CN209606007U - 压力传感器 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种压力传感器，能够以高可靠性将由金属制成的传感器支承部件与由非金属制成的罩彼此固定。压力传感器具有：传感器元件(5)；传感器支承部件(4)，传感器元件(5)搭载于传感器支承部件(4)，由金属材料构成；端子(6)，其贯通传感器支承部件(4)；壳体(9)，其安装于传感器支承部件(4)，由非金属材料构成；以及阻止部(20)，其设置于端子(6)，通过与壳体(9)接触来阻止传感器支承部件(4)与壳体(9)彼此离开。

Description

压力传感器

技术领域

本实用新型涉及一种压力传感器。

背景技术

以往，已知有检测液体、气体等流体的压力的压力传感器。例如，在专利文献1中所记载的压力传感器具备半导体压力检测元件、基座、与基座对置配置的承接部件以及被夹在基座与承接部件之间的隔膜，这些部件被容纳在罩内。在此，在基座与隔膜之间形成有封入油的受压空间。半导体压力检测元件以配置于受压空间内的状态设置于基座。基座、承接部件以及隔膜分别由金属制成。罩由不锈钢等金属制成，罩通过激光焊接而与承接部件的外周部接合。在罩的内部填充有环氧系或聚氨酯系树脂。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2016-45172号公报

实用新型内容

在专利文献1所记载的压力传感器中，由于罩是由不锈钢等金属制成，因此很难实现轻量化。因此，考虑由树脂等非金属制成罩。但是在专利文献1所记载的压力传感器中，在由非金属制成罩的情况下，罩只通过由填充于罩内的树脂产生的粘接力而相对于基座固定。在这样的情况下，当该粘接力下降时，则罩与罩内的树脂以及部件等一同从基座脱落，有可能发生故障。

