CN209798082U - 一种自动切换式修正机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及高真空蒸发镀膜设备领域，公开了一种自动切换式修正机构，安装在镀膜设备的真空腔体上，其包括支杆、修正板和旋转马达；支杆一端穿过伸出真空腔体，支杆的另一端可转动的设置在真空腔体上；修正板固定安装在支杆上，修正板包括呈十字型交叉设置的第一修板和第二修板；当第一修板与公转镀锅平行相对，修正板处于第一修正状态；当第二修板与公转镀锅平行相对，修正板处于第二修正状态；伸出端与旋转马达连接；旋转马达每转动一次，则控制支杆绕自身轴线转动90度，从而控制修正板切换到第一修正状态或第二修正状态。通过上述方式，本实用新型能够满足蒸发特性相反的金属、在同一批次蒸发镀膜时、自动切换到对应形状的修板。

Description

一种自动切换式修正机构

技术领域

本实用新型涉及高真空蒸发镀膜设备领域，特别是涉及一种自动切换式修正机构。

背景技术

在高真空蒸发镀膜设备领域，对于镀膜均匀性要求高的工艺，通常采用公转镀锅的方式进行蒸发镀膜。公转方式蒸发镀膜，由于蒸发源通常设置在镀锅中心正下方的腔体底面上，所以在蒸发镀膜时，靠近镀锅中心部位的膜比较厚，靠近镀锅边缘部分的膜比较薄，因此通常在镀锅的下部安装修正板来解决该膜厚均匀性的问题。

现有的修正板是采用固定式柳叶型的修正板。具体为：在镀锅的下部安装一个固定的横杆，修正板直接通过螺丝固定在横杆上。当金属蒸发时，由于修正板的遮挡，镀锅中心部位基片蒸发到的金属相对减少，从而可使镀锅中心部位基片的蒸发膜厚度与镀锅边缘基片蒸发膜厚度近似相等，实现较高的均匀性，提高镀膜产品的品质。

现有的修正板虽然能够起到修正模厚均匀性的作用，但是当同一批次蒸发镀膜需要先后蒸发几种不同的金属时，特别是当金属的蒸发分布特性相反时，由于固定式的修正板无法移动，基片镀膜的高均匀性就无法实现，从而会影响产品的品质和优良率。因为不同的金属进行先后蒸发镀膜时，会出现这样的现象：一种金属的蒸发特性是靠近镀锅中心的部位膜厚比较厚，其所需修正板的形状就是靠近镀锅中心部位的面积较大、靠近镀锅边缘部位的面积较小，这样才可以把镀锅中心部分蒸发膜厚的地方进行遮挡，使蒸发到的金属减少、膜厚变薄，达到与边缘部分近似相等；另一种金属的蒸发特性与前一种金属正好相反，是靠近镀锅边缘的部位膜厚比较厚，那么这种金属所需修正板的形状就是靠近镀锅中心部位的遮挡面积要小、靠近镀锅边缘部位的遮挡面积要大；也就是说两种金属所需的修正板形状截然不同。但由于蒸发镀膜需要一批次镀完这蒸发特性相反的金属(如果在镀完一层膜，把镀膜需要的高真空破坏掉，手动更换修正板后，再次抽真空镀膜的话，均匀性可以满足，但是由于中途进行了真空破坏，金属间的结合力受到影响，从而影响产品的品质)，现有的修正板又是固定式的，中途不能进行相应的更换，所以现有的修正机构无法得到高均匀性分布的多层膜，进而会影响到产品的品质与优良率。

