CN209649183U - 一种单晶硅棒切割装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及晶圆加工设备附属装置的技术领域，特别是涉及一种单晶硅棒切割装置，其可以通过调节单晶硅棒每一次切割完毕之后的移动距离，从而能够保证每一次切割的单晶硅片厚度一致；并且可以限制内圆切割片的移动轨迹，从而保证单晶硅片的厚度均匀；包括操作台、单晶硅棒、电动机、内圆切割片和切割片支架，切割片支架的设置有四组爪杆；还包括滑轨、四组限位轮、四组支撑杆、移动板，滑轨设置有两组滑动槽，移动板设置有伸缩杆、联动杆、调节把和固定杆，还包括限位器，限位器包括支座、摇杆、转动轴和挡板；还包括两组架杆、两组圆形轨、两组限位轮、动力轴、从动转轴、支撑转轴、动力转轴和皮带，电动机的底端设置有稳定板。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆加工设备附属装置的技术领域，特别是涉及一种单晶硅棒切割装置。
背景技术
众所周知，单晶硅棒切割装置是一种在生产晶圆的过程中，用于切割单晶硅棒的装置，其在晶圆加工设备的领域中得到了广泛的使用；现有的单晶硅棒切割装置包括操作台、单晶硅棒、两组弹簧固定卡、电动机、内圆切割片和切割片支架，所述两个组弹簧固定卡的底端均与操作台的顶端连接，两组弹簧固定卡的顶端均与单晶硅棒固定卡装，所述电动机的输出端与切割片支架的固定端连接，所述切割片支架的设置有四组爪杆，所述切割片支架的四组爪杆的工作端分别与内圆切割片的内侧壁边缘螺接；现有的单晶硅棒切割装置使用时，首先将单晶硅棒在操作台的两组弹簧固定卡上固定好，然后工作人员将内圆切割片安装在电动机输出端的切割片支架上，最后工作人员操作电动机带动内圆切割片对单晶硅棒切割即可；现有的单晶硅棒切割装置使用中发现，首先电动机带动内圆切割片对单晶硅棒切割的时候，无法保证从单晶硅棒上切下来的单晶硅片的厚度是一致的，从而导致局限性较高；并且工作人员手动操作电动机带动内圆切割片对单晶硅棒切割，由于人为因素的存在无法保证单晶硅片的厚度均匀，从而导致实用性较差。
实用新型内容
为解决上述技术问题，本实用新型提供一种可以通过调节单晶硅棒每一次切割完毕之后的移动距离，从而能够保证每一次切割的单晶硅片厚度一致，降低使用局限性；并且可以限制内圆切割片的移动轨迹，从而保证单晶硅片的厚度均匀，增强实用性的单晶硅棒切割装置。
本实用新型的一种单晶硅棒切割装置，包括操作台、单晶硅棒、电动机、内圆切割片和切割片支架，所述切割片支架的设置有四组爪杆，所述切割片支架的四组爪杆的工作端分别与内圆切割片的内侧壁边缘螺接；还包括滑轨、四组限位轮、四组支撑杆、移动板，所述滑轨的固定端与操作台的顶端左侧连接，所述滑轨设置有两组滑动槽，所述四组限位轮包括两组前轮和两组后轮，所述四组支撑杆包括两组前支撑杆和两组后支撑杆，所述两组前轮分别与两组前支撑杆的底端转动连接，所述两组后轮分别与两组后支撑杆转动连接，所述两组前轮和两组后轮分别转动卡装在滑轨的两组滑动槽内，所述两组前支撑杆的底端与移动板的底端前侧连接，所述两组后支撑杆的底端与移动板的底端后侧连接，移动板设置有伸缩杆、联动杆、调节把和固定杆，所述移动板的内部设置有伸缩腔，所述伸缩腔的底端右侧设置有限位滑口，伸缩腔的前侧壁的左侧设置有调节滑口，所述固定杆的右端与伸缩腔的右侧壁底端连接，所述固定杆的左端与伸缩杆的右下侧活动铆接，所述伸缩杆的底端设置有多组档位杆，所述多组档位杆的底端均自伸缩腔内部穿过限位滑口并伸出至伸缩腔的底侧，所述伸缩杆的左端与联动杆的右端活动铆接，联动杆的左端设置有连