CN209741272U - 一种fmm金属薄板的水平式蚀刻装置 - Google Patents
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- 238000005530 etching Methods 0.000 title claims abstract description 157
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 122
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 122
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 47
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 41
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 47
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 44
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 36
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 5
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 7
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 2
- 229920001621 AMOLED Polymers 0.000 description 1
- 229910000640 Fe alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001111 Fine metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021578 Iron(III) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K iron trichloride Chemical compound Cl[Fe](Cl)Cl RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
Abstract
本实用新型公开了一种FMM金属薄板的水平式蚀刻装置，包括装有蚀刻液的蚀刻容器、以及用以传送FMM金属薄板的传送机构；FMM金属薄板通过所述传送机构在蚀刻容器内呈凹字形或一字形布置。本实用新型FMM金属薄板通过传送机构并在蚀刻容器的蚀刻液中呈凹字形或一字形布置，使得FMM金属薄板经传送机构带动下穿行于蚀刻容器的蚀刻液，蚀刻容器内的蚀刻液对FMM金属薄板的上表面与下表面进行均匀蚀刻，进而实现对FMM金属薄板的水平式化学减薄，使其满足使用需求。
Description
技术领域
本实用新型涉及FMM金属薄板技术领域，具体是一种FMM金属薄板的水平式蚀刻装置。
背景技术
目前高阶手机使用的AMOLED面板的主要生产方法是采用真空蒸镀，而真空蒸镀必须用到精细金属遮罩FMM金属薄板，FMM金属薄板的材料主要是一种低膨胀金属。
一般FMM金属薄板使用因瓦金属(invar)制得，因瓦金属的成分主要为含36％镍的铁属合金，FMM金属薄板的厚度很薄，大约在20-30um。而很薄的因瓦金属生产困难、供应有限，一般都被国外企业限定只卖给特定公司，因此，在市场上只能买到厚度较厚的因瓦金属，为制得满足使用需求的、较薄的FMM金属薄板，急需一种减薄装置对较厚因瓦金属进行加工，以制得满足使用需求的FMM金属薄板。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种FMM金属薄板的水平式蚀刻装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种FMM金属薄板的水平式蚀刻装置，包括装有蚀刻液的蚀刻容器、以及用以传送FMM金属薄板的传送机构；FMM金属薄板通过所述传送机构在蚀刻容器内呈凹字形或一字形布置；
