CN209856445U - 多功能复合式真空阀门及使用该真空阀门的真空设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及多功能复合式真空阀门及使用该真空阀门的真空设备，真空阀门包括中空主体，主体的一端连接有密封法兰，主体上设有低真空抽气口、高真空抽气口、真空传动器连接口和充气口，低真空抽气口处设有第一开关，充气口处设有第二开关，高真空抽气口处设有能够启闭高真空抽气口的高真空密封结构。使用时该阀门通过密封法兰与真空管密封连接，真空管上设有低真空抽气口、高真空抽气口、真空传动器连接口和充气口，可以实现低真空环境以及高真空环境，同时还可以通过连接的真空传动器实现在真空环境中对真空管中的工件产品进行操作，功能强大且通用性强，同时大大降低了现有技术中使用管道等组合使用的占地面积，且成本是现有组合成本的1/15‑1/10。

Description

多功能复合式真空阀门及使用该真空阀门的真空设备

技术领域

本实用新型涉及真空设备领域,具体涉及多功能复合式真空阀门及使用该真空阀门的真空设备。

背景技术

在一些特殊的产品在制作过程中或者实验过程中需要在真空环境下进行，例如在真空环境下保存、真空环境下传动、真空环境下热处理、真空环境下烧结、真空环境下冷却等等。这些过程一般都是在真空石英管等真空管中进行的，当真空管中需要抽真空时，将抽真空阀门与真空管密封连接进行抽真空操作，当需要其他操作时同样需要将其他阀门与真空管密封连接，只能实现单一的功能，无法实现一些需要两个功能以上的操作。如果要实现两种以上功能的操作，需要将两个以上的不同阀门通过真空管道进行连接组合，占地面积大且成本较高。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种多功能复合式真空阀门，以解决现有技术中阀门功能单一、组合使用占地面积大、成本高的问题；同时本实用新型的目的还在于提供使用上述真空阀门的真空设备。

为实现上述目的，本实用新型的多功能复合式真空阀门采用如下技术方案：多功能复合式真空阀门，包括中空主体，主体的一端连接有用于与真空管密封安装的密封法兰，主体上设置有和主体的空腔连通的低真空抽气口、高真空抽气口、真空传动器连接口和充气口，低真空抽气口处设置有第一开关，充气口处设置有第二开关，高真空抽气口处设置有能够启闭高真空抽气口的高真空密封结构。

所述主体为T形结构，主体包括第一筒体和第二筒体，第二筒体的一端连接于第一筒体上，密封法兰设置于第二筒体的另一端上，第一筒体的一端形成所述高真空抽气口，第一筒体的另一端设有密封堵头，高真空密封结构包括沿第一筒体的轴线方向导向移动且密封安装于密封堵头上的传动轴，传动轴朝向高真空抽气口的端部连接有密封板，传动轴的另一端伸出第一筒体并传动连接有驱动缸。

所述密封板通过连接轴连接于传动轴上，连接轴与传动轴之间设置有轴—孔螺纹连接结构。

所述主体上还设置有冷却装置，冷却装置包括设置于主体上的冷却水进水口和冷却水出水口以及连接冷却水进水口与冷却水出水口的向外伸出密封法兰的冷却水管，冷却水管上设置有使用时位于真空管中的冷却盘，冷却盘具有与冷却水管连通的环形水道，冷却盘具有供真空传动器的传动轴穿过的冷却盘穿孔。

所述冷却水管包括平行设置的进水管和出水管，进水管和出水管之间设置有固定支撑板，固定支撑板上设置有与冷却盘穿孔对应的供供真空传动器的传动轴穿过的通孔。

本实用新型的使用上述真空阀门的真空设备采用如下技术方案：真空设备，包括真空阀门和与真空阀门连接的真空传动器、高真空抽气泵、低真空抽气泵以及充气设备，所述真空阀门包括中空主体，主体的一端连接有用于与真空管密封安装的密封法兰，主体上设置有和主体的空腔连通的低真空抽气口、高真空抽气口、真空传动器连接口和充气口，低真空抽气口处设置有第一开关，充气口处设置有第二开关，高真空抽气口处设置有能够启闭高真空抽气口的高真空密封结构。

