玻璃观察窗；14、第一密封门；15、转动轴；16、第二齿轮；17、卡接座；18、插接杆；19、第二轴承；20、真空泵；21、真空连接管；22、插接槽；23、第一皮带轮；24、皮带；25、第二皮带轮；26、传动轴；27、橡胶堵；28、第一齿轮；29、真空室；30、第一轴承。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，一种带辅助加热功能的磁材真空镀膜机，包括底座1，底座1顶部固定安装有支撑架2，支撑架2的顶部固定安装有真空室29，真空室29的顶部固定安装有电子发生器7，电子发生器7的底部固定连接有枪头 6，枪头6的底部贯穿真空室29并延伸至真空室29的内部，真空室29的顶部固定安装有真空表8，真空室29内腔的侧面固定安装有加热室4，加热室4 的数量为两个，两个加热室4以真空室29的中线为对称轴对称分布，加热室 4的内部固定安装有加热电阻5，通过加热电阻5可以在真空条件下对镀膜产品上残留的水进行加热烘干处理，使得产品更加干净，也增强了产品表面活性，增加镀膜质量，在真空条件下能够有效的防止产品的氧化，通过设置加热室4将加热电阻5进行密封可以保证镀膜不会镀膜在加热电阻5上，保证了加热电阻5能够进行可靠的工作，底座1的顶部固定安装有真空泵20，真空泵20的输出端固定连通有真空连接管21，真空连接管21的另一端与真空室29的底部相连通，真空室29的右侧面固定安装有伺服电机10，伺服电机 10的输出端固定安装有第一皮带轮23，真空室29内腔的底部固定安装有第一轴承30，第一轴承30的内部固定套装有传动轴26，传动轴26顶部的外表面固定套装有第一齿轮28，真空室29的底部固定粘接有橡胶堵27，橡胶堵可以保证传动轴26与真空室29的连接处不会存在漏气的情况，保证真空室29的密闭性，传动轴26的底部贯穿橡胶堵27并延伸至真空室29的底部且固定套装有第二皮带轮25，第二皮带轮25通过皮带24与第一皮带轮23传动连接，真空室29的左侧面固定安装有铰接装置9，铰接装置9的侧面固定连接有第一密封门14，第一密封门14的正面固定安装有玻璃观察窗13，通过玻璃观察窗13可以对真空室29内的镀膜产品进行观察，第一密封门14的正面固定粘接有密封圈12，第一密封门14内腔的底部固定安装有第二轴承19，第二轴承19的内圈固定套装有转动轴15，转动轴15的外表面固定安装有工件架11，工件架11的数量为六个，六个工件架11的平面之间的角度差为60 °，转动轴15的外表面固定第二齿轮16，通过第一齿轮28和第二齿轮16的配合使得工件在镀膜时能够进行旋转，使得产品表面镀膜更加的均匀，第一密封门14的侧面固定连接有卡接座17，卡接座17的内部活动安装有插接杆 18，真空室29的侧面固定安装有与插接杆18相适配的插接槽22，真空室29 的左侧面通过铰接装置9活动安装有第二密封门3，第二密封门3与第一密封门14上安装的部件均相同，通过设置第一密封门14和第二密封门3可以在第一密封门14上的产品进行镀膜时，将其他的未镀膜的产品放置在第二密封门3上，从而提高了镀膜的工作效率。

工作原理，将需要镀膜的产品放置在工件架11上，然后将第一密封门14 推向真空室29处，将插接杆18插在插接槽22内对真空室进行密封，此时第一齿轮28与第二齿轮16相啮合，启动真空泵20将真空室29内抽成真空，同时观察真空表8的数值，当达到一定的值时关掉真空泵20，启动加热电阻 5对真空室29内进行加热，进而将镀膜产品外表面残留的水气烘干，同时启动伺服电机10，伺服电机10带动第一皮带轮23进行转动，第一皮带轮23通过皮带24带动第二皮带轮25进行转动，第二皮带轮25通过传动轴26带动第一齿轮28转动，第一齿轮28通过与第二齿轮16的啮合使得第二齿轮16 转动进而使得转动轴15转动从而使得工件架11上的产品转动使得受热更加的均匀，一段时间后加热电阻5停止工作，电子发生器7开始工作进行镀膜，当第一密封门14合上时即可将其他的产品放在第二密封门3的工件架11上等待镀膜，当第一密封门14上的产品镀膜完成以后直接将第二密封门3合上即可，重复以上步骤即可。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种带辅助加热功能的磁材真空镀膜机，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)顶部固定安装有支撑架(2)，所述支撑架(2)的顶部固定安装有真空室(29)，所述真空室(29)的顶部固定安装有电子发生器(7)，所述电子发生器(7)的底部固定连接有枪头(6)，所述枪头(6)的底部贯穿真空室(29)并延伸至真空室(29)的内部，所述真空室(29)的顶部固定安装有真空表(8)，所述真空室(29)内腔的侧面固定安装有加热室(4)，所述加热室(4)的内部固定安装有加热电阻(5)，所述底座(1)的顶部固定安装有真空泵(20)，所述真空泵(20)的输出端固定连通有真空连接管(21)，所述真空连接管(21)的另一端与真空室(29)的底部相连通，所述真空室(29)的右侧面固定安装有伺服电机(10)，所述伺服电机(10)的输出端固定安装有第一皮带轮(23)，所述真空室(29)内腔的底部固定安装有第一轴承(30)，所述第一轴承(30)的内部固定套装有传动轴(26)，所述传动轴(26)顶部的外表面固定套装有第一齿轮(28)，所述真空室(29)的底部固定粘接有橡胶堵(27)，所述传动轴(26)的底部贯穿橡胶堵(27)并延伸至真空室(29)的底部且固定套装有第二皮带轮(25)，所述第二皮带轮(25)通过皮带(24)与第一皮带轮(23)传动连接，所述真空室(29)的左侧面固定安装有铰接装置(9)，所述铰接装置(9)的侧面固定连接有第一密封门(14)，所述第一密封门(14)的正面固定安装有玻璃观察窗(13)，所述第一密封门(14)的正面固定粘接有密封圈(12)，所述第一密封门(14)内腔的底部固定安装有第二轴承(19)，所述第二轴承(19)的内圈固定套装有转动轴(15)，所述转动轴(15)的外表面固定安装有工件架(11)，所述转动轴(15)的外表面固定第二齿轮(16)，所述第一密封门(14)的侧面固定连接有卡接座(17)，所述卡接座(17)的内部活动安装有插接杆(18)。

2.根据权利要求1所述的一种带辅助加热功能的磁材真空镀膜机，其特征在于：所述真空室(29)的左侧面通过铰接装置(9)活动安装有第二密封门(3)，所述第二密封门(3)与第一密封门(14)上安装的部件均相同。

3.根据权利要求1所述的一种带辅助加热功能的磁材真空镀膜机，其特征在于：所述真空室(29)的侧面固定安装有与插接杆(18)相适配的插接槽(22)。

4.根据权利要求1所述的一种带辅助加热功能的磁材真空镀膜机，其特征在于：所述加热室(4)的数量为两个，两个所述加热室(4)以真空室(29)的中线为对称轴对称分布。

5.根据权利要求1所述的一种带辅助加热功能的磁材真空镀膜机，其特征在于：所述工件架(11)的数量为六个，六个所述工件架(11)的平面之间的角度差为60°。

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