CN209698751U - 一种氧化铝陶瓷外径抛光装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种氧化铝陶瓷外径抛光装置，包括基座、正悬盘、支撑臂、连接杆、操作臂、旋转杆、抛光筒和动力装置，正悬盘与基座转动连接，支撑臂的一端设有用于支撑产品的支撑槽，支撑臂上设有支撑槽的一端设在正悬盘上方，支撑臂的另一端通过连接杆与基座连接，支撑臂与正悬盘之间设有间隙；操作臂与基座转动连接，旋转杆与操作臂转动连接，抛光筒与旋转杆固定，抛光筒外壁上设有抛光织物。本实用新型提供了一种氧化铝陶瓷外径抛光装置，可以对圆饼形高纯氧化铝精密陶瓷的外径与底面进行有效抛光；具有结构简单，制造成本低；操作方便，加工效率高，产品抛光均匀，粗糙度稳定等优点。

Description

一种氧化铝陶瓷外径抛光装置

技术领域

本实用新型涉及氧化铝陶瓷抛光技术领域，尤其是涉及一种氧化铝陶瓷外径抛光装置。

背景技术

我国半导体行业最近几年发展速度非常快，目前全国已经有上百家半导体的设计和生产厂家，但半导体设备陶瓷部件的生产在国内仍占比重较小，尤其对于大型陶瓷部件生产加工。圆饼形陶瓷外径抛光目前还没有特别有效的方法，主要还是通过人工进行手工打磨，这种方法存在抛光不均匀，工作效率低下等缺点。为了摆脱当前加工困境，需要开发使用先进的外径抛光装置。

中国专利申请公开号CN104385072A，公开日为2015年03月04日，名称为“一种曲面抛光机”，公开了一种曲面抛光机，它包括立柱、横梁，设有车轮的抛光台车，链条链轮机构，钢丝绳，变速电机和磨头，所述立柱有两个，通过焊接并合在一起，所述立柱前后两侧面分别通过设有滑轮的挂板组和两个横梁相连，所述挂板组由竖向挂板和旋转挂板组成；所述立柱下端通过电动回转支撑固定在抛光台车上；所述每个横梁的一端分别安装粗磨头、细磨头；所述链条链轮机构和钢丝绳与竖向挂板相连；所述竖向挂板通过齿圈和旋转挂板相连；所述齿圈与电机相连。但是该装置结构过于复杂，且不适用于圆饼形氧化铝陶瓷外径抛光。

发明内容

本实用新型为了克服现有技术中的不足，提供一种氧化铝陶瓷外径抛光装置，可以对圆饼形高纯氧化铝精密陶瓷的外径与底面进行有效抛光；具有结构简单，制造成本低；操作方便，加工效率高，产品抛光均匀，粗糙度稳定等优点。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种氧化铝陶瓷外径抛光装置，包括基座、正悬盘、支撑臂、连接杆、操作臂、旋转杆、抛光筒和动力装置，正悬盘与基座转动连接，支撑臂的一端设有用于支撑产品的支撑槽，支撑臂上设有支撑槽的一端设在正悬盘上方，支撑臂的另一端通过连接杆与基座连接，支撑臂与正悬盘之间设有间隙；操作臂与基座转动连接，旋转杆与操作臂转动连接，抛光筒与旋转杆固定，抛光筒外壁上设有抛光织物；所述动力装置包括第一动力组件和第二动力组件，第一动力组件驱动正悬盘转动，第二动力组件驱动旋转杆转动。

通过实施上述技术方案，可以对氧化铝陶瓷外径和底面进行抛光。需要加工时，先清理正悬盘，在正悬盘上均匀喷洒研磨剂和润滑剂；将圆饼产品小心放置在正悬盘上且位于支撑槽内，用支撑臂挡住产品；转动操作臂，将抛光织物靠在产品外径上，锁紧操作臂；启动动力装置，正悬盘旋转，转速一般30~40r/min，正悬盘内外侧的速度差带动产品旋转。产品与研磨剂磨削从而抛光产品底面；动力装置驱动抛光筒转动，带动抛光织物旋转，抛光筒旋转方向与产品旋转方向一致，且线速度大于产品边缘线速度，从而抛光产品外径。产品放置到正悬盘上时，不能大幅度推动产品，尽量减少产品的推动，避免划痕产生。抛光过程中定时喷洒装置每间隔20s，在正悬盘上喷洒研磨剂7s，喷洒润滑剂6s。

