CN209868482U - 一种玻璃真空镀膜设备翻板阀调试装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种玻璃真空镀膜设备翻板阀调试装置，包括由两根纵杆与一根横杆相连构成的H形基座，H形基座的两根纵杆分别设有固定孔，所述固定孔与翻板阀气缸的安装孔一一对应；所述横杆中心设有调节螺孔；调试装置还包含竖直的调节杆，调节杆底端与所述调节螺孔形成螺纹配合，使调节杆能够在调节螺孔内升降；调节杆顶端设有装配孔，装配孔能够与翻板阀的驱动连杆装配连接；事先采用本调试装置将翻板阀驱动连杆的位置调试好并固定下来，所以在安装气缸之后能够保证活塞杆伸出长度，从而确保阀板抬起高度，使翻板阀具有良好的机械动作，保证阀板的密封性能。

Description

一种玻璃真空镀膜设备翻板阀调试装置

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射镀膜玻璃生产设备技术领域，具体是一种玻璃真空镀膜设备翻板阀调试装置。

背景技术

在低辐射磁控溅射镀膜玻璃生产过程中，真空镀膜设备生产线由多个独立的腔体组成，在非工艺室的腔体中，为满足设备抽真空、生产节拍、分段处理问题等，在前后段设备腔体中设有狭缝阀室，阀室的密封是由翻板阀来完成的，所以翻板阀的安装质量直接影响设备的正常运转。

翻板阀将拼接起来的设备腔体分割成若干真空度不同的区域，各个真空腔体中可以实现不同的真空度，当玻璃基片从一个真空腔体传递到另一个真空腔体时，必须根据相邻真空腔体内的实际气压状态来开启或关闭翻板阀。翻板阀只在一个方向上有密封功能，内侧气压低于外侧气压时,翻板阀能发挥良好的密封效果。

翻板阀的驱动连杆是与气缸的活塞杆相连，活塞杆带动驱动连杆动作，使翻板阀开启或关闭，驱动连杆的初始位置依靠翻板阀胀紧套来固定，而在实际的使用过程中，由于气缸漏气、各个翻板阀相位角不一致等问题，导致气缸活塞杆伸出长度不一，常常造成翻板阀的阀板抬起高度不够等问题，从而影响阀板的密封性能。如果要确保阀板的安装质量，必须要对每个阀板的驱动连杆位置进行调整，调节难度较大。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种玻璃真空镀膜设备翻板阀调试装置，该装置能够规范翻板阀的装配，提高阀板安装质量，保证气缸活塞杆伸出长度，确保阀板抬起高度和，使阀板具有良好的密封性能。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种玻璃真空镀膜设备翻板阀调试装置，包括由两根纵杆与一根横杆相连构成的H形基座，H形基座的两根纵杆分别设有固定孔，所述固定孔与翻板阀气缸的安装孔一一对应；所述横杆中心设有调节螺孔；

所述调试装置还包含竖直的调节杆，调节杆底端与所述调节螺孔形成螺纹配合，使调节杆能够在调节螺孔内升降；调节杆顶端设有装配孔，装配孔能够与翻板阀的驱动连杆装配连接。

本实用新型的有益效果是，安装翻板阀气缸之前，先将本调试装置安装于翻板阀气缸的位置，根据驱动连杆的位置向上或向下旋转调节杆，令调节杆上升或下降，使调节杆通过装配孔与翻板阀驱动连杆装配连接，再用翻板阀胀紧套将翻板阀驱动连杆的位置锁紧固定，之后将本调节装置拆下，安装翻板阀气缸即可；由于事先采用本调试装置将翻板阀驱动连杆的位置调试好并固定下来，所以在安装气缸之后能够保证活塞杆伸出长度，从而确保阀板抬起高度，使翻板阀具有良好的机械动作，保证阀板的密封性能。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明：

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的使用示意图；

图3是图2的侧视图；

图4是本实用新型调试完成后安装气缸的示意图。

具体实施方式

如图1所示，本实用新型提供一种玻璃真空镀膜设备翻板阀调试装置，包括由两根纵杆1与一根横杆2相连构成的H形基座，H形基座的两根纵杆1分别设有固定孔3，固定孔3包含四个、呈四角分布；所述横杆2中心设有调节螺孔4；

所述调试装置还包含竖直的调节杆5，调节杆5底端与所述调节螺孔4形成螺纹配合，使调节杆5能够在调节螺孔4内升降；调节杆5顶端设有装配孔6。装配孔能够与翻板阀的驱动连杆装配连接。

结合图2与图3所示，安装翻板阀气缸之前，先将本调试装置安装于翻板阀气缸的位置，即固定孔3与翻板阀气缸的安装孔7一一对应，再通过螺栓固定；

根据驱动连杆8的位置向上或向下旋转调节杆5，令调节杆5上升或下降，使调节杆5通过装配孔6与翻板阀驱动连杆8装配连接，再用翻板阀胀紧套9将翻板阀驱动连杆8的位置锁紧固定。结合图4所示，之后将本调节装置拆下，安装翻板阀气缸10，翻板阀气缸10的活塞杆11与翻板阀驱动连杆8相连；由于事先采用本调试装置将翻板阀驱动连杆8的位置调试好并固定下来，所以在安装气缸之后能够保证活塞杆11的伸出长度，从而确保阀板抬起高度，使翻板阀具有良好的机械动作，保证的密封性能。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同替换、等效变化及修饰，均仍属于本实用新型技术方案保护的范围内。

Claims (1)

1.一种玻璃真空镀膜设备翻板阀调试装置，其特征在于，包括由两根纵杆与一根横杆相连构成的H形基座，H形基座的两根纵杆分别设有固定孔，所述固定孔与翻板阀气缸的安装孔一一对应；所述横杆中心设有调节螺孔；

所述调试装置还包含竖直的调节杆，调节杆底端与所述调节螺孔形成螺纹配合，使调节杆能够在调节螺孔内升降；调节杆顶端设有装配孔，装配孔能够与翻板阀的驱动连杆装配连接。