CN209649164U - 一种硅片加工用雕铣机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片加工用雕铣机，包括雕铣机上固定架，所述雕铣机上固定架的底部固定连接有底座，所述雕铣机上固定架的表面滑动连接有雕铣刀装置，所述底座的顶部固定安装有夹具，所述底座的两侧活动连接有收纳盒。本实用新型中，通过设置第一活动板、第二活动板、电机、圆盘、L型伸缩杆与清洁刷，使得按压第一活动板的一端，并将第二活动板向下倾斜，从而使得电机通电情况下带动圆盘、L型伸缩杆与清洁刷在夹具的表面旋转运动，并将大颗粒的浮灰与残渣扫入到收纳盒中，开启风机，使得雕铣机表面的细小浮灰与残渣被吸入集尘盒内，从而达到了清理了雕铣机表面的浮灰与残渣的效果。

Description

一种硅片加工用雕铣机

技术领域

本实用新型属于雕铣机技术领域，具体为一种硅片加工用雕铣机。

背景技术

雕铣机：顾名思义。就是可以雕、也可铣，雕刻机的基础上加大了主轴、伺服电机功率，床身承受力，同时保持主轴的高速，更重要的是精度很高。雕铣机还向高速发展，一般称为高速机，切削能力更强，加工精度非常高，还可以直接加工硬度在HRC60以上的材料，一次成型。雕铣机的适用范围比较广，其中在硅片加工环节中雕铣机也是非常重要的一个设备。微电子技术正在悄悄走进航空、航天、工业、农业和国防，也正在悄悄进入每一个家庭。小小硅片的巨大“魔力”是我们的前人根本无法想象的。

为了满足市场对于更低成本和更高生产力的要求，新一代线锯必须提升切割速度，使用更长的硅块从而提高切割荷载。更细的切割线和更薄的硅片都提升了生产力，同时，先进的工艺控制可以管理切割线拉力以此保持切割线的牢固性。半导体器件生产加工过程中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质。现有的雕铣机加工完毕后的残渣和浮灰没有得到有效的清理，从而污染新的待加工的硅片，造成材料浪费，降低了生产效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为了解决上述背景技术所提及的问题，提供一种硅片加工用雕铣机。

本实用新型采用的技术方案如下：一种硅片加工用雕铣机，包括雕铣机上固定架，所述雕铣机上固定架的底部固定连接有底座，所述雕铣机上固定架的表面滑动连接有雕铣刀装置，所述底座的顶部固定安装有夹具，所述底座的两侧活动连接有收纳盒，所述底座的正面活动安装有风机，所述风机的一侧活动连接有集尘盒，所述风机另一侧的表面开设有吸尘孔，所述雕铣机上固定架的底部固定安装有顶板，所述顶板的底部固定连接有T型连接杆，所述T型连接杆的外壁固定连接有第一活动板，所述第一活动板的一侧固定连接有第二活动板，所述第二活动板的表面开设有长条孔，所述长条孔的内壁活动连接有电机，所述电机的外壁转动连接有圆盘，所述圆盘的底部固定连接有L型伸缩杆，所述L型伸缩杆的一端固定连接有清洁刷。

其中，所述顶板的数量均为两个，且分别以雕铣机上固定架的中心线为对称轴垂直对称分布在雕铣机上固定架的两侧。

其中，所述清洁刷通过L型伸缩杆可以延伸至夹具的表面。

其中，所述T型连接杆贯穿第一活动板的轴心处并延伸至顶板的内壁。

其中，所述收纳盒为钢化玻璃材质制成。

其中，所述吸尘孔与夹具一端的顶部接触。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：本实用新型中，通过设置第一活动板、第二活动板、电机、圆盘、L型伸缩杆与清洁刷，使得在雕铣机加工硅片之前，通过按压第一活动板的一端，使得第二活动板向下倾斜，从而使得电机通电情况下带动圆盘、L型伸缩杆与清洁刷在夹具的表面旋转运动，并将大颗粒的浮灰与残渣扫入到收纳盒中，再开启风机，使得雕铣机表面的细小浮灰与残渣被吸入集尘盒内，从而达到了清理了雕铣机表面的浮灰与残渣的效果，保证了硅片加工前的清洁与卫生。