作为优选，所述支撑臂包括第一支撑杆、第二支撑杆和第三支撑杆，第一支撑杆、第二支撑杆和第三支撑杆共同组成Y形的支撑臂，所述支撑槽设在第一支撑杆与第二支撑杆之间。所述结构可以形成对产品的支撑结构，与抛光筒结合可以保证将产品卡在正悬盘上方的支撑槽内。

作为优选，所述第一支撑杆与第二支撑杆之间的夹角大于等于60°小于等于90°。所述第一支撑杆与第二支撑杆之间的夹角越小，抛光筒可以压紧产品的调整角度越大，但是第一支撑杆与第二支撑杆需要的长度越长。夹角大于等于60°小于等于90°是，既可以保证抛光筒有足够的调整角度，同时保证第一支撑杆与第二支撑杆的尺寸长度合适。

作为优选，所述第一支撑杆靠近第二支撑杆的一侧设有滚轴，滚轴与第一支撑杆转动连接，所述第二支撑杆靠近第一支撑杆的一侧设有滚轴，滚轴与第二支撑杆转动连接。所述结构可以使产品与支撑杆之间的滑动摩擦转化为转动摩擦，减少产品与支撑杆之间的摩擦，减少该摩擦对产品外径精度的影响。

作为优选，所述滚轴包括滚芯和弹性外壁。所述弹性外壁材料为橡胶具有一定弹性，可以避免产品外径被划伤。

作为优选，所述连接杆与基座转动连接，基座上设有转动孔和第一锁紧螺纹孔，连接杆与转动孔适配，转动孔的轴线与第一锁紧螺纹孔的轴线垂直，第一锁紧螺纹孔的一端与转动孔连通，第一锁紧螺纹孔的一端与外界连通，第一锁紧螺纹孔内设有第一锁紧螺丝，第一锁紧螺丝一端与连接杆接触。所述结构使支撑臂相对正悬盘的位置可以改变，从而适应不同大小的产品。通过调整产品相对正悬盘的偏心程度，可以调整产品的旋转速度，拓宽产品转速范围。

作为优选，所述基座上设有弹簧调节杆和伸缩弹簧，弹簧调节杆与基座固定，伸缩弹簧的一端与弹簧调节杆固定，伸缩弹簧的另一端与操作臂连接。所述结构可以使抛光织物贴紧产品侧壁进行外径抛光，且保证压紧力的稳定。

作为优选，所述基座上设有燕尾槽，燕尾槽小口朝上，弹簧调节杆一端设有与燕尾槽适配的滑块，滑块与弹簧调节杆固定，滑块上设有第二锁紧螺纹孔，第二锁紧螺纹孔设有第二锁紧螺丝，第二锁紧螺丝一端与燕尾槽底面接触。所述结构可以使弹簧调节杆相对操作臂的距离可调节，通过调节操作臂与弹簧调节杆的相对距离，改变伸缩弹簧的长度，从而改变伸缩弹簧弹力，实现对抛光筒对产品侧壁压紧力的调整。

本实用新型的有益效果是：（1）结构简单，制造成本低；（2）可以对圆饼形的高纯氧化铝精密陶瓷的底面和外径进行有效抛光；（3）产品表面粗糙度稳定，产品内壁抛光均匀；（4）操作方便，可以有效提高陶瓷件的加工效率，降低加工成本；（5）可以对不同尺寸大小产品进行抛光；（6）抛光时抛光筒压紧力可调节。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的俯视图；

图3是本实用新型中第一支撑杆的局部剖视图；

图4是本实用新型中第二支撑杆的局部剖视图；

图5是图1中A处的局部放大图；

图6是本实用新型的第一局部剖视图；

图7是本实用新型的第二局部剖视图。

图中：基座1、转动孔1.1、第一锁紧螺纹孔1.2、燕尾槽1.3、正悬盘2、支撑臂3、第一支撑杆3.1、第二支撑杆3.2、第三支撑杆3.3、支撑槽3.4、连接杆4、操作臂5、旋转杆6、抛光筒7、动力装置8、抛光织物9、滚轴10、滚芯10.1、弹性外壁10.2、弹簧调节杆11、滑块12、第二锁紧螺纹孔12.1、伸缩弹簧13、第一锁紧螺丝14、第二锁紧螺丝15。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步的描述。