所述蚀刻容器上开设有进料槽与出料槽，FMM金属薄板在传送机构带动下垂直通过进料槽进入所述蚀刻容器内、并在传送机构带动下垂直通过出料槽输出所述蚀刻容器，FMM金属薄板呈水平式的浸在所述蚀刻容器内的蚀刻液中。
将FMM金属薄板的两端分别与传送机构相连、并使得FMM金属薄板在传送机构的带动下垂直通过进料槽进入蚀刻容器、经蚀刻后垂直通过出料槽输出蚀刻容器，通过设置的传送机构实现对FMM金属薄板的平稳传送，有效提高FMM金属薄板的蚀刻质量。
具体使用时，在蚀刻容器内灌装一定量的蚀刻液，使得FMM金属薄板通过传送机构并在蚀刻容器的蚀刻液中呈凹字形或一字形布置，使得FMM金属薄板经传送机构带动下穿行于蚀刻容器的蚀刻液，蚀刻容器内的蚀刻液对FMM金属薄板的上表面与下表面进行均匀蚀刻，进而实现对FMM金属薄板的水平式化学减薄，使其满足使用需求。
作为本实用新型进一步的方案：所述水平式蚀刻装置还包括设置在蚀刻容器内的喷液机构；
所述喷液机构包括一上一下关于浸在蚀刻液中FMM金属薄板对称设置的上喷洒矩阵与下喷洒矩阵，上喷洒矩阵与浸在蚀刻液中FMM金属薄板之间的距离、下喷洒矩阵与浸在蚀刻液中FMM金属薄板之间的距离均为H。
作为本实用新型进一步的方案：所述距离H的取值范围为10cm≤H≤35cm。
作为本实用新型进一步的方案：所述上喷洒矩阵与所述下喷洒矩阵均包括在蚀刻液中水平布置的固定支架、沿着所述固定支架往复式移动的移动支架、以及设置于移动支架上表面或下表面的喷嘴；
所述移动支架与所述固定支架相互垂直。
作为本实用新型进一步的方案：两相邻所述喷嘴之间的间距ΔX与所述喷嘴和FMM金属薄板之间的间距H之间存在ΔX:H＝5:3的关系。
作为本实用新型进一步的方案：所述喷嘴为可摇摆式喷嘴；
所述喷嘴的摆动角度为α、且所述摆动角度α的取值范围为50°≤α≤130°。
作为本实用新型进一步的方案：当FMM金属薄板在蚀刻容器内呈凹字形布置时，所述进料槽与所述出料槽对称开设于蚀刻容器的上表面；
当FMM金属薄板在蚀刻容器内呈一字形布置时，所述进料槽开设于蚀刻容器的一侧端面、所述出料槽开设于蚀刻容器的另一侧端面。
作为本实用新型进一步的方案：当FMM金属薄板在蚀刻容器内呈凹字形布置时，所述传送机构包括设置于进料槽上方的进料轮与进料支撑轮、设置于出料槽上方的出料轮与出料支撑轮、以及设置于蚀刻容器中两中间轮，所述进料支撑轮与浸在蚀刻液中的一中间轮位于同一竖直线上、所述出料支撑轮与浸在蚀刻液中的另一中间轮位于同一竖直线上；
当FMM金属薄板在蚀刻容器内呈一字形布置时，所述传送机构包括设置于进料槽外侧的进料轮与进料支撑轮、以及设置于出料槽外侧的出料轮与出料支撑轮，所述进料轮与出料轮位于同一水平线上、且所述进料支撑轮与所述出料支撑轮位于同一水平线上。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
(1)将FMM金属薄板的两端分别与传送机构相连、并使得FMM金属薄板通过设置的传送机构实现平稳传送，有效提高FMM金属薄板的蚀刻效率、保证了FMM金属薄板的蚀刻质量；
(2)FMM金属薄板通过传送机构并在蚀刻容器的蚀刻液中呈凹字形或一字形布置，使得FMM金属薄板经传送机构带动下穿行于蚀刻容器的蚀刻液，蚀刻容器内的蚀刻液对FMM金属薄板的上表面与下表面进行均匀蚀刻，进而实现对FMM金属薄板的水平式化学减薄，使其满足使用需求；
(3)在蚀刻容器内设置喷液机构、且每个喷液机构包括一上一下关于浸在蚀刻液中FMM金属薄板对称设置的上喷洒矩阵与下喷洒矩阵，上喷洒矩阵与下喷洒矩阵同时启动、同步工作，喷液机构喷出的蚀刻液一方面可直接冲击FMM金属薄板的上表面与下表面，另一方面，喷液机构喷出的蚀刻液可产生紊流，进一步对FMM金属薄板的上表面与下表面产生微弱的冲击，进而实现对FMM金属薄板上表面与下表面的均匀蚀刻。