因此，需要设计一种能够解决上述技术问题的修正机构。

实用新型内容

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种自动切换式修正机构，能够满足蒸发特性相反的金属、在同一批次蒸发镀膜时、自动切换到对应形状的修板。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：提供一种自动切换式修正机构，安装在镀膜设备的真空腔体上；自动切换式修正机构包括：支杆、修正板和旋转马达；所述支杆可转动的设置在所述真空腔体的内部，所述支杆位于公转镀锅与蒸发源之间，所述支杆平行于所述公转镀锅；所述支杆的一端穿过伸出所述真空腔体、为伸出端，所述支杆的另一端可转动的设置在所述真空腔体上、为固定端；所述修正板有两个，两个修正板均固定安装在所述支杆上，两个修正板关于所述公转镀锅的轴线对称；所述修正板包括呈十字型交叉设置的第一修板和第二修板，所述第一修板和所述第二修板均呈柳叶形，所述第一修板上面积较大的一端靠近公转镀锅轴线、面积较小的一端靠近真空腔体内侧壁，所述第二修板上面积较大的一端靠近真空腔体内侧壁、面积较小的一端靠近公转镀锅轴线；当第一修板与公转镀锅平行相对时，第二修板则垂直于公转镀锅，此时的修正板对应处于第一修正状态；当第二修板与公转镀锅平行相对时，第一修板则垂直于公转镀锅，此时的修正板对应处于第二修正状态；所述伸出端与旋转马达连接；旋转马达每转动一次，则控制支杆绕自身轴线转动90度，从而控制修正板由原先的第一修正状态切换到第二修正状态、或由原先的第二修正状态切换到第一修正状态。

优选的，所述伸出端通过磁流体与所述旋转马达连接，所述磁流体固定安装在所述真空腔体的外侧壁上，所述磁流体的真空侧朝向所述真空腔体。

优选的，所述旋转马达的输出轴采用联轴器与所述磁流体连接，旋转马达转动通过联轴器、磁流体控制支杆绕自身轴线转动。

优选的，所述支杆的固定端通过支撑座固定设置在所述真空腔体的内侧壁上，即所述固定端与所述支撑座为可转动连接，所述支撑座与所述真空腔体的内侧壁为固定连接。

优选的，所述旋转马达固定安装在所述真空腔体的外侧壁上。

本实用新型的有益效果是：本实用新型能够满足蒸发特性相反的金属、在同一批次蒸发镀膜时、自动切换到对应形状的修板，从而实现高均匀性分布的蒸发膜，满足高品质、高优良率的蒸发镀膜要求；其结构简单、操作使用方便。

附图说明

图1是本实用新型一种自动切换式修正机构的主视框架结构示意图；

图2是本实用新型一种自动切换式修正机构中两个修正板处于第一修正状态时的俯视结构示意图；

图3是本实用新型一种自动切换式修正机构中两个修正板处于第二修正状态时的俯视结构示意图。

附图中各部件的标记如下：1、真空腔体；11、公转镀锅；12、蒸发源；2、支杆；3、支撑座；4、修正板；41、第一修板；42、第二修板；5、磁流体；6、联轴器；7、旋转马达。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

请参阅图1至图3，本实用新型实施例包括：

一种自动切换式修正机构，安装在镀膜设备的真空腔体1上，其包括：支杆2、支撑座3、修正板4、磁流体5、联轴器6和旋转马达7。所述支杆2可转动的设置在所述真空腔体1的内部，所述支杆2位于公转镀锅11与蒸发源12之间，所述支杆2平行于所述公转镀锅11，即支杆2垂直于公转镀锅11的轴线。所述支杆2的一端穿过伸出所述真空腔体1，所述支杆2的另一端通过所述支撑座3固定设置在所述真空腔体1的内侧壁上，即所述支杆2与所述支撑座3为可转动连接，所述支撑座3与所述真空腔体1的内侧壁为固定连接，支撑座3可以保证支杆2的平衡性。所述修正板4有两个，两个修正板4均固定安装在所述支杆2上，两个修正板4关于所述公转镀锅11的轴线对称，修正板4可以进行镀膜遮挡修正。所述修正板4包括呈十字型交叉设置的第一修板41和第二修板42，所述第一修板41和所述第二修板42均呈柳叶形，所述第一修板41上面积较大的一端靠近公转镀锅11轴线(即靠近公转镀锅11中心方向)、面积较小的一端靠近真空腔体内侧壁(即靠近公转镀锅11边缘方向)，所述第二修板42上面积较大的一端靠近真空腔体内侧壁、面积较小的一端靠近公转镀锅轴线。当第一修板41与公转镀锅11平行相对时，第二修板42则垂直于公转镀锅11，此时的修正板4对应处于第一修正状态；当第二修板42与公转镀锅11平行相对时，第一修板41则垂直于公转镀锅11，此时的修正板4对应处于第二修正状态。所述磁流体5对应所述支杆2的伸出端、固定安装在所述真空腔体1的外侧壁上，所述磁流体5的真空侧朝向所述真空腔体1；所述磁流体5与所述支杆2的伸出端连接。所述旋转马达7固定安装在所述真空腔体1的外侧壁上，所述旋转马达7的输出轴通过所述联轴器6与所述磁流体5连接，旋转马达7转动能够通过联轴器6和磁流体5控制支杆2绕自身轴线转动；旋转马达7每转动一次，则控制支杆2绕自身轴线转动90度，从而控制修正板4由原先的第一修正状态切换到第二修正状态、或由原先的第二修正状态切换到第一修正状态。

