CN209537673U - 一种带有绝缘支撑的单晶炉加热器 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种带有绝缘支撑的单晶炉加热器，安装于单晶炉内部，包括：加热器本体，加热器本体底部设置有两个电极脚与炉底电连接，加热器本体与炉底之间还设置有两个凹槽，且凹槽内均固定安装有绝缘支撑。本实用新型公开的带有绝缘支撑的单晶炉加热器，通过绝缘支撑更换了现有技术中的副支撑，既能有效地降低热传导，减少热损，又能防止加热器变形从而保证单晶的加工质量。

Description

一种带有绝缘支撑的单晶炉加热器

技术领域

本实用新型涉及单晶炉加热器技术领域，更具体的说是涉及一种带有绝缘支撑的单晶炉加热器。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。

目前，单晶炉加热器的直径大于700mm，需要使用对称的四个电极脚，即两个主支撑和两个副支撑进行支撑，且两个主支撑和两个副支撑的位置形成十字，但是四个电极脚会增加热导介质，造成无谓的热损失，而若为了降低热损将两个电极脚去掉，则会产生加热器产生倒梯形的变形，即上沿向外，下沿向内。加热器的变形会导致加热器与外侧保温桶之间的间隙减小，在工艺生产过程中容易产生拉弧现象，影响单晶的生产质量。

因此，如何提供一种既能降低加热器热损又能防止加热器变形的带有绝缘支撑的单晶炉加热器是本领域技术人员亟需解决的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种带有绝缘支撑的单晶炉加热器，既能有效降低热传导，又能防止加热器变形，保证单晶的生产质量。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种带有绝缘支撑的单晶炉加热器，安装于单晶炉内部，包括：加热器本体，所述加热器本体底部设置有两个电极脚与炉底电连接，所述加热器本体与炉底之间还设置有两个凹槽，且所述凹槽内均固定安装有绝缘支撑。

本实用新型公开的带有绝缘支撑的单晶炉加热器，通过绝缘支撑更换了现有技术中的副支撑，既能有效地降低热传导，又能防止加热器变形影响单晶的加工质量。

优选的，所述绝缘支撑为实心圆柱形，保证绝缘支撑的强度。

优选的，所述绝缘支撑的高度与副支撑的高度相等，使得绝缘支撑的顶部与加热器下沿接触固定。

优选的，两个所述绝缘支撑的连线与两个所述电极脚的连线相互垂直，保证加热器均匀固定。

经由上述的技术方案可知，与现有技术相比，本实用新型公开提供了一种带有绝缘支撑的单晶炉加热器，既能有效降低热传导，使得整个热场效率减小，省电，而且还能防止加热器变形，防止加热器与外侧保温桶接触，导致二者之间的间隙减小，避免产生拉弧现象。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1附图为本实用新型提供的加热器的结构示意图。

图2附图为本实用新型提供的绝缘支撑的结构示意图。

其中，各附图标记为：

1-加热器本体，2-电极脚，3-炉底，4-绝缘支撑。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型实施例公开了一种带有绝缘支撑的单晶炉加热器，安装于单晶炉内部，包括：加热器本体1，加热器本体1底部设置有两个电极脚2与炉底3电连接，加热器本体1与炉底3之间还设置有两个凹槽，且凹槽内均固定安装有绝缘支撑4。

本实施例公开的带有绝缘支撑的单晶炉加热器，将现有技术中的两个副支撑去除，更换为本实施例中的绝缘支撑4，有效地阻止了热量由副支撑处流失，降低了热损，节约了电能，同时，绝缘支撑4固定在加热器本体1和炉底之间，防止加热器变形。

为了进一步地优化上述技术方案，绝缘支撑4为实心圆柱形，保证绝缘支撑4的支撑强度。

为了进一步地优化上述技术方案，绝缘支撑4的高度与副支撑的高度相等，保证绝缘支撑4的顶部与加热器本体1的下沿顶住，保证固定的稳定性，防止炉底跑偏。

为了进一步地优化上述技术方案，两个绝缘支撑4的连线与两个电极脚2的连线相互垂直，保证受力的均匀性。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (4)

1.一种带有绝缘支撑的单晶炉加热器，其特征在于，安装于单晶炉内部，包括：加热器本体(1)，所述加热器本体(1)底部设置有两个电极脚(2)与炉底(3)电连接，所述加热器本体(1)与所述炉底(3)之间还设置有两个凹槽，且所述凹槽内均固定安装有绝缘支撑(4)。

2.根据权利要求1所述的一种带有绝缘支撑的单晶炉加热器，其特征在于，所述绝缘支撑(4)为实心圆柱形。

3.根据权利要求2所述的一种带有绝缘支撑的单晶炉加热器，其特征在于，所述绝缘支撑(4)的高度与副支撑的高度相等。

4.根据权利要求3所述的一种带有绝缘支撑的单晶炉加热器，其特征在于，两个所述绝缘支撑(4)的连线与两个所述电极脚(2)的连线相互垂直。