本实用新型的目的在于提供一种能够以高可靠性将由金属制成的传感器支承部件与由非金属制成的罩彼此固定的压力传感器。

本申请的示例性的实用新型是一种压力传感器，其特征在于，所述压力传感器具有：

传感器元件，其输出与流体的压力相应的信号；

传感器支承部件，其由金属材料构成，具有位于一侧的第1主面和位于另一侧的第2主面，所述传感器元件搭载在所述第1主面上；

端子，其与所述传感器元件电连接，从所述一侧向所述另一侧贯通所述传感器支承部件；

壳体，其由非金属材料构成，覆盖所述传感器支承部件的所述第2主面，并且安装于所述传感器支承部件，该壳体具有收纳所述端子的一部分的贯通孔；以及

阻止部，其设置于所述端子，通过与所述壳体接触来阻止所述传感器支承部件与所述壳体彼此离开。

根据本实用新型的压力传感器，其特征在于，

所述阻止部配置在所述端子的所述另一侧的部分，所述阻止部在所述贯通孔的所述另一侧具有伸出部，所述伸出部具有所述贯通孔的最小宽度以上的宽度。

根据本实用新型的压力传感器，其特征在于，

所述伸出部和所述端子是单一部件的一部分。

根据本实用新型的压力传感器，其特征在于，

所述伸出部的宽度随着接近所述传感器支承部件而逐渐增加。

根据本实用新型的压力传感器，其特征在于，

所述伸出部是使所述端子变形而形成的部分。

根据本实用新型的压力传感器，其特征在于，

所述伸出部是贯通并且固定有所述端子的电路板。

根据本实用新型的压力传感器，其特征在于，

所述阻止部通过使所述端子与所述壳体的规定所述贯通孔的内周面接触，来阻止所述端子与所述壳体彼此离开。

根据本实用新型的压力传感器，其特征在于，

所述端子的表面被粗糙化。

根据本实用新型的压力传感器，其特征在于，

所述非金属材料是树脂材料。

根据本实用新型的的压力传感器，其特征在于，

所述传感器支承部件与所述壳体借助粘接剂而接合。

根据本实用新型的压力传感器，其特征在于，

所述压力传感器具有安装部件，所述安装部件相对于所述传感器支承部件配置在所述一侧，具备将所述流体引导向所述传感器元件的流路，所述安装部件拆装自如地安装于被安装体。

根据本实用新型的压力传感器，其特征在于，

所述压力传感器具有：

隔膜，其配置在所述安装部件与所述传感器支承部件之间；以及

压力传递介质，其容纳在形成于所述隔膜与所述传感器支承部件之间的空间内，将施加到所述隔膜的所述流体的压力传递到所述传感器元件。

根据本实用新型的压力传感器，其特征在于，

所述被安装体是车载用控制阀。

实用新型效果

根据本申请的例示性的实用新型，由阻止部阻止传感器支承部件与壳体彼此离开，因此能够以高可靠性将由金属制成的传感器支承部件与由非金属制成的罩彼此固定。

附图说明

图1是示出本实用新型的第1实施方式的压力传感器的概略结构的纵剖视图(沿轴线ax剖切的图)。

图2是示出传感器支承部件以及壳体的纵剖视图(局部放大图1的图)。

图3是示意性地示出传感器支承部件与壳体的固定状态的纵剖视图。

图4是示意性地示出本实用新型的第2实施方式的压力传感器的传感器支承部件与壳体的固定状态的纵剖视图。

图5是示意性地示出本实用新型的第3实施方式的压力传感器的传感器支承部件与壳体的固定状态的纵剖视图。

图6是示意性地示出本实用新型的第4实施方式的压力传感器的传感器支承部件与壳体的固定状态的纵剖视图。

图7是示意性地示出本实用新型的第5实施方式的压力传感器的传感器支承部件与壳体的固定状态的纵剖视图。

标号说明

1：压力传感器；

1A：压力传感器；

1B：压力传感器；

1C：压力传感器；

1D：压力传感器；

2：安装部件；

3：隔膜；

4：传感器支承部件；

5：传感器元件；

6：端子；

7：密封件；

9：壳体；

9B：壳体；

10：电子部件；

11：封装件；

12：端子；

13：外部件；

14：O形圈；

15：粘接剂；

20：阻止部；

20A：阻止部；

20B：阻止部；

20C：阻止部；

20D：阻止部；

21：贯通孔；

22：外螺纹部；

23：头部；

43：第1主面；

44：第2主面；

45：贯通孔；

46：贯通孔；

61：伸出部；

62：伸出部；

63：部分；

64：伸出部；

65：伸出部；

66：接合件；

91：壳体主体；

93：凹部；

94：贯通孔；

94B：贯通孔；

131：凹部；

S1：第1室；

S2：第2室；

W1：最小宽度；

ax：轴线。

具体实施方式

以下，根据附图所示的实施方式而对本实用新型的压力传感器进行详细说明。

<第1实施方式>

图1是示出本实用新型的第1实施方式的压力传感器的概略结构的纵剖视图(沿轴线ax剖切的图)。图2是示出传感器支承部件以及壳体的纵剖视图(局部放大图1的图)。首先，根据图1以及图2对这些图所示的压力传感器1的概略进行说明。

以下，为了方便说明，适当地利用图1所示的轴线ax进行说明。在此，将与轴线ax平行的方向(图1中的上下方向)称作“轴向”，将与轴线ax垂直的方向称作“径向”，将绕以轴线ax为中心的轴的方向称作“周向”。并且，在轴向上，将靠近后述的被安装体的一侧(安装部件2侧)称作“一侧”或“下侧”，将离开被安装体的一侧(与安装部件2相反的一侧)称作“另一侧”或“上侧”。

另外，轴线ax是压力传感器1的中心轴线，是通过后述的传感器支承部件4的中心并且沿传感器支承部件4的厚度方向延伸的线段。并且，“上侧”以及“下侧”并不表示压力传感器1在实际安装于被安装体时的位置关系以及方向。

图1所示的压力传感器1被安装于未图示的被安装体来使用，是检测来自被安装体的流体的压力的传感器。在此，被安装体并无特别限定，但是例如是使用于汽车的自动变速器(AT)或无级变速器(CVT)的车载用控制阀。并且，流体(被测量流体)并无特别限定，可以是气体以及液体中的任一个。而且，流体的种类、温度、压力等条件也并无限定，但是例如在被安装体是前述的车载用控制阀的情况下，流体是ATF(Automatic Transmission Fluid，自动变速器油)等油。

如图1所示，压力传感器1具有：装卸自如地安装于被安装体的安装部件2；隔着隔膜3与安装部件2接合的传感器支承部件4；搭载于传感器支承部件4的传感器元件5；安装于传感器支承部件4的壳体9；以及安装于壳体9的外部件13。