接轴，所述调节把的外侧壁中部设置有拉动口，所述联动杆的连接轴的活动端自伸缩腔内部穿过调节滑口并且伸出至伸缩腔外侧，同时连接轴的活动端继续自调节把的内侧穿过拉动口并且伸出到调节把的前侧，所述调节把与联动杆的连接轴通过拉动口活动铆接，还包括限位器，所述限位器包括支座、摇杆、转动轴和挡板，所述支座的底端与滑轨的顶端右侧连接，所述支座的左端和右端连通设置有连通孔，所述转动轴的左端自支座的右端穿过连通孔并伸出至支座的左端，所述转动轴的右端与摇杆的固定端连接，所述转动轴的左端与挡板的固定端连接；还包括两组架杆、两组圆形轨、两组限位轮、动力轴、从动转轴、支撑转轴、动力转轴和皮带，所述电动机的底端设置有稳定板，所述稳定板的左端与操作台的右侧壁底端连接，所述电动机的输出端与动力转轴固定套装，所述支撑转轴的左端转动设置有挑杆，所述挑杆的左端与操作台的右侧壁连接，所述从动转轴、支撑转轴和动力转轴分别与皮带转动套装，所述从动转轴的左端中心区域与动力轴的右端连接，所述转动轴分别与两组限位轮转动套装，所述两组架杆的底端均与操作台的顶端右侧连接，所述两组架杆的顶端分别与两组圆形轨的底端连接，所述两组圆形轨均设置有限位轨道，所述两组限位轮分别转动卡装在两组限位轨道上，并且两组限位轮均设置有两组卡装片，所述两组限位轮均通过两组卡装片分别与两组圆形轨的左侧壁和右侧壁紧贴，动力轴的左端与切割片支架的固定端连接。
本实用新型的一种单晶硅棒切割装置，还包括挤压转轴、摆动杆、强力扭簧和侧位杆，所述侧位杆的左端与操作台的右侧壁上侧连接，侧位杆的右端与摆动杆的底端活动铆接，所述侧位杆的顶端中部设置有插入槽，所述插入槽顶端设置有插入口，所述摆动杆的左侧壁设置有拉伸槽，所述拉伸槽的左侧设置有拉伸口，所述强力扭簧的固定端自插入槽外侧穿过插入口并且伸入到插入槽内部，强力扭簧的转动端自拉伸槽的外侧穿过拉伸口并且伸入到拉伸槽内部，所述摆动杆的右侧壁顶端设置有连接杆，摆动杆通过连接杆的右端与挤压转轴转动连接，所述挤压转轴的圆周壁与皮带的外侧壁紧贴。
本实用新型的一种单晶硅棒切割装置，还包括两组压板、两组托板、两组支持杆、四组长杆螺丝和四组双耳螺母，所述两组支持杆的底端分别与移动板的顶端的左侧和右侧连接，所述两组支持杆的顶端分别与两组托板的底端连接，两组托板的前侧和后侧的顶端中部和底端中部均连通设置有螺纹孔，以及两组压板的前侧和后侧的顶端中部和底端中部均设置有螺纹孔，所述四组长杆螺丝分别自两组托板下侧螺接穿过两组托板的四组螺纹孔并且伸出至两组托板的上册，然后四组长杆螺丝分别自两组压板的下侧螺接穿过两组压板的四组螺纹孔并伸出至两组压板的上侧，所述四组双耳螺母的螺纹端分别与四组长杆螺丝螺接，所述两组压板内侧底端均设置有防滑皮垫。
本实用新型的一种单晶硅棒切割装置，还包括活动环和操作杆，所述活动环与动力轴转动套装，并且活动环位于两组圆形轨之间，所述活动环的顶端与操作杆的底端连接。
本实用新型的一种单晶硅棒切割装置，还包括单头螺丝，所述调节把的前侧壁上侧和后侧壁上侧连通设置有螺纹孔，所述单头螺丝自调节把的前侧螺接穿过螺纹孔并且伸入到调节把的后侧，所述调节把的螺纹端与移动板的前侧壁左侧紧贴。
本实用新型的一种单晶硅棒切割装置，还包括圆柱透明保护板，所述圆柱透明保护板的顶端外侧壁、顶端外侧壁、前端外侧壁和后端外侧壁分别与切割片支架的四组爪杆内侧壁连接。
本实用新型的一种单晶硅棒切割装置，还包括推动把手，所述推动把手的固定端与移动板左端外侧壁连接。
