CN209658149U - 一种半导体工艺设备上的带原点复位传动系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种半导体工艺设备上的带原点复位传动系统，包括夹持座、夹板、送料杆、反应室以及丝杠，所述夹板通过螺栓安装在夹持座上端面，所述夹板与夹持座之间安装两组送料杆，所述送料杆左端延伸至反应室内，所述丝杠左端安装支板一，且丝杠右端安装支板二，所述支板二左端面后侧安装进料限位传感器，且支板二左端面前侧安装原点限位传感器，所述支板一右端面前侧开设通孔，所述通孔内安插螺纹杆，所述螺纹杆右端固定载板，所述载板右端面安装退料限位传感器，所述螺纹杆上啮合螺母一和螺母二，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：提高传动位置的精准度，无须人工调节寻找原点，同时扩大丝杠的长度选型范围。
Description
技术领域
本实用新型是一种半导体工艺设备上的带原点复位传动系统，属于半导体工艺设备领域。
背景技术
LPCVD（低压化学气相沉积）系统用于集成电路、分立器件等不同尺寸晶圆的薄膜沉积及掺杂等工艺。目前，国内厂家生产的同类产品中，传动系统是通过伺服系统发送的脉冲数进行位置移动，伺服脉冲产生丢步或机械结构传动误差，传动系统的原点位置就会产生偏差。另外，一旦机械结构故障或者中途断电，就需要重新手动寻找和设定原点位置。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种半导体工艺设备上的带原点复位传动系统，以解决上述背景技术中提出通过伺服系统发送的脉冲数进行位置移动，伺服脉冲产生丢步或机械结构传动误差，传动系统的原点位置就会产生偏差，另外，一旦机械结构故障或者中途断电，就需要重新手动寻找和设定原点位置的问题，本实用新型提高传动位置的精准度，无须人工调节寻找原点。
为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种半导体工艺设备上的带原点复位传动系统，包括夹持座、夹板、送料杆、反应室以及丝杠，所述夹板通过螺栓安装在夹持座上端面，所述夹板与夹持座之间安装两组送料杆，所述送料杆左端延伸至反应室内，所述丝杠上套设滚珠螺母副，所述滚珠螺母副与夹持座固定连接，所述丝杠左端安装支板一，且丝杠右端安装支板二，所述支板二右端面安装伺服电机，所述丝杠右端与伺服电机输出端固定连接，所述支板二左端面后侧安装进料限位传感器，且支板二左端面前侧安装原点限位传感器，所述支板一右端面前侧开设通孔，所述通孔内安插螺纹杆，所述螺纹杆右端固定载板，所述载板右端面安装退料限位传感器，所述螺纹杆上啮合螺母一和螺母二，所述螺母一设置在支板一左侧，所述螺母二设置在支板一右侧，所述支板一和支板二之间安装导向杆。
进一步地，所述夹持座后端安装导向筒，所述导向筒套设在导向杆上。
进一步地，所述丝杠左端外表面套设滚动轴承，所述滚动轴承固定在支板一右端面。
进一步地，所述伺服电机通过导线连接伺服驱动器，所述伺服驱动器输入端通过导线连接PLC输出端。
进一步地，所述支板一下端安装固定耳一，所述支板二下端安装固定耳二。
本实用新型的有益效果：本实用新型在送料之前，通过夹持座碰触原点限位传感器，定义送料在原点位置，退料时，利用PLC控制伺服电机带动丝杠转动设定的位移值，当夹持座碰触原点限位传感器时，送料杆停止位移，通过PLC会自动寻找原点，送料流程再次开始时从原点出发位移设定的位移值，进而保证每次的传动位置的精准度，提高设备运行可靠性，通过调整螺纹杆在通孔内的位置并利用螺母一和螺母二固定，便于根据丝杠的长度调整退料限位传感器的安装位置，便于匹配反应室的安装位置，扩大丝杠的长度选型范围。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1为本实用新型一种半导体工艺设备上的带原点复位传动系统的结构示意图；
图2为本实用新型一种半导体工艺设备上的带原点复位传动系统中A处放大图；
图3为本实用新型一种半导体工艺设备上的带原点复位传动系统中支板一的剖面图；
图4为本实用新型一种半导体工艺设备上的带原点复位传动系统的控制原理框图；