所述主体为T形结构，主体包括第一筒体和第二筒体，第二筒体的一端连接于第一筒体上，密封法兰设置于第二筒体的另一端上，第一筒体的一端形成所述高真空抽气口，第一筒体的另一端设有密封堵头，高真空密封结构包括沿第一筒体的轴线方向导向移动且密封安装于密封堵头上的传动轴，传动轴朝向高真空抽气口的端部连接有密封板，传动轴的另一端伸出第一筒体并传动连接有驱动缸。

所述密封板通过连接轴连接于传动轴上，连接轴与传动轴之间设置有轴—孔螺纹连接结构。

所述主体上还设置有冷却装置，冷却装置包括设置于主体上的冷却水进水口和冷却水出水口以及连接冷却水进水口与冷却水出水口的向外伸出密封法兰的冷却水管，冷却水管上设置有使用时位于真空管中的冷却盘，冷却盘具有与冷却水管连通的环形水道，冷却盘具有供真空传动器的传动轴穿过的冷却盘穿孔。

所述冷却水管包括平行设置的进水管和出水管，进水管和出水管之间设置有固定支撑板，固定支撑板上设置有与冷却盘穿孔对应的供供真空传动器的传动轴穿过的通孔。

本实用新型的有益效果：使用时该阀门通过密封法兰与真空管密封连接，真空管上设置有低真空抽气口、高真空抽气口、真空传动器连接口和充气口，可以实现低真空环境以及高真空环境，同时还可以通过连接的真空传动器实现在真空环境中对真空管中的工件产品进行操作，功能强大且通用性强，同时大大降低了现有技术中使用管道等组合使用的占地面积，而且成本约是现有组合成本的1/15-1/10。

附图说明

图1是本实用新型的多功能复合式真空阀门的一个实施例的结构示意图一；

图2是本实用新型的多功能复合式真空阀门的一个实施例的结构示意图一；

图3是本实用新型的多功能复合式真空阀门的一个实施例的结构示意图三；

图4是图3在A-A处的剖视图；

图5是图3的右视图；

图6是图5在B-B处的剖视图；

图7是真空传动器的结构示意图。

具体实施方式

本实用新型的真空设备的实施例，如图1-图7所示，真空阀门，真空阀门包括中空主体1，主体1的一端连接有用于与真空管密封安装的密封法兰2。主体1上设置有和主体1的空腔连通的低真空抽气口4、高真空抽气口18、真空传动器连接口8和充气口5。低真空抽气口4处设置有第一开关6，充气口5处设置有第二开关7，高真空抽气口18处设置有能够启闭高真空抽气口的高真空密封结构。使用时低真空抽气口连接低真空抽气泵，高真空抽气口连接高真空抽气泵，真空传动器连接口连接真空传动器，充气口连接所需充入气体的充气设备。

主体1为T形结构，包括垂直布置且内部连通的第一筒体和第二筒体17，第二筒体17的一端连接于第一筒体上，密封法兰2设置于第二筒体17的另一端上，第一筒体的一端形成所述高真空抽气口18，第一筒体的另一端设有密封堵头9。高真空密封结构包括沿第一筒体的轴线方向导向移动且密封安装于密封堵头上的传动轴10，传动轴10朝向高真空抽气口18的端部连接有密封板21，传动轴10的另一端伸出第一筒体并传动连接有驱动缸。密封板21通过连接轴20连接于传动轴上，连接轴20与传动轴10之间设置有轴—孔螺纹连接结构。主体上于第一筒体上设置有连接管3，连接管3上设置有低真空抽气口4、第一开关6、充气口5和第二开关7。