本实用新型的一种单晶硅棒切割装置，还包括弯曲支杆、压缩弹簧和侧滑杆，所述弯曲支杆的内部设置有压缩腔，所述压缩腔的顶端设置有卡位口，所述侧滑杆的顶端与摇杆的前侧壁连接，所述侧滑杆的底端设置有限位片，所述侧滑杆的底端自压缩腔的外侧穿过卡位口并且伸入到压缩腔内，所述侧滑杆的底端通过限位片与压缩腔的顶端活动卡装，所述压缩弹簧的底端与压缩腔的底端连接，所述压缩弹簧的顶端与侧滑杆的限位片的底端紧贴。
与现有技术相比本实用新型的有益效果为：首先根据单晶硅片的厚度需求调节把，调节把带动联动杆对伸缩杆的左端施加拉力，因为伸缩杆包括的所有连接杆均为活动铆接且为平行四边形结构，所以移动伸缩杆的左端会使多组档位杆同时移动并且多组档位杆之间的间距同步调节大小，调节完毕调节把之后旋紧单头螺丝对调节把限位，然后推动移动板使档位杆与挡板接触，加工完毕一组单晶硅片之后，转动摇杆使挡板不再对档位杆限位，从而推动移动板，然后转动摇杆使挡板对下一组档位杆限位，继续加工单晶硅片，重复此种操作可以保证每次切割的单晶硅片厚度一致，从而降低了使用局限性；并且电动机通过皮带带动动力轴转动，动力轴带动内圆切割片转动，此时内圆切割片与单晶硅棒不接触，然后通过提升操作杆使内圆切割片开始切割单晶硅棒底侧，继续操作杆带动动力轴通过两组限位轮在两组圆形轨的限位轨道内移动，这个过程中由于限位轮和限位轨道紧密转动卡装，从而保证了动力轴带动内院切割片未发生任何晃动，因此保证了单晶硅片的厚度均匀，增强了实用性。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是本实用新型的长杆螺丝和双耳螺母的连接结构示意图；
图3是本实用新型的移动板和滑轨的连接结构示意图；
图4是本实用新型的圆形轨和限位轮的连接结构示意图；
图5是本实用新型的从动转轴和动力转轴的连接结构示意图；
图6是本实用新型的移动板和多组档位杆的连接结构示意图；
图7是本实用新型的A的局部放大结构示意图；
附图中标记：1、操作台；2、单晶硅棒；3、电动机；4、内圆切割片；5、切割片支架；6、滑轨；7、四组限位轮；8、四组支撑杆； 9、移动板；10、伸缩杆；11、联动杆；12、调节把；13、固定杆； 14、支座；15、摇杆；16、转动轴；17、挡板；18、两组架杆；19、两组圆形轨；20、两组限位轮；21、动力轴；22、从动转轴；23、支撑转轴；24、动力转轴；25、皮带；26、挤压转轴；27、摆动杆；28、强力扭簧；29、侧位杆；30、两组压板；31、两组托板；32、两组支持杆；33、四组长杆螺丝；34、四组双耳螺母；35、活动环；36、操作杆；37、单头螺丝；38、圆柱透明保护板；39、推动把手；40、弯曲支杆；41、压缩弹簧；42、侧滑杆。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
如图1至图7所示，本实用新型的一种单晶硅棒切割装置，包括操作台1、单晶硅棒2、电动机3、内圆切割片4和切割片支架5，切割片支架的设置有四组爪杆，切割片支架的四组爪杆的工作端分别与内圆切割片的内侧壁边缘螺接；还包括滑轨6、四组限位轮7、四组支撑杆8、移动板9，滑轨的固定端与操作台的顶端左侧连接，滑轨设置有两组滑动槽，四组限位轮包括两组前轮和两组后轮，四组支撑杆包括两组前支撑杆和两组后支撑杆，两组前轮分别与两组前支撑杆的底端转动连接，两组后轮分别与两组后支撑杆转动连接，两组前轮和两组后轮分别转动卡装在滑轨的两组滑动槽内，两组前支撑杆的底端与移动板的底端前侧连接，两组后支撑杆的底端与移动板的底端后侧连接，移动板设置有伸缩杆10、联动杆11、调节把12和固定杆 