CN209663036U - 一种移动式气体纯化装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种移动式气体纯化装置，包括上罐体、上固定环、加热片防护罩、下罐体、排气口、进气口、下固定环、纯化催化剂放置槽板、加热片以及密封垫片，下固定环焊接固定在下罐体环形侧面上部，密封垫片粘贴固定在下固定环上端，上罐体安装在密封垫片上端，上固定环焊接固定在上罐体下端，上固定环设置在下固定环上侧，上罐体上端焊接固定有进气口，下罐体下端安装有排气口，加热片防护罩焊接固定在下罐体环形侧面上部，加热片防护罩设置在下固定环下侧，加热片安装在加热片防护罩内部，纯化催化剂放置槽板安装在下罐体内部，该设计实现了快速对纯化催化剂进行更换以及辅助加热的功能。

Description

一种移动式气体纯化装置

技术领域

本实用新型是一种移动式气体纯化装置，属于气体生产设备技术领域。

背景技术

半导体工业中，经常需要氢气、氮气、惰性气体(氦、氖、氩、氪、氙)、还原性气体(砷化氢、磷化氢、氨气、硅化氢等)，并且需要这些气体具有“超高纯度”，尤其是需要具有极低级含量的氧气、水、二氧化碳、一氧化碳等杂质，现有的气体纯化装置多为一体式结构，当纯化催化剂失效时，不能很方便的对纯化催化剂进行更换，且现有的催化剂辅助加热机构多设置在罐体内部，具有一定的安全隐患。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种移动式气体纯化装置，以解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型使用方便，实现了快速对纯化催化剂进行更换以及辅助加热的功能，稳定性好，安全性高。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种移动式气体纯化装置，包括上罐体、上固定环、加热片防护罩、下罐体、排气口、进气口、下固定环、纯化催化剂放置槽板、把手、加热片、锁紧螺栓以及密封垫片，所述下固定环焊接固定在下罐体环形侧面上部，所述密封垫片粘贴固定在下固定环上端，所述上罐体安装在密封垫片上端，所述上固定环焊接固定在上罐体下端，所述上固定环设置在下固定环上侧，所述上固定环与下固定环之间通过锁紧螺栓固定连接，所述上罐体上端焊接固定有进气口，所述下罐体下端安装有排气口，所述加热片防护罩焊接固定在下罐体环形侧面上部，所述加热片防护罩设置在下固定环下侧，所述加热片安装在加热片防护罩内部，所述纯化催化剂放置槽板安装在下罐体内部，所述把手镶嵌在纯化催化剂放置槽板内部。

进一步地，所述纯化催化剂放置槽板下端面加工有通气孔，所述下罐体内壁以及纯化催化剂放置槽板环形侧面均加工有螺纹，所述纯化催化剂放置槽板通过螺纹与下罐体可拆卸连接。

进一步地，所述下罐体环形侧面下部焊接固定有支撑块，所述支撑块下端固定有支撑脚。

进一步地，所述进气口环形侧面右部安装有气阀。

进一步地，所述加热片通过导线与外部电源相连接，且导线上设置有开关。

本实用新型的有益效果：本实用新型的一种移动式气体纯化装置，本实用新型通过添加上罐体、上固定环、加热片防护罩、下罐体、排气口、进气口、下固定环、纯化催化剂放置槽板、把手、加热片、锁紧螺栓以及密封垫片，该设计实现了快速对纯化催化剂进行更换以及辅助加热的功能，解决了现有的气体纯化装置多为一体式结构，当纯化催化剂失效时，不能很方便的对纯化催化剂进行更换，且现有的催化剂辅助加热机构多设置在罐体内部，具有一定的安全隐患。

因添加了透气孔，该设计便于上罐体以及下罐体内部气体的流通，因添加了支撑块以及支撑脚，该设计便于对下罐体进行移动，因添加了气阀，该设计便于对气体的流通进行控制，本实用新型使用方便，实现了快速对纯化催化剂进行更换以及辅助加热的功能，稳定性好，安全性高。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型一种移动式气体纯化装置的结构示意图；

图2为本实用新型一种移动式气体纯化装置的正剖图；

图中： 1-上罐体、2-上固定环、3-加热片防护罩、4-下罐体、5-排气口、6-进气口、7-下固定环、8-纯化催化剂放置槽板、9-把手、10-加热片、11-锁紧螺栓、12-密封垫片。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