主体1上还设置有冷却装置，冷却装置包括设置于主体1上的冷却水进水口15和冷却水出水口16以及连接冷却水进水口与冷却水出水口的向外伸出密封法兰的冷却水管，冷却水进水口15和冷却水出水口16设置于第二筒体17上，冷却水管上设置有使用时位于真空管中的冷却盘11，冷却盘11具有与冷却水管连通的环形水道19，冷却盘11具有供真空传动器的传动轴穿过的冷却盘穿孔24。冷却水管包括平行设置的进水管12和出水管13，进水管和出水管之间设置有固定支撑板22，固定支撑板22上设置有与冷却盘穿孔24对应的供供真空传动器的传动轴穿过的通孔23。当内部工件需要加热时，真空管外部有螺旋形感应加热线圈，对真空管内部的金属感应加热，真空管采用石英管。由真空传动器驱动真空管内部的工件产品移动，以调整冷却盘与工件的距离实现工件按照不同的降温曲线降温，达到工艺要求。

真空传动器，如图7所示，包括连接于真空传动器连接口8的真空波纹管32，真空波纹管32的一端连接有连接法兰25，真空传动器连接口8也为法兰结构，真空波纹管32通过连接法兰25与真空传动器连接口8密封连接。真空波纹管32中穿装有传动杆26，连接法兰25上设置有供传动杆导向移动安装的导向孔，真空波纹管32的另一端与传动杆密封连接且能够随传动杆的导向运动而同时沿其轴向运动。传动杆26具有伸入上述真空阀门的传动部分28和位于真空阀门外部的操动部分27，传动部分28上设置有用于让开连接轴20的C型让位弯曲29，传动部分28穿过冷却盘穿孔24且端部用于与真空管内部的产品连接。连接法兰25通过螺杆31与真空传动器连接口8连接并通过固定螺母固定。螺杆31上安装有限位板30，限位板30具有供螺杆穿装的穿装孔，螺杆上于限位板的两侧设置有螺母进行固定。操动部分27上具有螺纹段33，螺纹段33上螺纹连接有蝶形螺母34，操动部分的端部连接有气动装置，气动装置可以为气缸，在其他实施例中也可以不设置气动装置，而由手动进行操作传动杆导向运动。传动杆为圆杆。

本实用新型的真空设备在使用时，所有部件连接完成后，当需要低真空抽气时，可单独打开低真空抽气开关，从而进行低真空抽气工作；当低真空抽气完成以后，需要高真空抽气时，关闭低真空抽气口，单独打开高真空抽气口，实现高真空抽气工作；在低真空环境下或高真空环境下，可以通过真空传动器操作真空管内部的工件产品。当石英管内部工件产品需要加热时，依靠真空管外部的螺旋形感应加热线圈，对真空管内部的金属感应加热，加热温度达到1000摄氏度以上，后期冷却时如果依靠自然冷却则需要花费较长的时间，此时由真空传动器操作工件产品移动，调整好工件产品与冷却盘之间的距离，冷却装置开始工作，从而对高温产品进行冷却工作。当需要给工件充入所需气体时，关闭高真空抽气口开关和低真空抽气口开关，打开充气口开关，从而实现所需气体的充气工作。以上所有开关动作，独立且相互配合工作，而且互不影响。从而实现各种工艺对产品的不同功能需求。

现有阀门工作单一，仅可实现高真空抽气、低真空抽气、真空充气、真空冷却等工作步骤，无法实现统一工作总成。若要实现统一总成工作，需要各个阀门和真空管道等相互连接，总体体积远大于本实用新型阀门，且成本远高于本实用新型阀门（成本约是本实用新型的10-15倍）。且维修便捷、降低维修成本、质量轻便。极大减小产品体积（约是现有产品的1/10），缩减厂房使用面积。

在本实用新型的其他实施例中，低真空抽气口和充气口也可以直接设置于主体上；根据实际需求主体上也可以不设置冷却装置。

多功能复合式真空阀门的实施例与上述真空设备的各实施例中的真空阀门的结构相同，此处不再赘述。

Claims (10)