13，移动板的内部设置有伸缩腔，伸缩腔的底端右侧设置有限位滑口，伸缩腔的前侧壁的左侧设置有调节滑口，固定杆的右端与伸缩腔的右侧壁底端连接，固定杆的左端与伸缩杆的右下侧活动铆接，伸缩杆的底端设置有多组档位杆，多组档位杆的底端均自伸缩腔内部穿过限位滑口并伸出至伸缩腔的底侧，伸缩杆的左端与联动杆的右端活动铆接，联动杆的左端设置有连接轴，调节把的外侧壁中部设置有拉动口，联动杆的连接轴的活动端自伸缩腔内部穿过调节滑口并且伸出至伸缩腔外侧，同时连接轴的活动端继续自调节把的内侧穿过拉动口并且伸出到调节把的前侧，调节把与联动杆的连接轴通过拉动口活动铆接，还包括限位器，限位器包括支座14、摇杆15、转动轴16和挡板17，支座的底端与滑轨的顶端右侧连接，支座的左端和右端连通设置有连通孔，转动轴的左端自支座的右端穿过连通孔并伸出至支座的左端，转动轴的右端与摇杆的固定端连接，转动轴的左端与挡板的固定端连接；还包括两组架杆18、两组圆形轨19、两组限位轮20、动力轴21、从动转轴22、支撑转轴23、动力转轴24和皮带25，电动机的底端设置有稳定板，稳定板的左端与操作台的右侧壁底端连接，电动机的输出端与动力转轴固定套装，支撑转轴的左端转动设置有挑杆，挑杆的左端与操作台的右侧壁连接，从动转轴、支撑转轴和动力转轴分别与皮带转动套装，从动转轴的左端中心区域与动力轴的右端连接，转动轴分别与两组限位轮转动套装，两组架杆的底端均与操作台的顶端右侧连接，两组架杆的顶端分别与两组圆形轨的底端连接，两组圆形轨均设置有限位轨道，两组限位轮分别转动卡装在两组限位轨道上，并且两组限位轮均设置有两组卡装片，两组限位轮均通过两组卡装片分别与两组圆形轨的左侧壁和右侧壁紧贴，动力轴的左端与切割片支架的固定端连接；首先根据单晶硅片的厚度需求调节把，调节把带动联动杆对伸缩杆的左端施加拉力，因为伸缩杆包括的所有连接杆均为活动铆接且为平行四边形结构，所以移动伸缩杆的左端会使多组档位杆同时移动并且多组档位杆之间的间距同步调节大小，调节完毕调节把之后旋紧单头螺丝对调节把限位，然后推动移动板使档位杆与挡板接触，加工完毕一组单晶硅片之后，转动摇杆使挡板不再对档位杆限位，从而推动移动板，然后转动摇杆使挡板对下一组档位杆限位，继续加工单晶硅片，重复此种操作可以保证每次切割的单晶硅片厚度一致，从而降低了使用局限性；并且电动机通过皮带带动动力轴转动，动力轴带动内圆切割片转动，此时内圆切割片与单晶硅棒不接触，然后通过提升操作杆使内圆切割片开始切割单晶硅棒底侧，继续操作杆带动动力轴通过两组限位轮在两组圆形轨的限位轨道内移动，这个过程中由于限位轮和限位轨道紧密转动卡装，从而保证了动力轴带动内院切割片未发生任何晃动，因此保证了单晶硅片的厚度均匀，增强了实用性。
本实用新型的一种单晶硅棒切割装置，还包括挤压转轴26、摆动杆27、强力扭簧28和侧位杆29，侧位杆的左端与操作台的右侧壁上侧连接，侧位杆的右端与摆动杆的底端活动铆接，侧位杆的顶端中部设置有插入槽，插入槽顶端设置有插入口，摆动杆的左侧壁设置有拉伸槽，拉伸槽的左侧设置有拉伸口，强力扭簧的固定端自插入槽外侧穿过插入口并且伸入到插入槽内部，强力扭簧的转动端自拉伸槽的外侧穿过拉伸口并且伸入到拉伸槽内部，摆动杆的右侧壁顶端设置有连接杆，摆动杆通过连接杆的右端与挤压转轴转动连接，挤压转轴的圆周壁与皮带的外侧壁紧贴；在内圆切割片切割单晶硅棒运动的过程中，强力弹簧一直对摆动杆产生一个向下的推力，此时摆动杆带动挤压转轴也会一直紧贴皮带使皮带一直处于绷紧的状态，从而保证了从动转轴移动的过程中一直与皮带紧贴，从而增加了实用性。