第一修正状态下：第一修板41平行于公转镀锅11，第二修板42垂直于公转镀锅11。第二修正状态下：第二修板42平行于公转镀锅11，第一修板41垂直于公转镀锅11。

本实用新型能够满足蒸发特性相反的金属、在同一批次蒸发镀膜时、自动切换到对应形状的修板，从而实现高均匀性分布的蒸发膜，满足高品质、高优良率的蒸发镀膜要求；其结构简单、操作使用方便。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (5)

1.一种自动切换式修正机构，安装在镀膜设备的真空腔体上，其特征在于，自动切换式修正机构包括：支杆、修正板和旋转马达；所述支杆可转动的设置在所述真空腔体的内部，所述支杆位于公转镀锅与蒸发源之间，所述支杆平行于所述公转镀锅；所述支杆的一端穿过伸出所述真空腔体、为伸出端，所述支杆的另一端可转动的设置在所述真空腔体上、为固定端；所述修正板有两个，两个修正板均固定安装在所述支杆上，两个修正板关于所述公转镀锅的轴线对称；所述修正板包括呈十字型交叉设置的第一修板和第二修板，所述第一修板和所述第二修板均呈柳叶形，所述第一修板上面积较大的一端靠近公转镀锅轴线、面积较小的一端靠近真空腔体内侧壁，所述第二修板上面积较大的一端靠近真空腔体内侧壁、面积较小的一端靠近公转镀锅轴线；当第一修板与公转镀锅平行相对时，第二修板则垂直于公转镀锅，此时的修正板对应处于第一修正状态；当第二修板与公转镀锅平行相对时，第一修板则垂直于公转镀锅，此时的修正板对应处于第二修正状态；所述伸出端与旋转马达连接；旋转马达每转动一次，则控制支杆绕自身轴线转动90度，从而控制修正板由原先的第一修正状态切换到第二修正状态、或由原先的第二修正状态切换到第一修正状态。

2.根据权利要求1所述的一种自动切换式修正机构，其特征在于：所述伸出端通过磁流体与所述旋转马达连接，所述磁流体固定安装在所述真空腔体的外侧壁上，所述磁流体的真空侧朝向所述真空腔体。

3.根据权利要求2所述的一种自动切换式修正机构，其特征在于：所述旋转马达的输出轴采用联轴器与所述磁流体连接，旋转马达转动通过联轴器、磁流体控制支杆绕自身轴线转动。

4.根据权利要求1所述的一种自动切换式修正机构，其特征在于：所述支杆的固定端通过支撑座固定设置在所述真空腔体的内侧壁上，即所述固定端与所述支撑座为可转动连接，所述支撑座与所述真空腔体的内侧壁为固定连接。

5.根据权利要求1或2或3或4所述的一种自动切换式修正机构，其特征在于：所述旋转马达固定安装在所述真空腔体的外侧壁上。