安装部件2相对于传感器支承部件4被配置在一侧(下侧)，并具有沿轴向贯通的贯通孔21。来自被安装体的流体被从下侧导入到贯通孔21内。即，贯通孔21构成向传感器元件5引导来自被安装体的流体的流路。并且，安装部件2具有：沿轴向配置的外螺纹部22；以及设置于外螺纹部22的上侧的端部的头部23。外螺纹部22与设置于被安装体的内螺纹螺合。从轴向观察时，头部23例如呈六边形，头部23能够利用扳手等工具夹持。

通过使压力传感器1具有这样的安装部件2，能够将压力传感器1比较简单地安装于被安装体。并且，还能够从被安装体拆卸压力传感器1而进行维护等。并且，在外螺纹部22的头部23侧的端部例如配置有由橡胶制成的O形圈14。通过该O形圈14，能够在将压力传感器1安装于被安装体的状态下确保压力传感器1与被安装体之间的密封性。另外，安装部件2只要能够安装于被安装体即可，并不限定于具有前述的外螺纹部22的方式。

安装部件2由金属材料构成。作为所述金属材料，并无特别限定，但是例如能够适宜地使用SUS304等不锈钢。通过由这样的金属材料构成安装部件2，能够提高安装部件2的耐热性、相对于流体的耐性等。安装部件2例如通过铸造以及切削而制造。

在这样的安装部件2的上侧的端部隔着隔膜3安装有传感器支承部件4。在此，隔膜3以及传感器支承部件4分别由不锈钢等金属材料构成，通过焊接而与安装部件2接合。

这样，只要安装部件2、隔膜3以及传感器支承部件4都由金属材料构成，则例如在被安装体是车载用控制阀的情况下等，即使压力传感器1的被测量流体是高温的油，压力传感器1也能够发挥优异的耐久性。

隔膜3呈板状或片状，配置于安装部件2与传感器支承部件4之间，封闭前述的安装部件2的贯通孔21的另一侧的开口。因此，相对于隔膜3，在下侧形成有由前述的安装部件2的贯通孔21构成的第1室S1。而且，隔膜3由于第1室S1内的流体的压力而挠曲变形。另一方面，相对于隔膜3，在上侧，在隔膜3与传感器支承部件4之间形成有第2室S2。在第2室S2内容纳有传感器元件5，并且填充(容纳)有压力传递介质，该压力传递介质将隔膜3从第1室S1内的液体受到的压力传递到传感器元件5。

这样，通过利用隔膜3以及压力传递介质而将流体的压力传递到传感器元件5，即使传感器元件5不具有对于流体的耐性，也能够防止传感器元件5因该流体而损伤，并且能够检测流体的压力。作为该压力传递介质，能够适宜地使用液体。尤其从减小对传感器元件5的不良影响并且减小压力传递介质的基于温度变化等产生的特性变化的观点来看，优选压力传递介质例如使用如硅油的液体。这是因为，硅油具有良好的绝缘性、优异的化学稳定性以及高沸点。另外，在传感器元件5具有对于流体的耐性的情况下，也可以省略隔膜3以及压力传递介质。

并且，传感器支承部件4由以轴向为厚度方向的板材构成，例如通过冲压加工形成为中央部朝向另一侧(上侧)成为圆顶状的形状。传感器支承部件4具有位于一侧的第1主面43和位于第1主面43的相反侧(另一侧)的第2主面44。在第1主面43与隔膜3之间形成了第2室S2。在这样的第1主面43的中央部搭载有传感器元件5。在此，传感器元件5例如利用氟系粘接剂等粘接剂而与第1主面43接合。

传感器元件5是输出与受压对应的信号的元件。虽未图示，传感器元件5例如具有：具有配置有压电电阻元件的隔膜的硅基板；以及与该硅基板接合的玻璃基板。在这些基板之间形成有密闭的空间，该隔膜以该空间内的压力为基准由于受压而挠曲变形。并且，该压电电阻元件输出与该挠曲变形对应的信号。另外，检测该隔膜的挠曲变形的方式并不限定于使用压电电阻元件的方式，例如也可以是静电电容方式等。