本实用新型的一种单晶硅棒切割装置，还包括两组压板30、两组托板31、两组支持杆32、四组长杆螺丝33和四组双耳螺母34，两组支持杆的底端分别与移动板的顶端的左侧和右侧连接，两组支持杆的顶端分别与两组托板的底端连接，两组托板的前侧和后侧的顶端中部和底端中部均连通设置有螺纹孔，以及两组压板的前侧和后侧的顶端中部和底端中部均设置有螺纹孔，四组长杆螺丝分别自两组托板下侧螺接穿过两组托板的四组螺纹孔并且伸出至两组托板的上册，然后四组长杆螺丝分别自两组压板的下侧螺接穿过两组压板的四组螺纹孔并伸出至两组压板的上侧，四组双耳螺母的螺纹端分别与四组长杆螺丝螺接，两组压板内侧底端均设置有防滑皮垫；首先将四组双耳螺母分别从四组长杆螺丝上旋松，使双耳螺母不在紧贴在压板上，然后将单晶硅棒穿过两组压板和两组托板，调节好了单晶硅棒的位置之后，通过将四组双耳螺母分别从四组长杆螺丝上旋紧，从而使两组压板和两组托板分别与单晶硅棒的顶端和底端紧贴，增加了可靠性。
本实用新型的一种单晶硅棒切割装置，还包括活动环35和操作杆36，活动环与动力轴转动套装，并且活动环位于两组圆形轨之间，活动环的顶端与操作杆的底端连接；通过握住操作杆可以使内圆切割片的移动更加便利，从而增加了便捷性。
本实用新型的一种单晶硅棒切割装置，还包括单头螺丝37，调节把的前侧壁上侧和后侧壁上侧连通设置有螺纹孔，单头螺丝自调节把的前侧螺接穿过螺纹孔并且伸入到调节把的后侧，调节把的螺纹端与移动板的前侧壁左侧紧贴；调节完毕调节把之后通过旋紧单头螺丝使单头螺丝的螺纹端与移动板的前侧壁挤压接触，从而可以使单头螺丝对调节把限位，保证了多组档位板不会发生位移，增加了实用性。
本实用新型的一种单晶硅棒切割装置，还包括圆柱透明保护板 38，圆柱透明保护板的顶端外侧壁、顶端外侧壁、前端外侧壁和后端外侧壁分别与切割片支架的四组爪杆内侧壁连接；当单晶硅片从单晶硅棒上切割下来之后可以通过圆柱透明保护板将单晶硅片拖住，从而减少了单晶硅片的损坏，增加了安全性。
本实用新型的一种单晶硅棒切割装置，还包括推动把手39，推动把手的固定端与移动板左端外侧壁连接；通过推动把手可以更加便利的推动移动板，从而增加了便捷性。
本实用新型的一种单晶硅棒切割装置，还包括弯曲支杆40、压缩弹簧41和侧滑杆42，弯曲支杆的内部设置有压缩腔，压缩腔的顶端设置有卡位口，侧滑杆的底端设置有限位片，侧滑杆的顶端与摇杆的前侧壁连接，侧滑杆的底端自压缩腔的外侧穿过卡位口并且伸入到压缩腔内，侧滑杆的底端通过限位片与压缩腔的顶端活动卡装，压缩弹簧的底端与压缩腔的底端连接，压缩弹簧的顶端与侧滑杆的限位片的底端紧贴；侧滑杆的顶端连接着摇杆，当推动移动板的时候，转动摇杆使摇杆压缩侧滑杆伸入到弯曲支杆的压缩腔，当调节完了移动板的位置后，此时松开摇杆，侧滑杆在压缩弹簧的推动下使摇杆复位，从而摇杆继续对移动板限位，增加了实用性。
本实用新型的一种单晶硅棒切割装置，其在工作时，首先将单晶硅棒在操作台上固定好，然后工作人员将内圆切割片安装在电动机输出端的切割片支架上，最后工作人员操作电动机带动内圆切割片对单晶硅棒切割即可；在完成上述动作之前，首先根据单晶硅片的厚度需求调节把，调节把带动联动杆对伸缩杆的左端施加拉力，因为伸缩杆包括的所有连接杆均为活动铆接且为平行四边形结构，所以移动伸缩杆的左端会使多组档位杆同时移动并且多组档位杆之间的间距同步调节大小，调节完毕调节把之后旋紧单头螺丝对调节把限位，然后推动移动板使档位杆与挡板接触，加工完毕一组单晶硅片之后，转动摇杆使挡板不再对档位杆限位，从而推动移动板，然后转动摇杆使挡板对下一组档位杆限位，继续加工单晶硅片；并且电动机通过皮带带动动力轴转动，动力轴带动内圆切割片转动，此时内圆切割片与单晶硅棒不接触，然后通过提升操作杆使内圆切割片开始切割单晶硅棒底侧，继续操作杆带动动力轴通过两组限位轮在两组圆形轨的限位轨道内移动，这个过程限位轮和限位轨道紧密转动卡装，这里的电动机是市场上购买，电动机的安装连线应该严格按照购买时所带的安装说明书进行。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (8)
