CN209691733U - 一种多片装晶圆剥离花篮 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种多片装晶圆剥离花篮，涉及晶圆作业技术领域，包括置于超声槽内的花篮下托盘；所述花篮下托盘是承载晶圆的圆柱形体；花篮下托盘上下端面贯通有多个与晶圆尺寸匹配的卡槽；所述卡槽沿花篮下托盘的周向均匀设置；卡槽内沿径向设有镂空的晶圆承载体；晶圆待剥离的一面与晶圆承载体贴合。还包括可拆卸的与所述花篮下托盘扣合的花篮上盖；在所述花篮下托盘的上端面设有多爪弹片；所述多爪弹片为圆形薄片，多爪弹片包括实心的圆片及设在圆片周围的条状挡片；所述挡片与所述卡槽的数量和位置对应。该剥离花篮不仅结构简单合理、剥离后晶圆表面清洁、剥离时晶圆不易滑落，而且剥离花篮在不同溶液间的转换很方便。

Description

一种多片装晶圆剥离花篮

技术领域

本实用新型涉及晶圆作业技术领域，特别地，涉及到一种多片装晶圆剥离花篮。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在晶圆上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。对于晶圆的制造方法，大致而言，包括如下工序：粘接工序、切片工序、粗清洗及剥离工序、晶圆切割工序、清洗工序、以及检查工序。

晶圆的清洗及剥离多在超声槽中进行，中国专利CN201520943732.4公开了一种2英寸芯片光刻胶剥离用花篮，包括花篮本体、卡槽单元和支架单元，其特征是，花篮本体上设置有卡槽单元，每个卡槽单元设置有两个沟槽，两个沟槽之间设置有将其隔开的挡板；花篮本体的底部设置有支撑柱；花篮本体上设置有支架单元。

目前在上述专利及其他常见的剥离工序中，晶圆被剥离面朝上设置浸泡在溶液中，剥离过程中随光刻胶剥离下来的污物会反落回晶圆表面，造成晶圆表面甚至图形区域玷污；此外在超声振动的作用下，晶圆可能滑落造成表面划伤及图形的破坏；再者固定晶圆的卡槽与晶圆接触的区域可能存在溶液与光刻胶之间不能充分接触、溶解的情况；晶圆在不同剥离溶液之间的转换也不是很方便。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中存在的上述技术问题，提供了一种多片装晶圆剥离花篮。该剥离花篮不仅结构简单合理、剥离后晶圆表面清洁、剥离时晶圆不易滑落，而且剥离花篮在不同溶液间的转换很方便。

本实用新型为解决公知技术中存在的技术问题所采取的技术方案是：

一种多片装晶圆剥离花篮，包括置于超声槽内的花篮下托盘；所述花篮下托盘是承载晶圆的圆柱形体；花篮下托盘上下端面贯通有多个与晶圆尺寸匹配的卡槽；所述卡槽沿花篮下托盘的周向均匀设置；卡槽内沿径向设有镂空的晶圆承载体；晶圆待剥离的一面与晶圆承载体贴合。

进一步，所述晶圆承载体为十字架体。

进一步，还包括花篮支架；所述花篮支架与花篮下托盘底端固定为一体。

进一步，所述花篮支架为4个。

进一步，还包括可拆卸的与所述花篮下托盘扣合的花篮上盖，所述花篮下托盘与所述花篮上盖的大小和形状匹配。

进一步，在花篮下托盘的周向设有一圈可拆卸的筒形围挡，所述花篮上盖同轴的设在所述围挡内；所述围挡的上端设有防止花篮上盖脱出的环状卡条；花篮上盖的顶端固定有竖直的提手。

进一步，所述围挡的底部与所述花篮下托盘的外周螺纹连接。

进一步，在所述花篮下托盘的上端面设有多爪弹片；所述多爪弹片为圆形薄片，多爪弹片包括设在花篮下托盘中心的圆片及设在圆片周围的条状挡片；所述挡片与所述卡槽的数量和位置对应。

更进一步，所述花篮下托盘上最多可容纳25个2寸以下的晶圆。

本实用新型具有的优点和积极效果是：

本实用新型结构简单合理，适用于多片装小尺寸晶圆的超声剥离操作，通过剥离面朝下的倒置式剥离保证了晶圆的表面不被玷污；通过多爪弹片使晶圆固定不弹出；花篮支架的设置能够实现花篮的静置浸泡，保证溶液与光刻胶之间充分接触、溶解。上盖、围挡和提手的设置实现了花篮在剥离溶剂里的便捷提拉和在不同溶液间的任意切换，提升了剥离效率。

附图说明：

图1是本实用新型优选实施例中晶圆剥离花篮的正视图；

图2是本实用新型优选实施例中晶圆剥离花篮的爆炸图；

图3是本实用新型优选实施例中花篮下托盘和多爪弹片的俯视图；

图4是本实用新型优选实施例中卡槽的俯视图；

图5是本实用新型优选实施例中围挡的立体图。

其中：1、花篮下托盘；11、卡槽；12、晶圆承载体；2、花篮支架；3、花篮上盖；4、多爪弹片；4a、挡片；5、围挡；5a、环状卡条；6、提手。

具体实施方式

为能进一步了解本实用新型的实用新型内容、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下：

如图1至图5所示，本实用新型公开了一种多片装晶圆剥离花篮，包括置于超声槽内的花篮下托盘1；所述花篮下托盘1是承载晶圆的圆柱形体；花篮下托盘1上下端面贯通有多个与晶圆尺寸匹配的卡槽11；所述卡槽11的直径大小相等；所述卡槽11内沿径向设有镂空的晶圆承载体12；晶圆待剥离的一面与晶圆承载体12贴合；优选的，所述晶圆承载体为十字架体；

