CN209589375U - 检漏工装 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种检漏工装，包括：外管结构，外管结构包括相互连接的第一连接部和第二连接部，第一连接部用于与待检设备的真空腔体连接，第二连接部用于与检漏仪连接。检漏工装还可以包括内管结构，穿设在外管结构中，内管结构与外管结构之间具有空腔，内管结构的一端封闭，内管结构的另一端用于与真空腔体中的待检部件连接。通过本实用新型提供的技术方案，能够解决现有技术中对设备内部的部件进行检漏不方便操作的问题。

Description

检漏工装

技术领域

本实用新型涉及设备检漏技术领域，具体而言，涉及一种检漏工装。

背景技术

金属有机气相沉积设备(MOCVD)中的喷淋头(showerhead)部件真空结构复杂，整体位于真空腔室内部，且与腔室外部的多根管路相连。通常在进行检漏时，需要将金属有机气相沉积设备的腔体打开，并拆除内部的大部分装置，才能露出腔体内部的喷淋头，以对喷淋头和其他部件的连接处或进气、进水管与上盖连接处进行检漏，操作繁琐。

实用新型内容

本实用新型提供了一种检漏工装，以解决现有技术中对设备内部的部件进行检漏不方便操作的问题。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种检漏工装，包括：外管结构，外管结构包括相互连接的第一连接部和第二连接部，第一连接部用于与待检设备的真空腔体连接，第二连接部用于与检漏仪连接；第一连接部包括顺次连接的第一接头、柔性管和第二接头，其中，第一接头用于与真空腔体连接，第二接头用于与第二连接部连接，柔性管可伸缩。

进一步地，第一接头为刀口法兰，和/或第二接头为刀口法兰。

进一步地，第一接头用于与真空腔体连接的一端为第一连接端，第二接头用于与第二连接部连接的一端为第二连接端，第一连接端的外径大于第二连接端的外径。

进一步地，柔性管为波纹管。

进一步地，柔性管的两端分别与第一接头和第二接头焊接。

进一步地，外管结构还包括密封件，密封件设置在第二接头和第二连接部之间。

进一步地，密封件为铜密封圈，第二接头与第二连接部通过紧固件连接。

进一步地，第二连接部包括筒体和设置在筒体的外圆周上的卡环，筒体与第二接头连接，卡环用于与检漏仪连接。

进一步地，检漏工装还包括：内管结构，穿设在外管结构中，内管结构与外管结构之间具有空腔，内管结构的一端封闭，内管结构的另一端用于与真空腔体中的待检部件连接。

进一步地，内管结构包括：输送管，输送管穿设在外管结构中；堵帽，设置在输送管的第一端以封堵第一端；第三接头，设置在输送管的第二端，第三接头用于与待检部件连接。

应用本实用新型的技术方案，检漏工装包括外管结构，其中，外管结构的第一连接部用于与待检设备(例如金属有机气相沉积设备)的真空腔体连接，外管结构的第二连接部用于与检漏仪连接。通过上述设置可在不拆卸待检设备的情况下，使用外管结构实现待检部件和检漏仪的关联，从而通过检漏仪对喷淋头和其他部件的连接处或进气、进水管与上盖连接处进行检漏。因此，通过该检漏工装无需拆卸待检设备就可对待检设备内部的部件进行检漏，这样便于操作，成本低、效率高。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1示出了本实用新型的实施例提供的检漏工装的结构示意图；

图2示出了图1中的检漏工装的剖视图。

其中，上述附图包括以下附图标记：

10、第一连接部；11、第一接头；12、柔性管；13、第二接头；20、第二连接部；21、筒体；22、卡环；30、密封件；40、内管结构；41、输送管；42、堵帽；43、第三接头。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本实用新型及其应用或使用的任何限制。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1至图2所示，本实用新型的实施例提供了一种检漏工装，包括：外管结构，外管结构包括相互连接的第一连接部10和第二连接部20，第一连接部10用于与待检设备的真空腔体连接，第二连接部20用于与检漏仪连接。

应用本实施例的技术方案，在检漏工装中设置外管结构，其中，外管结构的第一连接部10用于与待检设备(例如金属有机气相沉积设备)的真空腔体连接，外管结构的第二连接部20用于与检漏仪连接。通过上述设置可在不拆卸待检设备的情况下，使用外管结构实现待检部件和检漏仪的关联，从而通过检漏仪对喷淋头和其他部件的连接处进行检漏。因此，通过该检漏工装无需拆卸待检设备就可对待检设备内部的部件进行检漏，这样便于操作，成本低、效率高。

