CN209877868U - 一种平面度检测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种平面度检测装置,包括检测箱,所述检测箱的内部设置有安装板,所述检测箱的内壁底部固定安装有若干个均匀分布的第一电动推杆,所述第一电动推杆的输出端与安装板的底部固定连接,所述安装板上端面上设置有夹持部件,所述安装板的上方设置有检测机构,本实用新型为一种平面度检测装置,通过设置导向孔、压力传感器和检测探头等,达到了方便检测物体平面度,装置成本低,实用范围广等效果,解决了目前的高精度平面度检测装置,大都采用激光检测的方式,进行平面度检测,器材昂贵,成本高的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及平面度检测技术领域,具体为一种平面度检测装置。
背景技术
平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差,公差带是距离为公差值t的两平行平面之间的区域,平面度属于形位误差中的形状误差。
目前的高精度平面度检测装置,大都采用激光检测的方式,进行平面度检测,器材昂贵,成本高。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种平面度检测装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种平面度检测装置,包括检测箱,所述检测箱的内部设置有安装板,所述检测箱的内壁底部固定安装有若干个均匀分布的第一电动推杆,所述第一电动推杆的输出端与安装板的底部固定连接,所述安装板上端面上设置有夹持部件,所述安装板的上方设置有检测机构。
优选的,所述夹持部件包括电机、丝杆和固定板,所述电机前后对称分布在安装板的上端面上,所述电机的输出端固定安装有丝杆,所述丝杆的另一端转动安装在固定板的左侧端面上,所述固定板固定安装在安装板的上端面右端,所述丝杆上设置有左右对称分布的夹板。
优选的,所述夹板的下端面上固定安装有导向块,所述安装板的上端面上对应导向块位置处开设有导向槽,所述导向块插接在导向槽的内部,所述夹板的相对面上固定安装有橡胶垫。
优选的,所述检测机构包括第二电动推杆,所述第二电动推杆固定安装在检测箱的左侧端面上,所述第二电动推杆的输出端固定安装有移动座,所述移动座的下端面上固定安装有检测部件。
优选的,所述移动座上开设有前后对称分布的导向孔,所述检测箱内部的左右两端侧壁之间固定安装有前后对称分布的导向杆,所述导向杆插接在导向孔的内部。
优选的,所述检测部件包括固定座,所述固定座固定安装在移动座的下端面上,所述固定座的下端面上开设有若干个均匀分布的安装槽,所述安装槽的内壁顶部固定安装有压力感应器,所述安装槽的内部设置有检测探头,所述检测探头与压力感应器之间通过弹簧固定连接。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:一种平面度检测装置,通过第一电动推杆带动安装板上升,通过夹持部件对待检测物体进行固定,通过检测机构对待检测物体的平面度进行检测,通过电机带动丝杆转动,左右分布的夹板内部螺纹方向相反,夹板在丝杆带动下相向或背离运动,对待检测物体进行夹紧,橡胶垫提高对物体的夹紧程度,避免滑脱,夹板运动时,导向块在导向槽内部运动,起到导向作用,第二电动推杆带动移动座横向移动,通过导向杆和导向孔进行导向,安装板上升,检测探头与待检测物体接触,通过移动座的移动,检测探头上下移动,压力传感器对压力进行记录,传递至计算机中,通过计算机分析压力变化,得到各个点的高度变化,从而模拟出待检测物体的表面模型,计算出平面度。本实用新型为一种平面度检测装置,通过设置导向孔、压力传感器和检测探头等,达到了方便检测物体平面度,装置成本低,实用范围广等效果,解决了目前的高精度平面度检测装置,大都采用激光检测的方式,进行平面度检测,器材昂贵,成本高的问题。
附图说明
图1为一种平面度检测装置的结构示意图;
图2为一种平面度检测装置中安装板处的俯视结构示意图;
图3为一种平面度检测装置中检测机构处的结构示意图。
图中:1-检测箱,2-安装板,3-第一电动推杆,4-夹板,5-导向块,6-导向槽,7-电机,8-固定板,9-丝杆,10-检测机构,11-第二电动推杆,12-导向杆,13-橡胶垫,14-移动座,15-导向孔,16-固定座,17-安装槽,18-压力感应器,19-检测探头,20-弹簧。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1~3,本实用新型提供一种技术方案:一种平面度检测装置,包括检测箱1,所述检测箱1的内部设置有安装板2,所述检测箱1的内壁底部固定安装有若干个均匀分布的第一电动推杆3,所述第一电动推杆3的输出端与安装板2的底部固定连接,所述安装板2上端面上设置有夹持部件,所述安装板2的上方设置有检测机构 10。