附图说明

图1为本实用新型的正面结构示意简图；

图2为本实用新型的俯剖结构示意简图；

图3为本实用新型的侧剖结构示意简图；

图4为本实用新型的A处剖面结构示意简图。

图中标记：1、雕铣机上固定架；2、底座；3、雕铣刀装置；4、夹具；5、顶板；6、收纳盒；7、清洁刷；8、L型伸缩杆；9、第一活动板；10、T型连接杆；11、第二活动板；12、长条孔；13、风机；14、集尘盒；15、吸尘孔；16、电机；17、圆盘。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参照图1-4，一种硅片加工用雕铣机，包括雕铣机上固定架1，雕铣机上固定架1的底部固定连接有底座2，雕铣机上固定架1的表面滑动连接有雕铣刀装置3，底座2的顶部固定安装有夹具4，底座2的两侧活动连接有收纳盒6，底座2的正面活动安装有风机13，风机13的一侧活动连接有集尘盒14，风机13另一侧的表面开设有吸尘孔15，雕铣机上固定架1的底部固定安装有顶板5，顶板5的底部固定连接有T型连接杆10，T型连接杆10的外壁固定连接有第一活动板9，第一活动板9的一侧固定连接有第二活动板11，第二活动板11的表面开设有长条孔12，长条孔12的内壁活动连接有电机16，电机16的外壁转动连接有圆盘17，圆盘17的底部固定连接有L型伸缩杆8，L型伸缩杆8的一端固定连接有清洁刷7。

进一步的，顶板5的数量均为两个，且分别以雕铣机上固定架1的中心线为对称轴垂直对称分布在雕铣机上固定架1的两侧。

进一步的，清洁刷7通过L型伸缩杆8可以延伸至夹具4的表面。

进一步的，T型连接杆10贯穿第一活动板9的轴心处并延伸至顶板5的内壁，使得更加便捷地将第一活动板9通过杠杆原理向下按压。

进一步的，收纳盒6为钢化玻璃材质制成，使得便于清洗收纳盒6中收集的浮灰与残渣。

进一步的，吸尘孔15与夹具4一端的顶部接触，使得可以全面的将夹具4表面的细小浮灰与残渣被吸入吸尘孔15内。

工作原理：当使用硅片加工用雕铣机时，当雕铣机加工硅片之前，通过按压第一活动板9的一端，使得第一活动板9通过轴心处的T型连接杆10向下倾斜，使得第二活动板11也向下倾斜，从而使得电机16通电情况下带动圆盘17、L型伸缩杆8转动，并将L型伸缩杆8一端固定连接的清洁刷7在夹具4的表面旋转运动，使得雕铣机表面的浮灰与残渣进入收纳盒6中，再开启风机13，使得雕铣机表面的细小浮灰与残渣被吸入集尘盒14内，从而达到了清理了雕铣机表面的浮灰与残渣的效果，保证了硅片加工前的清洁与卫生，清理完毕雕铣机之后，将L型伸缩杆8收短，在将收纳盒6与集尘盒14取出，将内部进行清洗，最后将雕铣机开机将硅片放置与夹具4内，用雕铣刀装置3对硅片进行加工处理。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种硅片加工用雕铣机，包括雕铣机上固定架(1)，其特征在于：所述雕铣机上固定架(1)的底部固定连接有底座(2)，所述雕铣机上固定架(1)的表面滑动连接有雕铣刀装置(3)，所述底座(2)的顶部固定安装有夹具(4)，所述底座(2)的两侧活动连接有收纳盒(6)，所述底座(2)的正面活动安装有风机(13)，所述风机(13)的一侧活动连接有集尘盒(14)，所述风机(13)另一侧的表面开设有吸尘孔(15)，所述雕铣机上固定架(1)的底部固定安装有顶板(5)，所述顶板(5)的底部固定连接有T型连接杆(10)，所述T型连接杆(10)的外壁固定连接有第一活动板(9)，所述第一活动板(9)的一侧固定连接有第二活动板(11)，所述第二活动板(11)的表面开设有长条孔(12)，所述长条孔(12)的内壁活动连接有电机(16)，所述电机(16)的外壁转动连接有圆盘(17)，所述圆盘(17)的底部固定连接有L型伸缩杆(8)，所述L型伸缩杆(8)的一端固定连接有清洁刷(7)。

2.如权利要求1所述的一种硅片加工用雕铣机，其特征在于：所述顶板(5)的数量均为两个，且分别以雕铣机上固定架(1)的中心线为对称轴垂直对称分布在雕铣机上固定架(1)的两侧。

3.如权利要求1所述的一种硅片加工用雕铣机，其特征在于：所述清洁刷(7)通过L型伸缩杆(8)可以延伸至夹具(4)的表面。

4.如权利要求1所述的一种硅片加工用雕铣机，其特征在于：所述T型连接杆(10)贯穿第一活动板(9)的轴心处并延伸至顶板(5)的内壁。

5.如权利要求1所述的一种硅片加工用雕铣机，其特征在于：所述收纳盒(6)为钢化玻璃材质制成。

6.如权利要求1所述的一种硅片加工用雕铣机，其特征在于：所述吸尘孔(15)与夹具(4)一端的顶部接触。