例如，在使用该检漏工装对金属有机气相沉积设备中的喷淋头部件检漏时，将外管结构的第一连接部10与金属有机气相沉积设备的腔体的上盖连接，外管结构的第二连接部20与检漏仪的管路连接。在操作时通过抽真空设备对待测管路抽真空，然后在可能存在泄漏的检测点，例如喷淋头和上盖的连接处或进气、进水管与上盖连接处打氦气，若检测点泄漏氦气通过检漏仪检测到而判断出检测点泄漏。

在本实施例中，第一连接部10包括顺次连接的第一接头11、柔性管12和第二接头13，其中，第一接头11用于与真空腔体连接，第二接头13用于与第二连接部20连接，柔性管12可伸缩。通过设置柔性管12可使第一连接部10发生伸缩或弯曲，这样可以在一定范围内调节第一连接部10的长度，并且可以在装配时进行位置调整，避让干涉部件。该检漏工装通用性强，可逐一安装检漏工装以对多处管路口进行检漏。

在本实施例中，可以将柔性管12设置为波纹管，波纹管角度调节范围大，强度高。

在本实施例中，可以将第一接头11设置为刀口法兰，或将第二接头13设置为刀口法兰。刀口法兰具有密封性好的特点，这样可以提高装置的密封性，以防止泄露，提高检测的准确性。

如图2所示，第一接头11用于与真空腔体连接的一端为第一连接端，第二接头13用于与第二连接部20连接的一端为第二连接端，第一连接端的外径大于第二连接端的外径。通过上述设置便于实现不同直径的管路或开口的连接，以满足变径需求。

在本实施例中，柔性管12的两端分别与第一接头11和第二接头13焊接。采用焊接的方式，连接强度高，密封性好。

在本实施例中，外管结构还包括密封件30，密封件30设置在第二接头13和第二连接部20之间。通过设置密封件30，可以提高第二接头13和第二连接部20连接的密封性，以提高装置的可靠性。

具体地，密封件30为铜密封圈，第二接头13与第二连接部20通过紧固件连接。铜密封圈具有密封性和和耐磨性好的特点。

如图2所示，第二连接部20包括筒体21和设置在筒体21的外圆周上的卡环22，筒体21与第二接头13连接，卡环22用于与检漏仪连接。通过上述设置便于第二连接部20与检漏仪连接。检漏仪的管路的端部也设置有卡环，这样可使用卡箍将第二连接部20上的卡环22与检漏仪上的卡环连接，这样便于拆装。具体地，卡环22可以设置为KF标准法兰，筒体21可以设置为刀口法兰，并将两者通过焊接的方式连接。

在检漏工装中还可设置内管结构40，内管结构40与外管结构之间具有空腔，内管结构40的一端封闭，内管结构40的另一端用于与真空腔体中的待检部件连接。通过上述设置可在不拆卸待检设备的情况下，使外管结构、真空腔体、内管结构40和待检部件配合形成检测腔体，并实现待检部件、检测腔体和检漏仪的关联，从而通过检漏仪对待检部件进行检漏。因此，通过该检漏工装无需拆卸待检设备就可对待检设备内部的部件进行检漏，这样便于操作，成本低、效率高。

例如，在使用该检漏工装对金属有机气相沉积设备中的喷淋头部件检漏时，将外管结构的第一连接部10与金属有机气相沉积设备的真空腔体的上盖连接，外管结构的第二连接部20与检漏仪的管路连接，并且内管结构40封闭的一端穿设在检漏仪的管路内，内管结构40的另一端与喷淋头部件连接，这样外管结构、真空腔体、内管结构40和喷淋头部件配合形成检测腔体。在操作时通过抽真空设备对待检管路抽真空，然后在可能存在泄漏的检测点打氦气，若检测点泄漏氦气会打入检测腔体并通过检漏仪检测到而判断出检测点泄漏。其中，内管结构40可与金属有机气相沉积设备外部连通，以在需要时输送液体或气体。

如图2所示，内管结构40包括：输送管41，输送管41穿设在外管结构中；堵帽42，设置在输送管41的第一端以封堵第一端；第三接头43，设置在输送管41的第二端，第三接头43用于与待检部件连接。其中，输送管41可用于输送气体或液体。堵帽42可在需要时封堵输送管41的第一端以便于检漏，在需要输送气体或液体时，可将输送管41上的堵帽42打开。通过设置第三接头43便于输送管41与待检部件连接。堵帽42可以采用现有的VCR密封接头。

