CN209910334U - 一种硅片清洗机快速烘干冷却装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及烘干领域。一种硅片快速烘干冷却装置，清洗花篮通过第一传送带（1）进入该快速烘干冷却装置（8），清洗花篮经过烘干冷却装置（8）后进入下料台（9），该快速烘干冷却装置为一个长方体中空通道，其底部有两条衔接的第二传送带（6）和第三传送带构成（10）构成，该快速烘干冷却装置顶部、前部、后部为密封钢板，该快速烘干冷却装置出口侧敞口。本实用新型能够对清洗后的硅片快速烘干和冷却。
Description
技术领域
本实用新型涉及烘干领域。
背景技术
硅片生产过程中，多线切割机切割后的硅片表面会残留切割液、金属杂质、有机物等。经过线切割后的硅片要经过硅片清洗工序，硅片清洗主要采用超声+清洗剂+去离子水方式进行。清洗后的硅片表面残留大量去离子水，如果不在第一时间烘干硅片表面会吸附较多灰尘从而形成水渍。目前业内的采用的清洗后的芯片主要采用敞开式加热通道以吹强热风的形式加热烘干。这种方式烘干效果差，烘干后的硅片温度高，下料人员需等待硅片将至常温下在取片，延误生产时间且容易烫伤清洗机下料人员。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是：如何提供一种硅片清洗机快速烘干冷却装置。
本实用新型所采用的技术方案是：一种硅片清洗机快速烘干冷却装置，清洗花篮通过第一传送带（1）进入该快速烘干冷却装置（8），清洗花篮经过快速烘干冷却装置（8）后进入下料台（9），该快速烘干冷却装置为一个长方体中空通道，其底部有两条衔接的第二传送带（6）和第三传送带（10）构成，该快速烘干冷却装置顶部、前部、后部为密封钢板，该快速烘干冷却装置出口侧敞口，该快速烘干冷却装置进口侧安装有自动门和激光感应装置（3），第二传送带（6）和第三传送带（10）构成为链带传动，第二传送带（6）的链带中央安装有加热装置（7），第三传送带（10）的链带中央安装有冷风机（11）。
作为一种优选方式：第二传送带（6）的链带有两个链轮（12），第三传送带（10）的链带有四个链轮（12）。
作为一种优选方式：第三传送带（10）的四个链轮（12）构成一个矩形，冷风机（11）的出风口对准该快速烘干冷却装置（8）的进口方向的链带。
作为一种优选方式：自动门由电动机（13）、一端与转轴固定焊接的挡板（2）、与电动机（13）输出值固定连接的转轴（4）组成。
本实用新型的有益效果是：本实用新型能够对清洗后的硅片快速烘干和冷却。
附图说明
图1是本实用新型整体结构示意图；
图2是本实用新型的长方体中空通道框架结构示意图；
其中，1、第一传送带，2、挡板，3、激光感应装置，4、转轴，5、衔接轮，6、第二传送带，7、加热装置，8、快速烘干冷却装置，9、下料台，10、第三传送带，11、冷风机，12、链轮，13、电动机。
具体实施方式
如图1-图2所示，清洗花篮通过第一传送带1、衔接轮5（围绕中心转动的带轮或固定转轴）后被激光感应装置3感应到，电动机13转动，带动转轴4和挡板2转动，打开挡板2，清洗花篮进入快速烘干冷却装置8底部的第二传送带6后，电动机13转动，带动转轴4和挡板2转动，关闭挡板2，避免热量的散失，第二传送带6的链带被加热装置7（可以是电炉丝加热器）加热，进而使清洗花篮中的硅片干燥，当清洗花篮通过衔接轮5进入第三传送带10后，一方面通过前方传来的热气和硅片本身的温度使硅片继续干燥，另一方面冷风机使第三传送带10的链带冷却，进而使硅片冷却，清洗花篮通过衔接轮5运行到下料台9时，不仅硅片已经干燥，并且已经冷却，可以直接取片。
Claims (4)
1.一种硅片清洗机快速烘干冷却装置，清洗花篮通过第一传送带（1）进入该快速烘干冷却装置（8），清洗花篮经过快速烘干冷却装置（8）后进入下料台（9），其特征在于：该快速烘干冷却装置为一个长方体中空通道，其底部有两条衔接的第二传送带（6）和第三传送带（10）构成，该快速烘干冷却装置顶部、前部、后部为密封钢板，该快速烘干冷却装置出口侧敞口，该快速烘干冷却装置进口侧安装有自动门和激光感应装置（3），第二传送带（6）和第三传送带（10）构成为链带传动，第二传送带（6）的链带中央安装有加热装置（7），第三传送带（10）的链带中央安装有冷风机（11）。
2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机快速烘干冷却装置，其特征在于：第二传送带（6）的链带有两个链轮（12），第三传送带（10）的链带有四个链轮（12）。
3.根据权利要求2所述的一种硅片清洗机快速烘干冷却装置，其特征在于：第三传送带（10）的四个链轮（12）构成一个矩形，冷风机（11）的出风口对准该快速烘干冷却装置（8）的进口方向的链带。
4.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机快速烘干冷却装置，其特征在于：自动门由电动机（13）、一端与转轴固定焊接的挡板（2）、与电动机（13）输出值固定连接的转轴（4）组成。
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| CN201920416990.5U CN209910334U (zh) | 2019-03-29 | 2019-03-29 | 一种硅片清洗机快速烘干冷却装置 |
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| CN201920416990.5U CN209910334U (zh) | 2019-03-29 | 2019-03-29 | 一种硅片清洗机快速烘干冷却装置 |
Publications (1)
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| CN209910334U true CN209910334U (zh) | 2020-01-07 |
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ID=69034629
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| CN201920416990.5U Active CN209910334U (zh) | 2019-03-29 | 2019-03-29 | 一种硅片清洗机快速烘干冷却装置 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN209910334U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113203239A (zh) * | 2021-04-09 | 2021-08-03 | 涌明科技(上海)有限公司 | 一种具有多角度调节功能的晶元烘烤用冷却装置 |
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2019
- 2019-03-29 CN CN201920416990.5U patent/CN209910334U/zh active Active
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|---|---|---|---|---|
| CN113203239A (zh) * | 2021-04-09 | 2021-08-03 | 涌明科技(上海)有限公司 | 一种具有多角度调节功能的晶元烘烤用冷却装置 |
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