1.一种单晶硅棒切割装置，包括操作台(1)、单晶硅棒(2)、电动机(3)、内圆切割片(4)和切割片支架(5)，所述切割片支架(5)的设置有四组爪杆，所述切割片支架(5)的四组爪杆的工作端分别与内圆切割片(4)的内侧壁边缘螺接；其特征在于，还包括滑轨(6)、四组限位轮(7)、四组支撑杆(8)、移动板(9)，所述滑轨(6)的固定端与操作台(1)的顶端左侧连接，所述滑轨(6)设置有两组滑动槽，所述四组限位轮(7)包括两组前轮和两组后轮，所述四组支撑杆(8)包括两组前支撑杆和两组后支撑杆，所述两组前轮分别与两组前支撑杆的底端转动连接，所述两组后轮分别与两组后支撑杆转动连接，所述两组前轮和两组后轮分别转动卡装在滑轨(6)的两组滑动槽内，所述两组前支撑杆的底端与移动板(9)的底端前侧连接，所述两组后支撑杆的底端与移动板(9)的底端后侧连接，移动板(9)设置有伸缩杆(10)、联动杆(11)、调节把(12)和固定杆(13)，所述移动板(9)的内部设置有伸缩腔，所述伸缩腔的底端右侧设置有限位滑口，伸缩腔的前侧壁的左侧设置有调节滑口，所述固定杆(13)的右端与伸缩腔的右侧壁底端连接，所述固定杆(13)的左端与伸缩杆(10)的右下侧活动铆接，所述伸缩杆(10)的底端设置有多组档位杆，所述多组档位杆的底端均自伸缩腔内部穿过限位滑口并伸出至伸缩腔的底侧，所述伸缩杆(10)的左端与联动杆(11)的右端活动铆接，联动杆(11)的左端设置有连接轴，所述调节把(12)的外侧壁中部设置有拉动口，所述联动杆(11)的连接轴的活动端自伸缩腔内部穿过调节滑口并且伸出至伸缩腔外侧，同时连接轴的活动端继续自调节把(12)的内侧穿过拉动口并且伸出到调节把(12)的前侧，所述调节把(12)与联动杆(11)的连接轴通过拉动口活动铆接，还包括限位器，所述限位器包括支座(14)、摇杆(15)、转动轴(16)和挡板(17)，所述支座(14)的底端与滑轨(6)的顶端右侧连接，所述支座(14)的左端和右端连通设置有连通孔，所述转动轴(16)的左端自支座(14)的右端穿过连通孔并伸出至支座(14)的左端，所述转动轴(16)的右端与摇杆(15)的固定端连接，所述转动轴(16)的左端与挡板(17)的固定端连接；还包括两组架杆(18)、两组圆形轨(19)、两组限位轮(20)、动力轴(21)、从动转轴(22)、支撑转轴(23)、动力转轴(24)和皮带(25)，所述电动机(3)的底端设置有稳定板，所述稳定板的左端与操作台(1)的右侧壁底端连接，所述电动机(3)的输出端与动力转轴(24)固定套装，所述支撑转轴(23)的左端转动设置有挑杆，所述挑杆的左端与操作台(1)的右侧壁连接，所述从动转轴(22)、支撑转轴(23)和动力转轴(24)分别与皮带(25)转动套装，所述从动转轴(22)的左端中心区域与动力轴(21)的右端连接，所述转动轴(16)分别与两组限位轮(20)转动套装，所述两组架杆(18)的底端均与操作台(1)的顶端右侧连接，所述两组架杆(18)的顶端分别与两组圆形轨(19)的底端连接，所述两组圆形轨(19)均设置有限位轨道，所述两组限位轮(20)分别转动卡装在两组限位轨道上，并且两组限位轮(20)均设置有两组卡装片，所述两组限位轮(20)均通过两组卡装片分别与两组圆形轨(19)的左侧壁和右侧壁紧贴，动力轴(21)的左端与切割片支架(5)的固定端连接。