实施例1：

如图1和图2所示，一种氧化铝陶瓷外径抛光装置，包括基座1、正悬盘2、支撑臂3、连接杆4、操作臂5、旋转杆6、抛光筒7和动力装置8，正悬盘2与基座1转动连接，支撑臂3的一端设有用于支撑产品的支撑槽3.4，支撑臂3上设有支撑槽3.4的一端设在正悬盘2上方，支撑臂3的另一端通过连接杆4与基座1连接，支撑臂3与正悬盘2之间设有间隙；操作臂5与基座1转动连接，旋转杆6与操作臂5转动连接，抛光筒7与旋转杆6固定，抛光筒7外壁上设有抛光织物9；所述动力装置8包括第一动力组件和第二动力组件，第一动力组件驱动正悬盘2转动，第二动力组件驱动旋转杆6转动。

通过实施上述技术方案，可以对氧化铝陶瓷外径和底面进行抛光。需要加工时，先清理正悬盘2，在正悬盘2上均匀喷洒研磨剂和润滑剂；将圆饼产品小心放置在正悬盘2上且位于支撑槽3.4内，用支撑臂3挡住产品；转动操作臂5，将抛光织物9靠在产品外径上，锁紧操作臂5；启动动力装置8，正悬盘2旋转，转速一般30~40r/min，正悬盘2内外侧的速度差带动产品旋转。产品与研磨剂磨削从而抛光产品底面；动力装置8驱动抛光筒7转动，带动抛光织物9旋转，抛光筒7旋转方向与产品旋转方向一致，且线速度大于产品边缘线速度，从而抛光产品外径。产品放置到正悬盘2上时，不能大幅度推动产品，尽量减少产品的推动，避免划痕产生。抛光过程中定时喷洒装置每间隔20s，在正悬盘2上喷洒研磨剂7s，喷洒润滑剂6s。所述第一动力组件可以通过带轮、齿轮、联轴器等传动结构带动正悬盘2转动，第二动力组件可以通过带轮、齿轮、联轴器等传动结构带动旋转杆6转动。

实施例2：

如图3和图4所示，在实施例1的基础上，所述支撑臂3包括第一支撑杆3.1、第二支撑杆3.2和第三支撑杆3.3，第一支撑杆3.1、第二支撑杆3.2和第三支撑杆3.3共同组成Y形的支撑臂3，所述支撑槽3.4设在第一支撑杆3.1与第二支撑杆3.2之间。所述结构可以形成对产品的支撑结构，与抛光筒7结合可以保证将产品卡在正悬盘2上方的支撑槽3.4内。

所述第一支撑杆3.1与第二支撑杆3.2之间的夹角大于等于60°小于等于90°。所述第一支撑杆3.1与第二支撑杆3.2之间的夹角越小，抛光筒7可以压紧产品的调整角度越大，但是第一支撑杆3.1与第二支撑杆3.2需要的长度越长。夹角大于等于60°小于等于90°是，既可以保证抛光筒7有足够的调整角度，同时保证第一支撑杆3.1与第二支撑杆3.2的尺寸长度合适。

所述第一支撑杆3.1靠近第二支撑杆3.2的一侧设有滚轴10，滚轴10与第一支撑杆3.1转动连接，所述第二支撑杆3.2靠近第一支撑杆3.1的一侧设有滚轴10，滚轴10与第二支撑杆3.2转动连接。所述结构可以使产品与支撑杆之间的滑动摩擦转化为转动摩擦，减少产品与支撑杆之间的摩擦，减少该摩擦对产品外径精度的影响。

所述滚轴10包括滚芯10.1和弹性外壁10.2。所述弹性外壁10.2材料为橡胶具有一定弹性，可以避免产品外径被划伤。

实施例3：

如图5、图6和图7所示，在实施例1或实施例2的基础上，所述连接杆4与基座1转动连接，基座1上设有转动孔1.1和第一锁紧螺纹孔1.2，连接杆4与转动孔1.1适配，转动孔1.1的轴线与第一锁紧螺纹孔1.2的轴线垂直，第一锁紧螺纹孔1.2的一端与转动孔1.1连通，第一锁紧螺纹孔1.2的一端与外界连通，第一锁紧螺纹孔1.2内设有第一锁紧螺丝14，第一锁紧螺丝14一端与连接杆4接触。所述结构使支撑臂3相对正悬盘2的位置可以改变，从而适应不同大小的产品。通过调整产品相对正悬盘2的偏心程度，可以调整产品的旋转速度，拓宽产品转速范围。

