CN216537814U - 一种移动式气体纯化装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种移动式气体纯化装置，包括进气管、上罐体、下罐体、固定套板、排气管、支撑腿、锁紧装置、上锁紧套环和下锁紧套环，所述排气管设于下罐体下，所述固定套板套接于下罐体下端，所述支撑腿环绕设于固定套板外侧面上，所述上罐体拆卸设于下罐体顶部，所述进气管设于上罐体顶部，所述上锁紧套环套接于上罐体下端开口处，所述下锁紧套环套接于下罐体上端开口处，所述锁紧装置套接设于上锁紧套环和下锁紧套环上。本实用新型属于气体生产设备技术领域，具体是指一种通过锁紧装置实现上罐体和下罐体拆卸的移动式气体纯化装置。

Description

一种移动式气体纯化装置

技术领域

本实用新型属于气体生产设备技术领域，具体是指一种移动式气体纯化装置。

背景技术

半导体工业中，经常需要氢气、氮气、惰性气体(氦、氖、氩、氪、氙)、还原性气体(砷化氢、磷化氢、氨气、硅化氢等)，并且需要这些气体具有“超高纯度”，尤其是需要具有极低级含量的氧气、水、二氧化碳、一氧化碳等杂质，现有的气体纯化装置多为一体式结构，当纯化催化剂失效时，不能很方便的对纯化催化剂进行更换。

实用新型内容

为了解决上述难题，本实用新型提供了一种通过锁紧装置实现上罐体和下罐体拆卸的移动式气体纯化装置。

为了实现上述功能，本实用新型采取的技术方案如下：一种移动式气体纯化装置，包括进气管、上罐体、下罐体、固定套板、排气管、支撑腿、锁紧装置、上锁紧套环和下锁紧套环，所述排气管设于下罐体下，所述固定套板套接于下罐体下端，所述支撑腿环绕设于固定套板外侧面上，所述上罐体拆卸设于下罐体顶部，所述进气管设于上罐体顶部，所述上锁紧套环套接于上罐体下端开口处，所述下锁紧套环套接于下罐体上端开口处，所述锁紧装置套接设于上锁紧套环和下锁紧套环上；所述锁紧装置包括承接块、旋转杆、锁紧板、螺杆、螺纹套环、衔接板、支撑板和立柱，所述立柱环绕设于上锁紧套环顶部，所述支撑板套接于立柱上端，所述衔接板铰接设于支撑板侧面上，所述锁紧板设于衔接板下，所述承接块设于下罐体侧面上端，所述锁紧板远离衔接板的一端插入承接块设置，所述螺纹套环设于下锁紧套环下，所述螺杆转动贯穿锁紧板设置，所述旋转杆固定设于螺杆下，所述螺杆顶部与螺纹套环通过螺纹啮合设置，通过旋转杆转动，控制螺杆与螺纹套环固定，实现上锁紧套环和下锁紧套环的固定锁紧，进而实现上罐体和下罐体的拆卸，简化更换催化剂的流程，提高更换效率，方便工作人员操作。

优选地，所述固定套板顶部设有辅助套板，所述辅助套板下环绕设有辅助套环，所述辅助套环套接于支撑腿上。

其中，所述支撑腿下设有垫层。

优选地，所述支撑板顶部设有肋板，所述肋板设于支撑板和立柱外侧面上。

为了方便控制旋转杆转动，所述旋转杆上套接设有包裹套层。

为了方便上罐体移动，方便更换催化剂，所述进气管为伸缩螺纹管结构设置。

本实用新型采取上述结构取得有益效果如下：本实用新型提供的一种移动式气体纯化装置操作简单，机构紧凑，设计合理，通过旋转杆转动，控制螺杆与螺纹套环固定，实现上锁紧套环和下锁紧套环的固定锁紧，进而实现上罐体和下罐体的拆卸，简化更换催化剂的流程，提高更换效率，方便工作人员操作。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种移动式气体纯化装置的整体结构图；

图2为图1中A处局部放大图。

其中，1、进气管，2、上罐体，3、下罐体，4、固定套板，5、排气管，6、支撑腿，7、锁紧装置，8、上锁紧套环，9、下锁紧套环，10、承接块，11、旋转杆，12、锁紧板，13、螺杆，14、螺纹套环，15、衔接板，16、支撑板，17、立柱，18、辅助套板，19、垫层，20、肋板，21、包裹套层，22、辅助套环。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。以下结合附图，对本实用新型做进一步详细说明。