并且，传感器支承部件4具有在第1主面43以及第2主面44上开设的多个贯通孔45和一个贯通孔46。在多个贯通孔45中分别贯通有端子6，在规定贯通孔45的壁面与端子6之间的间隙内填充有密封件7。端子6借助该密封件7被固定于传感器支承部件4。端子6是引脚，例如由铁镍合金等金属材料构成。多个端子6中的至少2个端子6的下侧的端部借助接合线而与传感器元件5连接。并且，密封件7例如由硼硅酸玻璃等玻璃材料(绝缘性材料)构成，其密封了前述的间隙。贯通孔46是在制造压力传感器1时用于向第2室S2内导入前述的压力传递介质的孔。贯通孔46的上侧的开口被球8封闭。球8例如由金属材料构成，例如通过焊接与传感器支承部件4接合。

此处，如图2所示，端子6具有配置在端子6的上侧的端部的伸出部61。伸出部61在比后述的壳体9的贯通孔94靠上侧处具有在贯通孔94的最小宽度以上的宽度。由此，通过伸出部61与壳体9的接触，能够阻止传感器支承部件4与壳体9彼此离开。这样的伸出部61以及贯通孔94构成阻止传感器支承部件4与壳体9彼此离开的阻止部20。另外，对于阻止部20及与其相关的事项，将在后文详述。

在传感器支承部件4的第2主面44上安装有壳体9。在此，壳体9例如利用环氧系粘接剂等粘接剂15而粘接于第2主面44。这样，传感器支承部件4与壳体9借助粘接剂15而接合。由此，能够将壳体9固定于传感器支承部件4。并且，通过利用粘接剂15填充传感器支承部件4与壳体9之间的间隙，能够提高壳体9内的密封性。

如图2所示，壳体9具有向下侧开口的有底筒状的壳体主体91。壳体主体91具备向传感器支承部件4侧开口的凹部93。该凹部93收纳端子6的一部分和球8。此外，壳体主体91具有至少一个沿轴向贯通的贯通孔94。在该贯通孔94中贯通有前述的端子6，伸出部61配置在比贯通孔94靠上侧的位置。

如图1所示，电子部件10例如以被环氧树脂等封装件11密封的状态搭载于壳体9。电子部件10经由未图示的布线与前述的端子6电连接，电子部件10具有处理来自前述的传感器元件5的信号的电路。此外，电子部件10与支承于壳体9的端子12电连接。端子12从壳体9向轴向上侧突出。

这样的壳体9的构成材料从壳体9的轻量化的观点出发，只要是非金属材料即可，也可以是陶瓷材料等，但优选为树脂材料。通过用树脂材料构成壳体9，不仅能够实现壳体9的轻量化，即使壳体9的形状复杂，例如也能够通过注塑成型简单且高精度地形成壳体9。此外，还能够提高壳体9利用粘接剂15进行粘接的粘接性。作为该树脂材料，没有特别限定，但可以列举例如耐热性优异的PPS(Polyphenylene sulfide)树脂等。此外，该树脂材料中还可以添加玻璃纤维、碳纤维等纤维、氧化铝粒子、氧化锆粒子等无机填料等。

此外，覆盖从壳体9突出的端子12的树脂制的外部件13通过环氧系的粘接剂等安装于壳体9。该外部件13是母型连接器的外壳，具有供未图示的公型连接器插入的凹部131。

以上说明了压力传感器1的概略。如上所述，该压力传感器1具有：输出与流体的压力相应的信号的传感器元件5；搭载有传感器元件5的传感器支承部件4；从一侧向另一侧贯通传感器支承部件4的端子6；安装于传感器支承部件4的壳体9；以及阻止部20。

此处，传感器支承部件4，由金属材料构成具有位于一侧的第1主面43和位于第1主面43的相反侧(另一侧)的第2主面44。并且，传感器元件5搭载于第1主面43的中央部。此外，端子6从一侧向另一侧贯通传感器支承部件4。另一方面，壳体9覆盖传感器支承部件4的第2主面44，具有收纳端子6的一部分的贯通孔94，壳体9由非金属材料构成。并且，阻止部20设置于端子6及壳体9，阻止这样的传感器支承部件4与壳体9彼此离开。由此，壳体主体91被夹在构成阻止部20的端子6侧的部分(后述的伸出部61)与传感器支承部件4之间，壳体主体91(壳体9)在轴向上相对于传感器支承部件4被支承。此外，通过传感器支承部件4的第2主面44的倾斜面(传感器支承部件4的外径随着朝向轴向上侧而变小的部分的外周面)与壳体主体91的内周面的倾斜面(壳体主体91的内径随着朝向轴向上侧而变小的部分的内周面)的接触，壳体主体91(壳体9)在中心轴线ax方向上被定心而成为轴对齐的状态。