应用本实施例的技术方案，在检漏工装中设置外管结构和内管结构40，其中，外管结构的第一连接部10用于与待检设备(例如金属有机气相沉积设备)的真空腔体连接，外管结构的第二连接部20用于与检漏仪连接，内管结构40的一端封闭，内管结构40的另一端用于与真空腔体中的待检部件连接。通过上述设置可在不拆卸待检设备的情况下，使外管结构、真空腔体、内管结构40和待检部件配合形成检测腔体，并实现待检部件、检测腔体和检漏仪的关联，从而通过检漏仪对待检部件进行检漏。因此，通过该检漏工装无需拆卸待检设备就可对待检设备内部的部件进行检漏，这样便于操作，成本低、效率高。

通过上述方案，可以实现两种位置的检漏：

1、showerhead与待检设备的上盖连接处或进气、进水管与上盖连接处的检漏；以showerhead检漏为例，此种情况可以没有内管结构40，在showerhead与上盖连接口处打入检漏气体，检漏气体经由第一接头11、柔性管12、第二接头13、卡环22进入检漏仪，从而实现检漏。

2、showerhead结构与外面进气管检漏，此种情况需要内管结构40，内管结构40与showerhead进气管路连接(内管结构40起延伸作用)，检漏气体经由第一接头11、柔性管12、第二接头13、卡环22进入检漏仪，从而实现检漏。检漏时需用堵帽42堵住输送管41，若待检管路有漏气则漏到内管结构40与外管结构之间的空腔，由检漏仪检漏。待检设备在正常使用时氮气、氢气、水不会泄露，内管结构40与showerhead连接处密封。

通过该技术方案可以实现喷淋头部件的多处管路口逐一检漏，可以提高检测和装配效率，并且可以避免不必要的拆卸，减少易损件破损，降低装配风险。该检漏工装易于安装，操作简便。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本实用新型的范围。同时，应当明白，为了便于描述，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制；方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。

为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。

此外，需要说明的是，使用“第一”、“第二”等词语来限定零部件，仅仅是为了便于对相应零部件进行区别，如没有另行声明，上述词语并没有特殊含义，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制。

Claims (10)

1.一种检漏工装，其特征在于，包括：

外管结构，所述外管结构包括相互连接的第一连接部(10)和第二连接部(20)，所述第一连接部(10)用于与待检设备的真空腔体连接，所述第二连接部(20)用于与检漏仪连接；

所述第一连接部(10)包括顺次连接的第一接头(11)、柔性管(12)和第二接头(13)，其中，所述第一接头(11)用于与所述真空腔体连接，所述第二接头(13)用于与所述第二连接部(20)连接，所述柔性管(12)可伸缩。

2.根据权利要求1所述的检漏工装，其特征在于，所述第一接头(11)为刀口法兰，和/或所述第二接头(13)为刀口法兰。

3.根据权利要求1所述的检漏工装，其特征在于，所述第一接头(11)用于与所述真空腔体连接的一端为第一连接端，所述第二接头(13)用于与所述第二连接部(20)连接的一端为第二连接端，所述第一连接端的外径大于所述第二连接端的外径。

4.根据权利要求1所述的检漏工装，其特征在于，所述柔性管(12)为波纹管。

5.根据权利要求1所述的检漏工装，其特征在于，所述柔性管(12)的两端分别与所述第一接头(11)和所述第二接头(13)焊接。

6.根据权利要求1所述的检漏工装，其特征在于，所述外管结构还包括密封件(30)，所述密封件(30)设置在所述第二接头(13)和所述第二连接部(20)之间。

7.根据权利要求6所述的检漏工装，其特征在于，所述密封件(30)为铜密封圈，所述第二接头(13)与所述第二连接部(20)通过紧固件连接。

8.根据权利要求1所述的检漏工装，其特征在于，所述第二连接部(20)包括筒体(21)和设置在所述筒体(21)的外圆周上的卡环(22)，所述筒体(21)与所述第二接头(13)连接，所述卡环(22)用于与所述检漏仪连接。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的检漏工装，其特征在于，所述检漏工装还包括：

内管结构(40)，穿设在所述外管结构中，所述内管结构(40)与所述外管结构之间具有空腔，所述内管结构(40)的一端封闭，所述内管结构(40)的另一端用于与所述真空腔体中的待检部件连接。

10.根据权利要求9所述的检漏工装，其特征在于，所述内管结构(40)包括：

输送管(41)，所述输送管(41)穿设在所述外管结构中；

堵帽(42)，设置在所述输送管(41)的第一端以封堵所述第一端；

第三接头(43)，设置在所述输送管(41)的第二端，所述第三接头(43)用于与所述待检部件连接。