附图说明
图1为本实用新型具体实施例一的主视图；
图2为本实用新型具体实施例一的侧视图；
图3为本实用新型具体实施例二的主视图。
图中：
1-蚀刻容器、11-进料槽、12-出料槽；
2-传送机构、21-进料轮、22-进料支撑轮、23-中间轮、24-出料轮、25-出料支撑轮；
3-喷液机构、31-上喷洒矩阵、32-下喷洒矩阵、301-固定支架、302-移动支架、303-喷嘴。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
一种FMM金属薄板的水平式蚀刻装置，包括装有蚀刻液的蚀刻容器1、以及用以传送FMM金属薄板的传送机构2；FMM金属薄板通过所述传送机构2在蚀刻容器1内呈凹字形或一字形布置；
所述蚀刻容器1上开设有进料槽11与出料槽12，FMM金属薄板在传送机构2带动下垂直通过进料槽11进入所述蚀刻容器1内、并在传送机构2带动下垂直通过出料槽12输出所述蚀刻容器1，FMM金属薄板呈水平式的浸在所述蚀刻容器1内的蚀刻液中。
具体实施例一
请参阅图1和图2，当FMM金属薄板在蚀刻容器1内呈凹字形布置时，所述进料槽11与所述出料槽12对称开设于蚀刻容器1的上表面；进料槽11开设于蚀刻容器1上表面靠近一端处、出料槽12开设于蚀刻容器1上表面靠近另一端处，使得FMM金属薄板在蚀刻容器1的蚀刻液中呈水平布置的中间段较长，进而增大FMM金属薄板在蚀刻液中浸润的长度，即增大了FMM金属薄板一次性蚀刻的长度，提高了FMM金属薄板的蚀刻效率。
当FMM金属薄板在蚀刻容器1内呈凹字形布置时，所述传送机构2包括设置于进料槽上方的进料轮21与进料支撑轮22、设置于出料槽上方的出料轮24与出料支撑轮25、以及设置于蚀刻容器中两中间轮23，所述进料支撑轮22与浸在蚀刻液中的一中间轮23位于同一竖直线上、所述出料支撑轮25与浸在蚀刻液中的另一中间轮23位于同一竖直线上；
具体使用时，FMM金属薄板的首端与进料轮21相连，中间段依次通过进料支撑轮22、与进料支撑轮22位于同一竖直线上的一中间轮23、与出料支撑轮25位于同一竖直线上的另一中间轮23、以及出料支撑轮25呈凹字形布置，FMM金属薄板的末端与出料轮24相连；在蚀刻过程中，传送机构2工作，带动FMM金属薄板以一定的进料速度、保持一定的料带张力从进料槽11向出料槽12运动，进而实现对FMM金属薄板上表面与下表面的蚀刻，结构简单、操作简便，有利于推广使用。
具体实施例二
请参阅图3，当FMM金属薄板在蚀刻容器1内呈一字形布置时，所述进料槽11开设于蚀刻容器1的一侧端面、所述出料槽12开设于蚀刻容器1的另一侧端面。进料槽11与出料槽12处于同一水平直线上，使得FMM金属薄板在蚀刻容器1的蚀刻液中呈水平式布置。
当FMM金属薄板在蚀刻容器1内呈一字形布置时，所述传送机构2包括设置于进料槽外侧的进料轮21与进料支撑轮22、以及设置于出料槽外侧的出料轮24与出料支撑轮25，所述进料轮21与出料轮24位于同一水平线上、且所述进料支撑轮22与所述出料支撑轮25位于同一水平线上。
传送机构2的进料支撑轮22、出料支撑轮25均与进料槽11、出料槽12处于同一水平高度，而进料轮21、出料轮24的高度略低于进料支撑轮22、出料支撑轮25的高度，通过将传送机构2整体进行合理布置，可在一定程度上确保FMM金属薄板保护一定的料带张力，以免FMM金属薄板过于松弛或过于紧绷，使得FMM金属薄板在传送机构2带动下平稳传送，实现蚀刻容器1内的蚀刻液对FMM金属薄板上表面与下表面进行均匀蚀刻。