通过第一电动推杆3带动安装板2上升,通过夹持部件对待检测物体进行固定,通过检测机构10对待检测物体的平面度进行检测。
所述夹持部件包括电机7、丝杆9和固定板8,所述电机7前后对称分布在安装板2的上端面上,所述电机7的输出端固定安装有丝杆9,所述丝杆9的另一端转动安装在固定板8的左侧端面上,所述固定板8固定安装在安装板2的上端面右端,所述丝杆9上设置有左右对称分布的夹板4。
所述夹板4的下端面上固定安装有导向块5,所述安装板2的上端面上对应导向块5位置处开设有导向槽6,所述导向块5插接在导向槽6的内部,所述夹板4的相对面上固定安装有橡胶垫13。
通过电机7带动丝杆9转动,左右分布的夹板4内部螺纹方向相反,夹板4在丝杆9带动下相向或背离运动,对待检测物体进行夹紧,橡胶垫13提高对物体的夹紧程度,避免滑脱,夹板4运动时,导向块5在导向槽6内部运动,起到导向作用。
所述检测机构10包括第二电动推杆11,所述第二电动推杆11 固定安装在检测箱1的左侧端面上,所述第二电动推杆11的输出端固定安装有移动座14,所述移动座14的下端面上固定安装有检测部件。
所述移动座14上开设有前后对称分布的导向孔15,所述检测箱1内部的左右两端侧壁之间固定安装有前后对称分布的导向杆12,所述导向杆12插接在导向孔15的内部。
第二电动推杆11带动移动座14横向移动,通过导向杆12和导向孔15进行导向。
所述检测部件包括固定座16,所述固定座16固定安装在移动座 14的下端面上,所述固定座16的下端面上开设有若干个均匀分布的安装槽17,所述安装槽17的内壁顶部固定安装有压力感应器18,所述安装槽17的内部设置有检测探头19,所述检测探头19与压力感应器18之间通过弹簧20固定连接。
安装板2上升,检测探头19与待检测物体接触,通过移动座14 的移动,检测探头19上下移动,压力传感器18对压力进行记录,传递至计算机中,通过计算机分析压力变化,得到各个点的高度变化,从而模拟出待检测物体的表面模型,计算出平面度。
对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (6)
1.一种平面度检测装置,包括检测箱(1),其特征在于:所述检测箱(1)的内部设置有安装板(2),所述检测箱(1)的内壁底部固定安装有若干个均匀分布的第一电动推杆(3),所述第一电动推杆(3)的输出端与安装板(2)的底部固定连接,所述安装板(2)上端面上设置有夹持部件,所述安装板(2)的上方设置有检测机构(10)。
2.根据权利要求1所述的一种平面度检测装置,其特征在于:所述夹持部件包括电机(7)、丝杆(9)和固定板(8),所述电机(7)前后对称分布在安装板(2)的上端面上,所述电机(7)的输出端固定安装有丝杆(9),所述丝杆(9)的另一端转动安装在固定板(8)的左侧端面上,所述固定板(8)固定安装在安装板(2)的上端面右端,所述丝杆(9)上设置有左右对称分布的夹板(4)。
3.根据权利要求2所述的一种平面度检测装置,其特征在于:所述夹板(4)的下端面上固定安装有导向块(5),所述安装板(2)的上端面上对应导向块(5)位置处开设有导向槽(6),所述导向块(5)插接在导向槽(6)的内部,所述夹板(4)的相对面上固定安装有橡胶垫(13)。
4.根据权利要求3所述的一种平面度检测装置,其特征在于:所述检测机构(10)包括第二电动推杆(11),所述第二电动推杆(11)固定安装在检测箱(1)的左侧端面上,所述第二电动推杆(11)的输出端固定安装有移动座(14),所述移动座(14)的下端面上固定安装有检测部件。
5.根据权利要求4所述的一种平面度检测装置,其特征在于:所述移动座(14)上开设有前后对称分布的导向孔(15),所述检测箱(1)内部的左右两端侧壁之间固定安装有前后对称分布的导向杆(12),所述导向杆(12)插接在导向孔(15)的内部。
6.根据权利要求5所述的一种平面度检测装置,其特征在于:所述检测部件包括固定座(16),所述固定座(16)固定安装在移动座(14)的下端面上,所述固定座(16)的下端面上开设有若干个均匀分布的安装槽(17),所述安装槽(17)的内壁顶部固定安装有压力感应器(18),所述安装槽(17)的内部设置有检测探头(19),所述检测探头(19)与压力感应器(18)之间通过弹簧(20)固定连接。
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