还包括花篮支架2；所述花篮支架2与花篮下托盘1底端固定为一体；作业时将花篮下托盘1置于超声槽的溶液中，超声剥离时随光刻胶剥离下来的污物直接落到下方的溶液内，不会玷污晶圆表面。花篮支架2的设置能够实现花篮的静置浸泡，保证溶液与光刻胶之间充分接触、溶解。优选的，所述花篮支架2为4个。

还包括花篮上盖3，所述花篮下托盘1与所述花篮上盖3的大小和形状匹配；所述花篮上盖3可拆卸的与所述花篮下托盘1扣合。

优选的，所述卡槽11沿花篮下托盘1的周向均匀设置；为了防止晶圆滑落，在所述花篮下托盘1的上端面设有多爪弹片4；所述多爪弹片4为圆形薄片，多爪弹片4包括设在花篮下托盘中心的圆片及设在圆片周围的条状挡片4a；所述挡片4a与所述卡槽11的数量和位置对应；这样即使超声振动强烈，晶圆由于被挡片4a阻隔，也不会从卡槽11内弹出。优选的，所述多爪弹片4由不溶于剥离溶液的聚四氟乙烯制成，由于该材料具有一定的弹性，不会对晶圆造成损伤。

为了实现在不同溶液中的转换，优选的，在花篮下托盘1的周向设有一圈可拆卸的筒形围挡5，所述花篮上盖3同轴的设在所述围挡5内；所述围挡5的上端设有防止花篮上盖3脱出的环状卡条5a；花篮上盖3的顶端固定有竖直的提手6；这样可以利用提手6使花篮上盖3与花篮下托盘1扣合或分开，也可以将花篮上盖3上提至与卡条接触后，将整个剥离花篮转移到其他溶液中

优选的，所述花篮下托盘1上最多可容纳25个2寸以下的晶圆。

优选的，所述围挡5的底部与所述花篮下托盘1的外周螺纹连接；所述围挡5由透明材料例如亚克力制成，以便于观察花篮内部的剥离情况。

工作原理：

在超声槽外将晶圆依次放入到各个卡槽11内，使晶圆待剥离面与晶圆承载体贴合；将花篮上盖3套入所述围挡5内，并将围挡5与花篮下托盘1连接；手握提手将整个花篮置入超声槽内开始剥离操作。

本实用新型结构简单合理，适用于多片装小尺寸晶圆的超声剥离操作，通过剥离面朝下的倒置式剥离保证了晶圆的表面不被玷污；通过多爪弹片4使晶圆固定在卡槽11内不弹出；花篮支架2的设置能够实现花篮的静置浸泡，保证溶液与光刻胶之间充分接触、溶解。上盖、围挡5和提手6的设置实现了花篮在剥离溶剂里的便捷提拉和在不同溶液间的任意切换，提升了剥离效率。

以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。

Claims (9)

1.一种多片装晶圆剥离花篮，其特征在于：包括置于超声槽内的花篮下托盘；所述花篮下托盘是承载晶圆的圆柱形体；花篮下托盘上下端面贯通有多个与晶圆尺寸匹配的卡槽；所述卡槽沿花篮下托盘的周向均匀设置；卡槽内沿径向设有镂空的晶圆承载体；晶圆待剥离的一面与晶圆承载体贴合。

2.如权利要求1所述的多片装晶圆剥离花篮，其特征在于：所述晶圆承载体为十字架体。

3.如权利要求1所述的多片装晶圆剥离花篮，其特征在于：还包括花篮支架；所述花篮支架与花篮下托盘底端固定为一体。

4.如权利要求3所述的多片装晶圆剥离花篮，其特征在于：所述花篮支架为4个。

5.如权利要求1所述的多片装晶圆剥离花篮，其特征在于：还包括可拆卸的与所述花篮下托盘扣合的花篮上盖，所述花篮下托盘与所述花篮上盖的大小和形状匹配。

6.如权利要求5所述的多片装晶圆剥离花篮，其特征在于：在花篮下托盘的周向设有一圈可拆卸的筒形围挡，所述花篮上盖同轴的设在所述围挡内；所述围挡的上端设有防止花篮上盖脱出的环状卡条；花篮上盖的顶端固定有竖直的提手。

7.如权利要求6所述的多片装晶圆剥离花篮，其特征在于：所述围挡的底部与所述花篮下托盘的外周螺纹连接。

8.如权利要求1所述的多片装晶圆剥离花篮，其特征在于：在所述花篮下托盘的上端面设有多爪弹片；所述多爪弹片为圆形薄片，多爪弹片包括设在花篮下托盘中心的圆片及设在圆片周围的条状挡片；所述挡片与所述卡槽的数量和位置对应。

9.如权利要求1至8任一项所述的多片装晶圆剥离花篮，其特征在于：所述花篮下托盘上最多可容纳25个2寸以下的晶圆。