图中：1-夹持座、2-夹板、3-送料杆、4-反应室、5-支板一、6-丝杠、7-滚珠螺母副、8-导向杆、9-进料限位传感器、10-支板二、11-伺服电机、12-原点限位传感器、13-通孔、14-螺纹杆、15-螺母一、16-螺母二、17-载板、18-退料限位传感器。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
请参阅图1至图4，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体工艺设备上的带原点复位传动系统，包括夹持座1、夹板2、送料杆3、反应室4以及丝杠6，夹板2通过螺栓安装在夹持座1上端面，夹板2与夹持座1之间安装两组送料杆3，送料杆3左端延伸至反应室4内，丝杠6上套设滚珠螺母副7，滚珠螺母副7与夹持座1固定连接，丝杠6左端安装支板一5，且丝杠6右端安装支板二10，支板二10右端面安装伺服电机11，丝杠6右端与伺服电机11输出端固定连接，支板二10左端面后侧安装进料限位传感器9，且支板二10左端面前侧安装原点限位传感器12，在送料之前，通过夹持座1碰触原点限位传感器12，定义送料在原点位置，退料时，利用PLC控制伺服电机11带动丝杠6转动设定的位移值，当夹持座1碰触原点限位传感器12时，送料杆3停止位移，通过PLC会自动寻找原点，送料流程再次开始时从原点出发位移设定的位移值，进而保证每次的传动位置的精准度，提高设备运行可靠性，支板一5右端面前侧开设通孔13，通孔13内安插螺纹杆14，螺纹杆14右端固定载板17，载板17右端面安装退料限位传感器18，螺纹杆14上啮合螺母一15和螺母二16，螺母一15设置在支板一5左侧，螺母二16设置在支板一5右侧，支板一5和支板二10之间安装导向杆8，调整螺纹杆14在通孔13内的位置并利用螺母一15和螺母二16固定，便于根据丝杠6的长度调整退料限位传感器18的安装位置，便于匹配反应室4的安装位置，扩大丝杠6的长度选型范围。
作为本实用新型的一个实施例：夹持座1后端安装导向筒，导向筒套设在导向杆8上，伺服电机11驱动丝杠6旋转时，滚珠螺母副7将丝杠6的旋转运动转换成直线运动，并带动夹持座1移动，进而夹持座1带动导向筒沿着导向杆8滑动，进而提高运动的稳定性。
作为本实用新型的一个实施例：丝杠6左端外表面套设滚动轴承，滚动轴承固定在支板一5右端面，滚动轴承的设计便于丝杠6与支板一5的活动连接。
作为本实用新型的一个实施例：伺服电机11通过导线连接伺服驱动器，伺服驱动器输入端通过导线连接PLC输出端，PLC通过控制伺服驱动器控制伺服电机11的正反转和停止。
作为本实用新型的一个实施例：支板一5下端安装固定耳一，支板二10下端安装固定耳二，将固定耳一和固定耳二安装在所需位置处，完成支板一5和支板二10位置的安装。
以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
Claims (5)
1.一种半导体工艺设备上的带原点复位传动系统，包括夹持座、夹板、送料杆、反应室以及丝杠，其特征在于：所述夹板通过螺栓安装在夹持座上端面，所述夹板与夹持座之间安装两组送料杆，所述送料杆左端延伸至反应室内，所述丝杠上套设滚珠螺母副，所述滚珠螺母副与夹持座固定连接，所述丝杠左端安装支板一，且丝杠右端安装支板二，所述支板二右端面安装伺服电机，所述丝杠右端与伺服电机输出端固定连接，所述支板二左端面后侧安装进料限位传感器，且支板二左端面前侧安装原点限位传感器，所述支板一右端面前侧开设通孔，所述通孔内安插螺纹杆，所述螺纹杆右端固定载板，所述载板右端面安装退料限位传感器，所述螺纹杆上啮合螺母一和螺母二，所述螺母一设置在支板一左侧，所述螺母二设置在支板一右侧，所述支板一和支板二之间安装导向杆。
2.根据权利要求1所述的一种半导体工艺设备上的带原点复位传动系统，其特征在于：所述夹持座后端安装导向筒，所述导向筒套设在导向杆上。
3.根据权利要求1所述的一种半导体工艺设备上的带原点复位传动系统，其特征在于：所述丝杠左端外表面套设滚动轴承，所述滚动轴承固定在支板一右端面。
4.根据权利要求1所述的一种半导体工艺设备上的带原点复位传动系统，其特征在于：所述伺服电机通过导线连接伺服驱动器，所述伺服驱动器输入端通过导线连接PLC输出端。
5.根据权利要求1所述的一种半导体工艺设备上的带原点复位传动系统，其特征在于：所述支板一下端安装固定耳一，所述支板二下端安装固定耳二。
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