为进一步提高FMM金属薄板的蚀刻效率与蚀刻质量，所述水平式蚀刻装置还包括设置在蚀刻容器1内的喷液机构3；所述喷液机构3包括一上一下关于浸在蚀刻液中FMM金属薄板对称设置的上喷洒矩阵31与下喷洒矩阵32。上喷洒矩阵31设置于FMM金属薄板的正上方、下喷洒矩阵32设置于FMM金属薄板的正下方，且上喷洒矩阵31与下喷洒矩阵32同时启动、同步工作，上喷洒矩阵31与下喷洒矩阵32喷出的蚀刻液一方面可直接冲击FMM金属薄板的上表面与下表面，另一方面，上喷洒矩阵31与下喷洒矩阵32喷出的蚀刻液可使得蚀刻容器1内的蚀刻液产生紊流，进一步对FMM金属薄板的上表面与下表面产生微弱的冲击，进而实现对FMM金属薄板上表面与下表面的均匀蚀刻。
上喷洒矩阵31与浸在蚀刻液中FMM金属薄板之间的距离、下喷洒矩阵32与浸在蚀刻液中FMM金属薄板之间的距离均为H。所述距离H的取值范围为10cm≤H≤35cm。通过将上喷洒矩阵31与FMM金属薄板之间的间距、以及下喷洒矩阵32与FMM金属薄板之间的间距均控制在一定的范围内，一方面，可避免间距过大导致喷液机构3起不到作用，另一方面，以免间距过小导致喷机构在喷液过程中造成FMM金属薄板上表面与下表面蚀刻不均匀。
所述上喷洒矩阵31与所述下喷洒矩阵32均包括在蚀刻液中水平布置的固定支架301、沿着所述固定支架往复式移动的移动支架302、以及设置于移动支架上表面或下表面的喷嘴303；所述移动支架302与所述固定支架301相互垂直。
上喷洒矩阵31与下喷洒矩阵32的移动支架302与喷嘴303的水平位置均可进行调整，具体使用时，可将移动支架302沿着固定支架301水平移动，直至移动支架302上设置的喷嘴303处于FMM金属薄板的正上方或正下方，结构简单、操作简便。
两相邻所述喷嘴303之间的间距ΔX与所述喷嘴303和FMM金属薄板之间的间距H之间存在ΔX:H＝5:3的关系。通过限定两相邻所述喷嘴303之间的间距ΔX与所述喷嘴303和FMM金属薄板之间的间距H之间的比例关系，使得喷嘴303喷出的蚀刻液在能起到加快FMM金属薄板蚀刻效率的同时，可保证FMM金属薄板上表面与下表面蚀刻的均匀性，进而保证FMM金属薄板的蚀刻质量。
所述喷嘴303为可摇摆式喷嘴；所述喷嘴303的摆动角度为α、且所述摆动角度α的取值范围为50°≤α≤130°。通过将上喷洒矩阵31与下喷洒矩阵32的喷嘴303均设置为可摇摆式喷嘴，并将可摇摆式喷嘴的摆动角度控制在一定范围内，该摆动角度关于一竖直线对称。
在对FMM金属薄板进行蚀刻时，蚀刻容器1中的蚀刻液采用按重量包含氯化铁60％～80％、盐酸2％～10％、水20％～39％，该蚀刻液的蚀刻效果好、蚀刻效率高。将FMM金属薄板的进料速度控制在0.2～0.4m/s范围内，使得FMM金属薄板的料带张力为60～70N，开启喷液机构3，并控制喷液机构3的喷嘴303压力在1.5～2kg/cm2范围内，通过调控传送机构2与喷液机构3的各个参数，并将其限定在合理的范围内，实现对FMM金属薄板两面蚀刻厚度的精确、稳定控制，进而提高FMM金属薄板的蚀刻质量，满足使用需求。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (8)
1.一种FMM金属薄板的水平式蚀刻装置，包括装有蚀刻液的蚀刻容器(1)、以及用以传送FMM金属薄板的传送机构(2)；其特征在于：
FMM金属薄板通过所述传送机构(2)在蚀刻容器(1)内呈凹字形或一字形布置；
所述蚀刻容器(1)上开设有进料槽(11)与出料槽(12)，FMM金属薄板在传送机构(2)带动下垂直通过进料槽(11)进入所述蚀刻容器(1)内、并在传送机构(2)带动下垂直通过出料槽(12)输出所述蚀刻容器(1)，FMM金属薄板呈水平式的浸在所述蚀刻容器(1)内的蚀刻液中。
2.根据权利要求1所述FMM金属薄板的水平式蚀刻装置，其特征在于：所述水平式蚀刻装置还包括设置在蚀刻容器(1)内的喷液机构(3)；
所述喷液机构(3)包括一上一下关于浸在蚀刻液中FMM金属薄板对称设置的上喷洒矩阵(31)与下喷洒矩阵(32)，上喷洒矩阵(31)与浸在蚀刻液中FMM金属薄板之间的距离、下喷洒矩阵(32)与浸在蚀刻液中FMM金属薄板之间的距离均为H。
3.根据权利要求2所述FMM金属薄板的水平式蚀刻装置，其特征在于：所述距离H的取值范围为10cm≤H≤35cm。