所述基座1上设有弹簧调节杆11和伸缩弹簧13，弹簧调节杆11与基座1固定，伸缩弹簧13的一端与弹簧调节杆11固定，伸缩弹簧13的另一端与操作臂5连接。所述结构可以使抛光织物9贴紧产品侧壁进行外径抛光，且保证压紧力的稳定。

所述基座1上设有燕尾槽1.3，燕尾槽1.3小口朝上，弹簧调节杆11一端设有与燕尾槽1.3适配的滑块12，滑块12与弹簧调节杆11固定，滑块12上设有第二锁紧螺纹孔12.1，第二锁紧螺纹孔12.1设有第二锁紧螺丝15，第二锁紧螺丝15一端与燕尾槽1.3底面接触。所述结构可以使弹簧调节杆11相对操作臂5的距离可调节，通过调节操作臂5与弹簧调节杆11的相对距离，改变伸缩弹簧13的长度，从而改变伸缩弹簧13弹力，实现对抛光筒7对产品侧壁压紧力的调整。

本实用新型的有益效果是：结构简单，制造成本低；可以对圆饼形的高纯氧化铝精密陶瓷的底面和外径进行有效抛光；产品表面粗糙度稳定，产品内壁抛光均匀；操作方便，可以有效提高陶瓷件的加工效率，降低加工成本；可以对不同尺寸大小产品进行抛光；抛光时抛光筒压紧力可调节。

Claims (8)

1.一种氧化铝陶瓷外径抛光装置，其特征是，包括基座、正悬盘、支撑臂、连接杆、操作臂、旋转杆、抛光筒和动力装置，正悬盘与基座转动连接，支撑臂的一端设有用于支撑产品的支撑槽，支撑臂上设有支撑槽的一端设在正悬盘上方，支撑臂的另一端通过连接杆与基座连接，支撑臂与正悬盘之间设有间隙；操作臂与基座转动连接，旋转杆与操作臂转动连接，抛光筒与旋转杆固定，抛光筒外壁上设有抛光织物；所述动力装置包括第一动力组件和第二动力组件，第一动力组件驱动正悬盘转动，第二动力组件驱动旋转杆转动。

2.根据权利要求1所述的一种氧化铝陶瓷外径抛光装置，其特征是，所述支撑臂包括第一支撑杆、第二支撑杆和第三支撑杆，第一支撑杆、第二支撑杆和第三支撑杆共同组成Y形的支撑臂，所述支撑槽设在第一支撑杆与第二支撑杆之间。

3.根据权利要求2所述的一种氧化铝陶瓷外径抛光装置，其特征是，所述第一支撑杆与第二支撑杆之间的夹角大于等于60°小于等于90°。

4.根据权利要求3所述的一种氧化铝陶瓷外径抛光装置，其特征是，所述第一支撑杆靠近第二支撑杆的一侧设有滚轴，滚轴与第一支撑杆转动连接，所述第二支撑杆靠近第一支撑杆的一侧设有滚轴，滚轴与第二支撑杆转动连接。

5.根据权利要求4所述的一种氧化铝陶瓷外径抛光装置，其特征是，所述滚轴包括滚芯和弹性外壁。

6.根据权利要求1或2或3或4或5所述的一种氧化铝陶瓷外径抛光装置，其特征是，所述连接杆与基座转动连接，基座上设有转动孔和第一锁紧螺纹孔，连接杆与转动孔适配，转动孔的轴线与第一锁紧螺纹孔的轴线垂直，第一锁紧螺纹孔的一端与转动孔连通，第一锁紧螺纹孔的一端与外界连通，第一锁紧螺纹孔内设有第一锁紧螺丝，第一锁紧螺丝一端与连接杆接触。

7.根据权利要求1或2或3或4或5所述的一种氧化铝陶瓷外径抛光装置，其特征是，所述基座上设有弹簧调节杆和伸缩弹簧，弹簧调节杆与基座固定，伸缩弹簧的一端与弹簧调节杆固定，伸缩弹簧的另一端与操作臂连接。

8.根据权利要求7所述的一种氧化铝陶瓷外径抛光装置，其特征是，所述基座上设有燕尾槽，燕尾槽小口朝上，弹簧调节杆一端设有与燕尾槽适配的滑块，滑块与弹簧调节杆固定，滑块上设有第二锁紧螺纹孔，第二锁紧螺纹孔设有第二锁紧螺丝，第二锁紧螺丝一端与燕尾槽底面接触。