CN209843735U - 沉积槽、化学水浴沉积装置、卷对卷化学水浴沉积系统 - Google Patents
沉积槽、化学水浴沉积装置、卷对卷化学水浴沉积系统 Download PDFInfo
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Abstract
本申请实施例提供沉积槽、化学水浴沉积装置、卷对卷化学水浴沉积系统。其中，该沉积槽包括：U型槽以及用于吸附衬底的吸附件，其中，所述U型槽的一端开有进料口，所述U型槽的另一端开有出料口；所述U型槽的槽底设有所述吸附件，所述U型槽的两个槽壁用于与衬底的侧边贴合。通过本申请实施例提供的沉积槽、化学水浴沉积装置、卷对卷化学水浴沉积系统，能够在保证对柔性衬底的沉积的基础上，有效降低了沉积槽的结构复杂性，进而大幅度降低了沉积槽的生产成本。与此同时保证了在卷对卷生产过程中，柔性衬底运行的过程中紧紧贴附于沉积区域，保持柔性衬底的平坦性和反应温度的均匀控制。
Description
技术领域
本申请涉及太阳能电池领域，尤其涉及一种沉积槽、化学水浴沉积装置、卷对卷化学水浴沉积系统。
背景技术
目前通过化学水浴方法沉积缓冲层主要是通过卷对卷沉积系统，即通过提升机构和压紧机构是沉积表面形成凹槽，对反应溶液形成遏制，从而完成缓冲层的膜层沉积。在柔性铜铟镓硒电池电池缓冲层的沉积过程中，缓冲层的活性材料希望均匀可控的沉积在具有吸收层的膜面上，并不希望沉积到柔性衬底的另一面。
上述现有技术虽然可以通过化学水浴法将缓冲层沉积到吸收层膜面上，但是需要仪器配备额外的提升机构，使柔性基底两边提升、翘曲，形成凹槽，将反应溶液遏制到膜层表面，不发发生泄漏。另外，还需要压紧机构，在提升柔性基底边缘的同时，保持柔性沉积衬底整个中心部分相对的平坦。
然而，这两种机构设计复杂，极易造成溶液的泄露，影响缓冲层的沉积质量。
实用新型内容
本申请实施例提供一种沉积槽、化学水浴沉积装置、卷对卷化学水浴沉积系统，以解决现有技术中存在的技术问题。
本申请实施例提供一种沉积槽，其中，该沉积槽包括：U型槽以及用于吸附衬底的吸附件，其中，所述U型槽的一端开有进料口，所述U型槽的另一端开有出料口；所述U型槽的槽底设有所述吸附件，所述U型槽的两个槽壁用于与衬底的侧边贴合。
在本申请一实施例中，所述吸附件包括开设于所述U型槽的所述槽底的真空吸附孔。
在本申请一实施例中，所述真空吸附孔的数量为多个且沿所述U型槽的延伸方向呈V字形间隔排布。
在本申请一实施例中，所述吸附件包括固定于所述U型槽的所述槽底的磁性吸附件。
在本申请一实施例中，所述磁性吸附件的数量为多个且沿所述U型槽的延伸方向呈V字形间隔排布。
在本申请一实施例中，所述U型槽的两个所述槽壁与所述U型槽的所述槽底之间的夹角为钝角。
本申请实施例还提供一种化学水浴沉积装置，其中，该化学水浴沉积装置包括：本申请实施例提供的沉积槽。
在本申请一实施例中，该化学水浴沉积装置还包括：供液装置，所述供液装置的出液口与所述沉积槽连通。
在本申请一实施例中，该化学水浴沉积装置还包括：加热装置，所述加热装置用于加热所述沉积槽内的液体。
本申请实施例还提供一种卷对卷化学水浴沉积系统，其中该卷对卷化学水浴沉积系统包括：放卷装置、收卷装置、传送装置以及本申请实施例提供的化学水浴沉积装置，其中所述放卷装置通过所述传送装置将待沉积件送入所述化学水浴沉积装置后通过所述收卷装置收卷。
