CN209522919U - 化学气相沉积炉及化学气相沉积设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种化学气相沉积炉，包括：炉体，进料口，出料口，进气口，出气口和设置于炉体内部的搅拌结构。本实用新型还包括一种化学气相沉积设备，所述设备包括本实用新型所述的化学气相沉积炉，与所述化学气相沉积炉的进料口可拆卸连接的原料仓，和与所述化学气相沉积炉的出料口可拆卸连接的成品仓。本实用新型通过在化学气相沉积炉内设置搅拌结构，使得物料在炉腔内反复移动，实现均匀的碳包覆；通过将原料仓和成品仓设置为可密封拆卸，实现半连续化生产，提高了生产效率。

Description

化学气相沉积炉及化学气相沉积设备

技术领域

本实用新型涉及化学气相沉积设备技术领域，具体涉及化学气相沉积炉及化学气相沉积设备。

背景技术

化学气相沉积法是制备碳包覆复合材料的主要方法之一，它是通过将烃类等碳源气体通入沉积炉内，在高温下碳源气体发生热解，产生的热解碳在待包覆材料表面沉积，最终在待包覆材料表面形成包覆层，从而得到碳包覆复合材料，具有工艺简单、适用于规模化生产等特点。

传统的化学气相沉积炉，需沉积的原料通常为静态的，由于碳源气体在炉内压差分布不均匀，使得碳源气体在表层原料和内部原料上沉积的浓度有差异，从而导致包覆不均匀。例如，在表层原料上沉积的热解碳会阻碍碳源气体向内部原料的扩散，由此出现内部原料的沉积效果差的缺陷。解决该问题的方法之一，是停炉后进行倒炉操作，然后再次启动沉积炉进行沉积，但该方法费时费力，导致生产效率低下。

为了解决上述问题，中国发明专利申请CN107829078A公开了一种改进的气相沉积炉，其通过在炉体内设置由粗管和设置在粗管内并与粗管走向一致的细管构成的进气管，使得气体同时由细管和粗管进入炉体内不同高度位置，使产品受气均匀。该方法仅在一定程度上缓解了炉内不同高度位置的气体分布不均匀现象，对于改善气体径向分布的作用不大。中国发明专利申请CN108048817A公开了一种化学气相沉积炉，其通过设置在沉积室顶盖上的气压调节环，以调节产品内侧和外侧的气压，使得碳源气体强行进入产品内侧。该方法受到产品几何形状的限制，仅适用于柱形的多孔产品。

此外，现有的化学气相沉积炉大多为非连续性的装置，生产过程中，每次升温、沉积结束后，需要降温后重新加料，才能进行下一沉积操作。由于升温、降温过程的时间较长，因此设备稼动率非常低，也导致生产效率低下。

发明内容

针对上述现有技术存在的问题，本实用新型提供一种化学气相沉积设备，一方面，通过在炉体内设置搅拌结构，使得物料在炉腔内反复移动，解决炉腔内气体分布不均的问题，使得材料获得均匀的碳包覆；另一方面，通过将原料仓和成品仓设置为可密封拆卸，炉体和原料仓、成品仓之间可采用输送系统，从而实现半连续化生产，提高了生产效率。

为此，本实用新型一种化学气相沉积炉，所述化学气相沉积炉包括：炉体，进料口，出料口，进气口，出气口和设置于炉体内部的搅拌结构。

在一个或多个实施方案中，所述搅拌结构包括设置在炉体内部空间的搅拌结构、设置在炉体内壁上的搅拌结构、或两者。

在一个或多个实施方案中，所述化学气相沉积炉还包括设置在炉体外部的驱动装置，所述驱动装置包括驱动炉体自身转动的驱动装置、驱动所述设置在炉体内部空间的搅拌结构转动的驱动装置、或两者。