由此，非金属制造的壳体9被稳定地固定于金属制成的传感器支承部件4上。因此，即使粘接剂15劣化等，也能够保持端子6与前述的端子12的导通状态。以下，根据图3对阻止部20以及与其相关的事项进行详细叙述。

图3是示意性地示出传感器支承部件与壳体的固定状态的纵剖视图。

如图3所示，阻止部20配置在端子6的另一侧的部分，在壳体9的贯通孔94的另一侧具有伸出部61，该伸出部61具有在贯通孔94的最小宽度W1以上的宽度W2。由此，通过伸出部61与壳体9的接触，能够阻止传感器支承部件4与壳体9彼此离开。此处，所谓“最小宽度W1”是指贯通孔94在与中心轴线垂直的方向(在本实施方式中为与轴向垂直的方向)上的长度中的最小长度。此外，所谓“宽度W2”是指与伸出部61在与最小宽度W1的方向相同方向上的长度。

伸出部61是端子6的一部分。即，伸出部61和端子6是单一部件的一部分。由此，能够减少压力传感器的部件个数。

伸出部61的宽度在伸出部61的下端处具有成为最大的宽度W2，伸出部61的宽度从下侧向上侧连续地减少到成为比最小宽度W1小的宽度。换言之，伸出部61的宽度随着接近传感器支承部件4而逐渐增加。由此，当组装传感器支承部件4与壳体9时，能够比较容易地从壳体9的贯通孔94的一侧插入伸出部61并将伸出部61配置到另一侧(以下也称作“配置容易性”)。此外，在将伸出部61配置在壳体9的贯通孔94的另一侧的状态下，伸出部61难以进入贯通孔94内，因此能够减小伸出部61从壳体9的贯通孔94的另一侧向一侧脱落的可能性(以下也称作“防脱落性”)。这样形状的伸出部61能够通过例如冲压加工、切削等而形成。另外，关于伸出部61的形状，只要伸出部61具有宽度W2即可，不限定于图示的形状。

此外，宽度W2只要在最小宽度W1以上即可，但在本实施方式的情况下，从防脱落性观点出发，优选为比最小宽度W1大，从兼顾配置容易性及防脱落性的观点出发，优选宽度W2相对于最小宽度W1为1.05倍以上且2倍以下，更优选为1.1倍以上且1.5倍以下。

此外，伸出部61只要在与轴向交叉的至少一个方向上具有宽度W2即可，在与具有宽度W2的方向不同的方向上的宽度优选比贯通孔94的最小宽度W1小。由此，当组装传感器支承部件4与壳体9时，将伸出部61从壳体9的贯通孔94的一侧向另一侧插入变得更容易。

此外，壳体9的贯通孔94的最小宽度W1只要在端子6的一侧部分的宽度W0以上即可，但在本实施方式的情况下，相对于宽度W0，优选为1.05倍以上且1.2倍以下，更优选为1.1倍以上且1.2倍以下。由此，能够容易地实现配置容易性和防脱落性两者的兼顾。

<第2实施方式>

图4是示意性地示出本实用新型的第2实施方式的压力传感器的传感器支承部件与壳体的固定状态的纵剖视图。以下对图4所示的第2实施方式进行说明，但对于与前述的第1实施方式同样的事项，省略其说明。另外，在图4中，对于与前述的实施方式同样的结构，标注同一标号。

图4所示的压力传感器1A除了代替第1实施方式的伸出部61而具有伸出部62以外，其余与前述的第1实施方式同样地构成。伸出部62从端子6的另一侧的端部在与轴向交叉的方向向单侧延伸。即，伸出部62是将端子6的另一侧的端部弯折大约90°而形成的部分。该伸出部62具有贯通孔94的最小宽度W1以上的宽度W2。并且，伸出部62以及贯通孔94构成阻止传感器支承部件4与壳体9彼此离开的阻止部20A。