在本申请一实施例中，该卷对卷化学水浴沉积系统还包括设于所述化学水浴沉积装置与所述收卷装置之间的清洗装置和烘干装置。
通过本申请实施例提供的沉积槽、化学水浴沉积装置、卷对卷化学水浴沉积系统，能够在保证对柔性衬底的沉积的基础上，有效降低了沉积槽的结构复杂性，进而大幅度降低了沉积槽的生产成本。与此同时保证了在卷对卷生产过程中，柔性衬底运行的过程中紧紧贴附于沉积区域，保持柔性衬底的平坦性和反应温度的均匀控制。
附图说明
图1为本申请实施例中沉积槽的结构示意图；
图2为本申请实施例中卷对卷化学水浴沉积系统的示意图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施方式，对本发明进行进一步的详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用以解释本发明，并不限定本发明的保护范围。
图1为本申请实施例中沉积槽的结构示意图，其中，该沉积槽包括：U型槽1以及用于吸附衬底的吸附件2，其中，所述U型槽1的一端开有进料口3，所述U型槽1的另一端开有出料口4；所述U型槽1的槽底设有所述吸附件2，所述U型槽1的两个槽壁用于与衬底的侧边贴合。
在本申请一实施例中，所述吸附件2包括开设于所述U型槽1的所述槽底的真空吸附孔5。
在本申请一实施例中，所述真空吸附孔5的数量为多个且沿所述U型槽1的延伸方向呈V字形间隔排布。
在本申请一实施例中，所述吸附件2包括固定于所述U型槽1的所述槽底的磁性吸附件6。
在本申请一实施例中，所述磁性吸附件6的数量为多个且沿所述U型槽1的延伸方向呈V字形间隔排布。
在本申请一实施例中，所述U型槽1的两个所述槽壁7与所述U型槽1的所述槽底8之间的夹角为钝角。
本申请实施例还提供一种化学水浴沉积装置，其中，该化学水浴沉积装置包括：本申请实施例提供的沉积槽。
在本申请一实施例中，该化学水浴沉积装置还包括：供液装置，所述供液装置的出液口与所述沉积槽连通。
在本申请一实施例中，该化学水浴沉积装置还包括：加热装置，所述加热装置用于加热所述沉积槽内的液体。
通过本申请实施例提供的沉积槽，由于U型槽的槽壁与槽底之间的夹角为钝角可以有效保证沉积液不容易侧漏，并且能够在保证对柔性衬底的沉积的基础上，有效降低了沉积槽的结构复杂性，进而大幅度降低了沉积槽的生产成本。与此同时保证了在卷对卷生产过程中，柔性衬底运行的过程中紧紧贴附于沉积区域，保持柔性衬底的平坦性和反应温度的均匀控制。
实施例
下面结合一个具体实施例对本发明进行具体描述，然而值得注意的是该具体实施例仅是为了更好地描述本发明，并不构成对本发明的不当限定。
首先，将柔性衬底安装于放卷系统9上，以备将衬底输送至沉积区域。其中，所选基底可以分别为不锈钢，聚酰亚胺等材质。
其次，在供液装置10中选择硫酸镉、氯化镉、草酸镉等镉的盐溶液和硫脲作为沉积缓冲层材料的前驱物，选择氨水或者为络合剂。
特别的是，该盐溶液中镉盐的浓度范围为0.1-1％wt、硫脲的浓度范围为1-10％wt，而络合剂中的氨水的浓度范围为1-10％wt。
然后，将沉积槽设置于供液装置10的对应位置处，待衬底以一定的运行速度(速度范围为0.5～5m/Min)经过该沉积槽的时候，通过药液供给系统10将反应溶液喷洒到沉积基底上。
另外，还需要对衬底进行吸附操作，其中吸附方式可以为真空吸附，也可以磁力吸附，通过这种方式可以使沉积区域平坦，保证沉积缓冲厚度的均匀性。
请结合图2所示，在本申请一实施例采用真空吸附的方式，其中圆圈代表真空吸附孔5。