4.根据权利要求2所述FMM金属薄板的水平式蚀刻装置，其特征在于：所述上喷洒矩阵(31)与所述下喷洒矩阵(32)均包括在蚀刻液中水平布置的固定支架(301)、沿着所述固定支架往复式移动的移动支架(302)、以及设置于移动支架上表面或下表面的喷嘴(303)；
所述移动支架(302)与所述固定支架(301)相互垂直。
5.根据权利要求4所述FMM金属薄板的水平式蚀刻装置，其特征在于：两相邻所述喷嘴(303)之间的间距ΔX与所述喷嘴(303)和FMM金属薄板之间的间距H之间存在ΔX:H＝5:3的关系。
6.根据权利要求4或5所述FMM金属薄板的水平式蚀刻装置，其特征在于：所述喷嘴(303)为可摇摆式喷嘴；
所述喷嘴(303)的摆动角度为α、且所述摆动角度α的取值范围为50°≤α≤130°。
7.根据权利要求1所述FMM金属薄板的水平式蚀刻装置，其特征在于：当FMM金属薄板在蚀刻容器(1)内呈凹字形布置时，所述进料槽(11)与所述出料槽(12)对称开设于蚀刻容器(1)的上表面；
当FMM金属薄板在蚀刻容器(1)内呈一字形布置时，所述进料槽(11)开设于蚀刻容器(1)的一侧端面、所述出料槽(12)开设于蚀刻容器(1)的另一侧端面。
8.根据权利要求1或7所述FMM金属薄板的水平式蚀刻装置，其特征在于：当FMM金属薄板在蚀刻容器(1)内呈凹字形布置时，所述传送机构(2)包括设置于进料槽上方的进料轮(21)与进料支撑轮(22)、设置于出料槽上方的出料轮(24)与出料支撑轮(25)、以及设置于蚀刻容器中两中间轮(23)，所述进料支撑轮(22)与浸在蚀刻液中的一中间轮(23)位于同一竖直线上、所述出料支撑轮(25)与浸在蚀刻液中的另一中间轮(23)位于同一竖直线上；
当FMM金属薄板在蚀刻容器(1)内呈一字形布置时，所述传送机构(2)包括设置于进料槽外侧的进料轮(21)与进料支撑轮(22)、以及设置于出料槽外侧的出料轮(24)与出料支撑轮(25)，所述进料轮(21)与出料轮(24)位于同一水平线上、且所述进料支撑轮(22)与所述出料支撑轮(25)位于同一水平线上。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201920242065.5U CN209741272U (zh) | 2019-02-26 | 2019-02-26 | 一种fmm金属薄板的水平式蚀刻装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201920242065.5U CN209741272U (zh) | 2019-02-26 | 2019-02-26 | 一种fmm金属薄板的水平式蚀刻装置 |
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|---|---|
| CN209741272U true CN209741272U (zh) | 2019-12-06 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201920242065.5U Expired - Fee Related CN209741272U (zh) | 2019-02-26 | 2019-02-26 | 一种fmm金属薄板的水平式蚀刻装置 |
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|---|---|
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN111447751A (zh) * | 2020-04-25 | 2020-07-24 | 深圳市科路迪机械设备有限公司 | 一种精密蚀刻装置及其蚀刻喷淋架 |
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Granted publication date: 20191206 |