这样，伸出部62是使端子6变形而形成的部分。由此，能够使用现有的端子来获得伸出部62。该伸出部62优选能够发生弹性变形。由此，当组装传感器支承部件4与壳体9时，只要使伸出部62形成以端子6整体成为直线状的方式弹性变形的状态，就能够比较容易地使端子6贯通壳体9的贯通孔94。另外，伸出部62也可以在使变形前的状态的端子6贯通壳体9的贯通孔94后通过使端子6的位于壳体9的另一侧的部分发生塑性变形来得到。

根据以上那样的第2实施方式，也与前述的第1实施方式同样，能够以高可靠性将由金属制成的传感器支承部件4与由非金属制成的壳体9彼此固定。

<第3实施方式>

图5是示意性地示出本实用新型的第3实施方式的压力传感器的传感器支承部件与壳体的固定状态的纵剖视图。以下对图5所示的第3实施方式进行说明，而对于与前述的第1实施方式同样的事项，则省略其说明。另外，在图5中，对于与前述的实施方式同样的结构，标注同一标号。

图5所示的压力传感器1B除了省略第1实施方式的伸出部61并且代替壳体9而具有壳体9B以外，其余与前述的第1实施方式同样地构成。壳体9B具有至少一个沿着轴向贯通的贯通孔94B。在该贯通孔94B中贯通有端子6。此处，端子6具有收纳于贯通孔94B内的部分63，该部分63具有与贯通孔94B的最小宽度W1相等的宽度W2。由此，能够以具有摩擦力的方式将壳体9B的规定贯通孔94B的内周面(以下简称为“贯通孔94B的内周面”。)相对于端子6固定。并且，该部分63以及贯通孔94B构成阻止传感器支承部件4与壳体9B彼此离开的阻止部20B。

这样，阻止部20B通过使端子6与贯通孔94B的内周面接触，来阻止端子6与壳体9B彼此离开。这样的阻止部20B仅通过调整端子6及贯通孔94B的宽度而能够比较简单地构成。

此处，端子6的表面优选被粗造化。由此，能够增大端子6与贯通孔94B的内周面之间的摩擦力。因此，能够降低端子6从壳体9B的贯通孔94B脱落的可能性。该粗糙化的方法没有特别限定，但举出例如喷砂处理、蚀刻处理、切削等。

此外，关于端子6插入前的状态的贯通孔94B的最小宽度W1，可以等于部分63的宽度W2，但优选比部分63的宽度W2小一些。由此，能够增大端子6插入后的状态的贯通孔94B的内周面与部分63之间的摩擦力。此处，通过使端子6插入前的状态的贯通孔94B的最小宽度W1为部分63的宽度W2的95％以上，能够容易地使端子6贯通贯通孔94B。

根据以上那样的第3实施方式，也与前述的第1实施方式同样，能够以高可靠性将由金属制成的传感器支承部件4与由非金属制成的壳体9B彼此固定。

另外，只要能够用摩擦力将贯通孔94B的内周面相对于端子6固定，插入了端子6的状态下的贯通孔94B的最小宽度W1可以比部分63的宽度W2大。例如，在使贯通孔94B的位置从图示的位置向与轴向垂直的方向错开的情况下，能够用摩擦力将端子6相对于贯通孔94B的内周面固定。在该情况下，通过使端子6发生些许弹性变形，并且利用其弹性力将端子6压靠于贯通孔94B的内周面，能够增大端子6与内周面之间的摩擦力。

<第4实施方式>

图6是示意性地示出本实用新型的第4实施方式的压力传感器的传感器支承部件与壳体的固定状态的纵剖视图。以下对图6所示的第4实施方式进行说明，但对于与前述的第1实施方式同样的事项，则省略其说明。另外，在图6中，对于与前述的实施方式同样的结构，则标注同一标号。

图6所示的压力传感器1C除了代替第1实施方式的伸出部61而具有伸出部64以外，其余与前述的第1实施方式同样地构成。伸出部64是压扁端子6的另一侧的端部而形成的部分。即，伸出部64形成板状，具有比端子6的一侧的部分的宽度W0小的厚度，并且具有贯通孔94的最小宽度W1以上的幅W2。并且，伸出部64以及贯通孔94构成阻止传感器支承部件4与壳体9彼此离开的阻止部20C。