另外，在沉积区域中有加热系统11，可以控制沉积溶液的温度。在本申请一实施例中还需要开启沉积区域的加热系统，将沉积区域加热到沉积目标温度。特别的是，该沉积目标温度为50-90℃。
最后，衬底经过沉积区域之后还需要分别经过清洗、烘干、直到通过收卷系统对柔性衬底完成收卷之后，整个薄膜缓冲层沉积完毕。
本申请实施例还提供一种化学水浴沉积装置，其中，该化学水浴沉积装置包括：本申请实施例提供的沉积槽。
在本申请一实施例中，该化学水浴沉积装置还包括：供液装置10，所述供液装置的出液口与所述沉积槽连通。
在本申请一实施例中，该化学水浴沉积装置还包括：加热装置11，所述加热装置用于加热所述沉积槽内的液体。
本申请实施例还提供一种卷对卷化学水浴沉积系统，其中该卷对卷化学水浴沉积系统包括：放卷装置12、收卷装置13、传送装置14以及本申请实施例提供的所述的化学水浴沉积装置(未示出)，其中所述放卷装置12通过所述传送装置13将待沉积件送入所述化学水浴沉积装置后通过所述收卷装置13收卷。
在本申请一实施例中，该卷对卷化学水浴沉积系统还包括设于所述化学水浴沉积装置与所述收卷装置之间的清洗装置15和烘干装置16。
通过本申请提供的沉积槽、化学水浴沉积装置、卷对卷化学水浴沉积系统，能够在保证对柔性衬底的沉积的基础上，有效降低了沉积槽的结构复杂性，进而大幅度降低了沉积槽的生产成本。与此同时保证了在卷对卷生产过程中，柔性衬底运行的过程中紧紧贴附于沉积区域，保持柔性衬底的平坦性和反应温度的均匀控制。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (11)
1.一种沉积槽，其特征在于，包括：U型槽以及用于吸附衬底的吸附件，其中，所述U型槽的一端开有进料口，所述U型槽的另一端开有出料口；所述U型槽的槽底设有所述吸附件，所述U型槽的两个槽壁用于与衬底的侧边贴合。
2.如权利要求1所述的沉积槽，其特征在于，所述吸附件包括开设于所述U型槽的所述槽底的真空吸附孔。
3.如权利要求2所述的沉积槽，其特征在于，所述真空吸附孔的数量为多个且沿所述U型槽的延伸方向呈V字形间隔排布。
4.如权利要求1所述的沉积槽，其特征在于，所述吸附件包括固定于所述U型槽的所述槽底的磁性吸附件。
5.如权利要求4所述的沉积槽，其特征在于，所述磁性吸附件的数量为多个且沿所述U型槽的延伸方向呈V字形间隔排布。
6.如权利要求1-5任一项所述的沉积槽，其特征在于，所述U型槽的两个所述槽壁与所述U型槽的所述槽底之间的夹角为钝角。
7.一种化学水浴沉积装置，其特征在于，包括：权利要求1-6任一项所述的沉积槽。
8.如权利要求7所述的化学水浴沉积装置，其特征在于，还包括：供液装置，所述供液装置的出液口与所述沉积槽连通。
9.如权利要求8所述的化学水浴沉积装置，其特征在于，还包括：加热装置，所述加热装置用于加热所述沉积槽内的液体。
10.一种卷对卷化学水浴沉积系统，其特征在于，包括：放卷装置、收卷装置、传送装置以及权利要求7-9任一项所述的化学水浴沉积装置，其中所述放卷装置通过所述传送装置将待沉积件送入所述化学水浴沉积装置后通过所述收卷装置收卷。
11.如权利要求10所述的卷对卷化学水浴沉积系统，其特征在于，还包括设于所述化学水浴沉积装置与所述收卷装置之间的清洗装置和烘干装置。
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