如图1-2所述，本实用新型提出的一种移动式气体纯化装置，包括进气管1、上罐体2、下罐体3、固定套板4、排气管5、支撑腿6、锁紧装置7、上锁紧套环8和下锁紧套环9，所述排气管5设于下罐体3下，所述固定套板4套接于下罐体3下端，所述支撑腿6环绕设于固定套板4外侧面上，所述上罐体2拆卸设于下罐体3顶部，所述进气管1设于上罐体2顶部，所述上锁紧套环8套接于上罐体2下端开口处，所述下锁紧套环9套接于下罐体3上端开口处，所述锁紧装置7套接设于上锁紧套环8和下锁紧套环9上；所述锁紧装置7包括承接块10、旋转杆11、锁紧板12、螺杆13、螺纹套环14、衔接板15、支撑板16和立柱17，所述立柱17环绕设于上锁紧套环8顶部，所述支撑板16套接于立柱17上端，所述衔接板15铰接设于支撑板16侧面上，所述锁紧板12设于衔接板15下，所述承接块10设于下罐体3侧面上端，所述锁紧板12远离衔接板15的一端插入承接块10设置，所述螺纹套环14设于下锁紧套环9下，所述螺杆13转动贯穿锁紧板12设置，所述旋转杆11固定设于螺杆13下，所述螺杆13顶部与螺纹套环14通过螺纹啮合设置。

如图1所述，所述固定套板4顶部设有辅助套板18，所述辅助套板18下环绕设有辅助套环22，所述辅助套环22套接于支撑腿6上。

如图1所述，所述支撑腿6下设有垫层19。

如图2所述，所述支撑板16顶部设有肋板20，所述肋板20设于支撑板16和立柱17外侧面上。

如图2所述，所述旋转杆11上套接设有包裹套层21。

如图1所述，所述进气管1为伸缩螺纹管结构设置

具体使用时，拆卸时，控制旋转杆11转动，使螺杆13向下移动，直到螺杆13与螺纹套环14没有接触位置，然后转动衔接板15，使锁紧板12远离承接块10，完成上锁紧套环8和下锁紧套环9的分离，然后取下上罐体2，更换催化剂，完成催化剂更换。

以上对本实用新型及其实施方式进行了描述，这种描述没有限制性，附图中所示的也只是本实用新型的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本实用新型创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种移动式气体纯化装置，其特征在于：包括进气管、上罐体、下罐体、固定套板、排气管、支撑腿、锁紧装置、上锁紧套环和下锁紧套环，所述排气管设于下罐体下，所述固定套板套接于下罐体下端，所述支撑腿环绕设于固定套板外侧面上，所述上罐体拆卸设于下罐体顶部，所述进气管设于上罐体顶部，所述上锁紧套环套接于上罐体下端开口处，所述下锁紧套环套接于下罐体上端开口处，所述锁紧装置套接设于上锁紧套环和下锁紧套环上；所述锁紧装置包括承接块、旋转杆、锁紧板、螺杆、螺纹套环、衔接板、支撑板和立柱，所述立柱环绕设于上锁紧套环顶部，所述支撑板套接于立柱上端，所述衔接板铰接设于支撑板侧面上，所述锁紧板设于衔接板下，所述承接块设于下罐体侧面上端，所述锁紧板远离衔接板的一端插入承接块设置，所述螺纹套环设于下锁紧套环下，所述螺杆转动贯穿锁紧板设置，所述旋转杆固定设于螺杆下，所述螺杆顶部与螺纹套环通过螺纹啮合设置。

2.根据权利要求1所述的一种移动式气体纯化装置，其特征在于：所述固定套板顶部设有辅助套板，所述辅助套板下环绕设有辅助套环，所述辅助套环套接于支撑腿上。

3.根据权利要求2所述的一种移动式气体纯化装置，其特征在于：所述支撑腿下设有垫层。

4.根据权利要求3所述的一种移动式气体纯化装置，其特征在于：所述支撑板顶部设有肋板，所述肋板设于支撑板和立柱外侧面上。

5.根据权利要求4所述的一种移动式气体纯化装置，其特征在于：所述旋转杆上套接设有包裹套层。

6.根据权利要求5所述的一种移动式气体纯化装置，其特征在于：所述进气管为伸缩螺纹管结构设置。

Images