伸出部64是使端子6变形而形成的部分。由此，能够使用现有的端子得到伸出部64。

根据以上那样的第4实施方式，也与前述的第1实施方式同样，能够以高可靠性将由金属制成的传感器支承部件4与由非金属制成的壳体9彼此固定。

<第5实施方式>

图7是示意性地示出本实用新型的第5实施方式的压力传感器的传感器支承部件与壳体的固定状态的纵剖视图。以下对图7所示的第5实施方式进行说明，而对于与前述的第1实施方式同样的事项，则省略其说明。另外，在图7中，对于与前述的实施方式同样的结构，标注同一标号。

图7所示的压力传感器1D除了代替第1实施方式的伸出部61而具有伸出部65以外，其余与前述的第1实施方式同样地构成。伸出部65是电路板，沿着与轴向垂直的面配置。在该伸出部65中贯通有端子6的另一侧的部分，端子6通过焊料等接合件66而接合于伸出部65。由此，伸出部65固定于端子6，并且端子6与伸出部65的电路板被电连接。这样的伸出部65具有在贯通孔94的最小宽度W1以上的宽度W2。并且，伸出部65以及贯通孔94构成阻止传感器支承部件4与壳体9彼此离开的阻止部20D。

这样，伸出部65是贯通并且固定有端子6的电路板。此处，只要使用压力传感器1通常所必需的电路板作为伸出部65即可，压力传感器1的部件个数还不会变多。

用作伸出部65的电路板可以是挠性基板，但优选为硬性基板。由此，能够提高由伸出部65及端子6构成的结构体的机械强度。

根据以上那样的第5实施方式，也与前述的第1实施方式同样，能够以高可靠性将由金属制成的传感器支承部件4与由非金属制成的壳体9彼此固定。

以上，根据图示的实施方式对本实用新型的压力传感器进行了说明，但是，本实用新型不限于这些，各个部分的结构可置换为具有相同功能的任意结构。此外，也可以在本实用新型中附加其他任意的结构物。

Claims (13)

1.一种压力传感器，其特征在于，所述压力传感器具有：

传感器元件，其输出与流体的压力相应的信号；

传感器支承部件，其由金属材料构成，具有位于一侧的第1主面和位于另一侧的第2主面，所述传感器元件搭载在所述第1主面上；

端子，其与所述传感器元件电连接，从所述一侧向所述另一侧贯通所述传感器支承部件；

壳体，其由非金属材料构成，覆盖所述传感器支承部件的所述第2主面，并且安装于所述传感器支承部件，该壳体具有收纳所述端子的一部分的贯通孔；以及

阻止部，其设置于所述端子，通过与所述壳体接触来阻止所述传感器支承部件与所述壳体彼此离开。

2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，

所述阻止部配置在所述端子的所述另一侧的部分，所述阻止部在所述贯通孔的所述另一侧具有伸出部，所述伸出部具有所述贯通孔的最小宽度以上的宽度。

3.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，

所述伸出部和所述端子是单一部件的一部分。

4.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，

所述伸出部的宽度随着接近所述传感器支承部件而逐渐增加。

5.根据权利要求3所述的压力传感器，其特征在于，

所述伸出部是使所述端子变形而形成的部分。

6.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，

所述伸出部是贯通并且固定有所述端子的电路板。

7.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，

所述阻止部通过使所述端子与所述壳体的规定所述贯通孔的内周面接触，来阻止所述端子与所述壳体彼此离开。

8.根据权利要求7所述的压力传感器，其特征在于，

所述端子的表面被粗糙化。

9.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，

所述非金属材料是树脂材料。

10.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，

所述传感器支承部件与所述壳体借助粘接剂而接合。

11.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，

所述压力传感器具有安装部件，所述安装部件相对于所述传感器支承部件配置在所述一侧，具备将所述流体引导向所述传感器元件的流路，所述安装部件拆装自如地安装于被安装体。

12.根据权利要求11所述的压力传感器，其特征在于，

所述压力传感器具有：

隔膜，其配置在所述安装部件与所述传感器支承部件之间；以及

压力传递介质，其容纳在形成于所述隔膜与所述传感器支承部件之间的空间内，将施加到所述隔膜的所述流体的压力传递到所述传感器元件。

13.根据权利要求11所述的压力传感器，其特征在于，

所述被安装体是车载用控制阀。