2.如权利要求1所述的一种单晶硅棒切割装置，其特征在于，还包括挤压转轴(26)、摆动杆(27)、强力扭簧(28)和侧位杆(29)，所述侧位杆(29)的左端与操作台(1)的右侧壁上侧连接，侧位杆(29)的右端与摆动杆(27)的底端活动铆接，所述侧位杆(29)的顶端中部设置有插入槽，所述插入槽顶端设置有插入口，所述摆动杆(27)的左侧壁设置有拉伸槽，所述拉伸槽的左侧设置有拉伸口，所述强力扭簧(28)的固定端自插入槽外侧穿过插入口并且伸入到插入槽内部，强力扭簧(28)的转动端自拉伸槽的外侧穿过拉伸口并且伸入到拉伸槽内部，所述摆动杆(27)的右侧壁顶端设置有连接杆，摆动杆(27)通过连接杆的右端与挤压转轴(26)转动连接，所述挤压转轴(26)的圆周壁与皮带(25)的外侧壁紧贴。
3.如权利要求2所述的一种单晶硅棒切割装置，其特征在于，还包括两组压板(30)、两组托板(31)、两组支持杆(32)、四组长杆螺丝(33)和四组双耳螺母(34)，所述两组支持杆(32)的底端分别与移动板(9)的顶端的左侧和右侧连接，所述两组支持杆(32)的顶端分别与两组托板(31)的底端连接，两组托板(31)的前侧和后侧的顶端中部和底端中部均连通设置有螺纹孔，以及两组压板(30)的前侧和后侧的顶端中部和底端中部均设置有螺纹孔，所述四组长杆螺丝(33)分别自两组托板(31)下侧螺接穿过两组托板(31)的四组螺纹孔并且伸出至两组托板(31)的上册，然后四组长杆螺丝(33)分别自两组压板(30)的下侧螺接穿过两组压板(30)的四组螺纹孔并伸出至两组压板(30)的上侧，所述四组双耳螺母(34)的螺纹端分别与四组长杆螺丝(33)螺接，所述两组压板(30)内侧底端均设置有防滑皮垫。
4.如权利要求3所述的一种单晶硅棒切割装置，其特征在于，还包括活动环(35)和操作杆(36)，所述活动环(35)与动力轴(21)转动套装，并且活动环(35)位于两组圆形轨(19)之间，所述活动环(35)的顶端与操作杆(36)的底端连接。
5.如权利要求4所述的一种单晶硅棒切割装置，其特征在于，还包括单头螺丝(37)，所述调节把(12)的前侧壁上侧和后侧壁上侧连通设置有螺纹孔，所述单头螺丝(37)自调节把(12)的前侧螺接穿过螺纹孔并且伸入到调节把(12)的后侧，所述调节把(12)的螺纹端与移动板(9)的前侧壁左侧紧贴。
6.如权利要求5所述的一种单晶硅棒切割装置，其特征在于，还包括圆柱透明保护板(38)，所述圆柱透明保护板(38)的顶端外侧壁、顶端外侧壁、前端外侧壁和后端外侧壁分别与切割片支架(5)的四组爪杆内侧壁连接。
7.如权利要求6所述的一种单晶硅棒切割装置，其特征在于，还包括推动把手(39)，所述推动把手(39)的固定端与移动板(9)左端外侧壁连接。
8.如权利要求7所述的一种单晶硅棒切割装置，其特征在于，还包括弯曲支杆(40)、压缩弹簧(41)和侧滑杆(42)，所述弯曲支杆(40)的内部设置有压缩腔，所述侧滑杆(42)的顶端与摇杆的前侧壁连接，所述压缩腔的顶端设置有卡位口，所述侧滑杆(42)的底端设置有限位片，所述侧滑杆(42)的底端自压缩腔的外侧穿过卡位口并且伸入到压缩腔内，所述侧滑杆(42)的底端通过限位片与压缩腔的顶端活动卡装，所述压缩弹簧(41)的底端与压缩腔的底端连接，所述压缩弹簧(41)的顶端与侧滑杆(42)的限位片的底端紧贴。
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|---|---|---|---|---|
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