1.多功能复合式真空阀门，其特征在于：包括中空主体，主体的一端连接有用于与真空管密封安装的密封法兰，主体上设置有和主体的空腔连通的低真空抽气口、高真空抽气口、真空传动器连接口和充气口，低真空抽气口处设置有第一开关，充气口处设置有第二开关，高真空抽气口处设置有能够启闭高真空抽气口的高真空密封结构。

2.根据权利要求1所述的多功能复合式真空阀门，其特征在于：所述主体为T形结构，主体包括第一筒体和第二筒体，第二筒体的一端连接于第一筒体上，密封法兰设置于第二筒体的另一端上，第一筒体的一端形成所述高真空抽气口，第一筒体的另一端设有密封堵头，高真空密封结构包括沿第一筒体的轴线方向导向移动且密封安装于密封堵头上的传动轴，传动轴朝向高真空抽气口的端部连接有密封板，传动轴的另一端伸出第一筒体并传动连接有驱动缸。

3.根据权利要求2所述的多功能复合式真空阀门，其特征在于：所述密封板通过连接轴连接于传动轴上，连接轴与传动轴之间设置有轴—孔螺纹连接结构。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的多功能复合式真空阀门，其特征在于：所述主体上还设置有冷却装置，冷却装置包括设置于主体上的冷却水进水口和冷却水出水口以及连接冷却水进水口与冷却水出水口的向外伸出密封法兰的冷却水管，冷却水管上设置有使用时位于真空管中的冷却盘，冷却盘具有与冷却水管连通的环形水道，冷却盘具有供真空传动器的传动轴穿过的冷却盘穿孔。

5.根据权利要求4所述的多功能复合式真空阀门，其特征在于：所述冷却水管包括平行设置的进水管和出水管，进水管和出水管之间设置有固定支撑板，固定支撑板上设置有与冷却盘穿孔对应的供供真空传动器的传动轴穿过的通孔。

6.真空设备，其特征在于：包括真空阀门和与真空阀门连接的真空传动器、高真空抽气泵、低真空抽气泵以及充气设备，所述真空阀门包括中空主体，主体的一端连接有用于与真空管密封安装的密封法兰，主体上设置有和主体的空腔连通的低真空抽气口、高真空抽气口、真空传动器连接口和充气口，低真空抽气口处设置有第一开关，充气口处设置有第二开关，高真空抽气口处设置有能够启闭高真空抽气口的高真空密封结构。

7.根据权利要求6所述的真空设备，其特征在于：所述主体为T形结构，主体包括第一筒体和第二筒体，第二筒体的一端连接于第一筒体上，密封法兰设置于第二筒体的另一端上，第一筒体的一端形成所述高真空抽气口，第一筒体的另一端设有密封堵头，高真空密封结构包括沿第一筒体的轴线方向导向移动且密封安装于密封堵头上的传动轴，传动轴朝向高真空抽气口的端部连接有密封板，传动轴的另一端伸出第一筒体并传动连接有驱动缸。

8.根据权利要求7所述的真空设备，其特征在于：所述密封板通过连接轴连接于传动轴上，连接轴与传动轴之间设置有轴—孔螺纹连接结构。

9.根据权利要求6-8中任一项所述的真空设备，其特征在于：所述主体上还设置有冷却装置，冷却装置包括设置于主体上的冷却水进水口和冷却水出水口以及连接冷却水进水口与冷却水出水口的向外伸出密封法兰的冷却水管，冷却水管上设置有使用时位于真空管中的冷却盘，冷却盘具有与冷却水管连通的环形水道，冷却盘具有供真空传动器的传动轴穿过的冷却盘穿孔。

10.根据权利要求9所述的真空设备，其特征在于：所述冷却水管包括平行设置的进水管和出水管，进水管和出水管之间设置有固定支撑板，固定支撑板上设置有与冷却盘穿孔对应的供供真空传动器的传动轴穿过的通孔。