请参阅图1和图2，本实用新型提供一种技术方案：一种移动式气体纯化装置，包括上罐体1、上固定环2、加热片防护罩3、下罐体4、排气口5、进气口6、下固定环7、纯化催化剂放置槽板8、把手9、加热片10、锁紧螺栓11以及密封垫片12，下固定环7焊接固定在下罐体4环形侧面上部，密封垫片12粘贴固定在下固定环7上端，上罐体1安装在密封垫片12上端，上固定环2焊接固定在上罐体1下端，上固定环2设置在下固定环7上侧，上固定环2与下固定环7之间通过锁紧螺栓11固定连接，上罐体1上端焊接固定有进气口6，下罐体4下端安装有排气口5，加热片防护罩3焊接固定在下罐体4环形侧面上部，加热片防护罩3设置在下固定环7下侧，加热片10安装在加热片防护罩3内部，纯化催化剂放置槽板8安装在下罐体4内部，把手9镶嵌在纯化催化剂放置槽板8内部，当需要对纯化催化剂进行活化时，使用人员开启加热片10开关，然后加热片10工作并产生热量，然后热量通过下罐体4传递至纯化催化剂放置槽板8，然后纯化催化剂放置槽板8对其内部的纯化催化剂进行加热，从而实现了对纯化催化剂进行活化的功能，当需要对纯化催化剂放置槽板8内部的纯化催化剂进行更换时，使用人员先使用外部扳手将锁紧螺栓11移除，然后使用人员握住上罐体1并向上移动，然后使用人员握住把手9并逆时针转动，把手9逆时针转动带动纯化催化剂放置槽板8逆时针转动，纯化催化剂放置槽板8逆时针转动并在螺纹的作用下向上移动，然后使用人员对纯化催化剂进行更换，从而实现了对纯化催化剂进行更换的功能。

纯化催化剂放置槽板8下端面加工有通气孔，下罐体4内壁以及纯化催化剂放置槽板8环形侧面均加工有螺纹，纯化催化剂放置槽板8通过螺纹与下罐体4可拆卸连接，透气孔的设计可以有效的对下罐体4内部的气流进行导流。

下罐体4环形侧面下部焊接固定有支撑块，支撑块下端固定有支撑脚，支撑块以及支撑脚的设计可以有效的对下罐体4进行支撑。

进气口6环形侧面右部安装有气阀，通过控制气阀，从而实现了对进气气流的控制。

加热片10通过导线与外部电源相连接，且导线上设置有开关。

上述实施例，仅是本实用新型的较佳实施方式，故凡依本实用新型专利申请范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰，均包括于本实用新型专利申请范围内。

Claims (5)

1.一种移动式气体纯化装置，包括上罐体、上固定环、加热片防护罩、下罐体、排气口、进气口、下固定环、纯化催化剂放置槽板、把手、加热片、锁紧螺栓以及密封垫片，其特征在于：所述下固定环焊接固定在下罐体环形侧面上部，所述密封垫片粘贴固定在下固定环上端，所述上罐体安装在密封垫片上端，所述上固定环焊接固定在上罐体下端，所述上固定环设置在下固定环上侧，所述上固定环与下固定环之间通过锁紧螺栓固定连接，所述上罐体上端焊接固定有进气口，所述下罐体下端安装有排气口，所述加热片防护罩焊接固定在下罐体环形侧面上部，所述加热片防护罩设置在下固定环下侧，所述加热片安装在加热片防护罩内部，所述纯化催化剂放置槽板安装在下罐体内部，所述把手镶嵌在纯化催化剂放置槽板内部。

2.根据权利要求1所述的一种移动式气体纯化装置，其特征在于：所述纯化催化剂放置槽板下端面加工有通气孔，所述下罐体内壁以及纯化催化剂放置槽板环形侧面均加工有螺纹，所述纯化催化剂放置槽板通过螺纹与下罐体可拆卸连接。

3.根据权利要求1所述的一种移动式气体纯化装置，其特征在于：所述下罐体环形侧面下部焊接固定有支撑块，所述支撑块下端固定有支撑脚。

4.根据权利要求1所述的一种移动式气体纯化装置，其特征在于：所述进气口环形侧面右部安装有气阀。

5.根据权利要求1所述的一种移动式气体纯化装置，其特征在于：所述加热片通过导线与外部电源相连接，且导线上设置有开关。