在一个或多个实施方案中，所述设置在炉体内部空间的搅拌结构为沿着炉体中心轴线方向延伸的有轴螺旋叶片。

在一个或多个实施方案中，所述设置在炉体内壁上的搅拌结构为沿着炉体中心轴线方向延伸的螺旋叶片或炉体径向上规则或不规则的突起。

在一个或多个实施方案中，在垂直于炉体中心轴线的截面上，所述有轴螺旋叶片的中心到其叶片外沿的距离为炉体中心轴线到炉体内壁的距离的30-90％。

在一个或多个实施方案中，所述设置在炉体内壁上的搅拌结构与炉体一体成型，在垂直于炉体中心轴线的截面上，其最大高度为炉体中心轴线到炉体内壁的距离的10-40％。

在一个或多个实施方案中，所述进气口和出气口设置在炉体两端，为两个与炉体一体成型的向外凸出的管路，所述管路的中心轴位于炉体的中心轴线上。

本实用新型还提供一种化学气相沉积设备，所述化学气相沉积设备包括：

本实用新型任一实施方案所述的化学气相沉积炉；

与所述化学气相沉积炉的进料口可拆卸连接的原料仓；和

与所述化学气相沉积炉的出料口可拆卸连接的成品仓。

在一个或多个实施方案中，所述化学气相沉积设备还包括：

与所述化学气相沉积炉的进气口可拆卸连接的进气管；

用于连接所述进气管与炉体的机械密封接头；

与所述化学气相沉积炉的出气口可拆卸连接的出气管；

用于连接所述出气管与炉体的机械密封接头；

任选的通过所述进气管与炉体气密性连通的气体混合器；和

任选的通过所述出气管与炉体气密性连通的尾气吸收罐。

在一个或多个实施方案中，所述原料仓与炉体之间的连接管路内设有输送装置及设置在该连接管路外部的用于驱动该输送装置运转的驱动装置；所述连接管路上设有控制阀，分别用于控制所述连接管路与所述原料仓之间的连通以及所述连接管路与所述炉体之间的连通。

在一个或多个实施方案中，所述成品仓与炉体之间的连接管路内设有输送装置及设置在该连接管路外部的用于驱动该输送装置运转的驱动装置；所述连接管路上设有控制阀，分别用于控制所述连接管路与所述成品仓之间的连通以及所述连接管路与所述炉体之间的连通。

在一个或多个实施方案中，所述原料仓与炉体之间的连接管路内设置的输送装置以及所述成品仓与炉体之间的连接管路内设置的输送装置为螺杆输送装置。

本实用新型的积极效果在于，使用本实用新型的化学气相沉积炉，物料进入炉体后在炉体和搅拌结构的带动下能在炉腔内反复移动，动态的物料与碳源气体均匀接触，裂解碳在物料表面均匀沉积，从而实现均匀的碳包覆；此外，本实用新型的化学气相沉积炉的原料仓和成品仓能够各自独立地密封和拆卸，实现了在沉积反应过程中进行原料装填和成品卸取，避免了重启反应前后进行升降温的时间耗费，大大提高了生产效率。

附图说明

图1为本实用新型实施例的化学气相沉积炉的结构示意图。

图2为搅拌结构的示意性结构。

图3为螺旋叶片的示意性结构。

图4为炉体的纵向剖面图。

附图标记说明如下：

1-进气口；2-进气口；3-气体混合器；4-控制阀；5-原料仓；6-输送器；7-驱动装置；8-炉体；9-设置在炉体内壁上的搅拌结构；10-设置在炉体中心轴线上的搅拌结构；11-驱动装置；12-成品仓；13-尾气吸收罐；14-尾气管道。

具体实施方式

本实用新型通过在化学气相沉积炉体内设置搅拌结构(尤其是同时在炉体内壁上及炉体中心轴线上设置搅拌结构)，可以实现物料传输与物料混匀两项功能，动态的物料与反应气体均匀接触，从而实现均匀的反应。此外，本实用新型的化学气相沉积炉的原料仓和成品仓都可设置为密封状态，可各自独立地密封和拆卸；通过气体交换，可实现保护气保护，使得物料不与空气接触。

具体而言，本实用新型提供的化学气相沉积炉包括：炉体，进料口，出料口，进气口，出气口和设置于炉体内部的搅拌结构。

炉体可以是各种尺寸、各种形状，可以是常规的化学气相沉积炉的炉体。

进气口和出气口通常设置在炉体两端。通常，这两个开口的中心位于炉体的中心轴线上。在某些实施方案中，进气口和出气口分别设置成与炉体一体成型的向外凸出的管路。

进料口和出料口分别设置在炉体两端侧面上，分别用于与原料仓和成品仓连通。所述两个开口尽可能地靠近炉体的两端。例如，当安装上本实用新型所述的输送器后，所述炉体两侧的开口的设置使得所述输送器的外侧恰好与炉体的端面持平。通常，从炉体的纵向剖面看，所述进料口和出料口优选对称设置在中心轴线的两侧。通常，进料口设置在进气口一侧，出料口设置在出气口一侧。

设置在炉体内部的搅拌结构用于带动进入炉体的物料在炉腔内反复移动，使动态的物料与反应气体均匀接触。该搅拌结构可以是设置在炉体中心轴线上与炉体同轴的搅拌结构，或者是设置在炉体内壁上的搅拌结构，或者同时包括设置在炉体中心轴线上与炉体同轴的搅拌结构和设置在炉体内壁上的搅拌结构。本文中，“轴”、“轴线”或“轴向”的含义与本领域周知含义相同，通常指与炉体直径方向垂直的方向。例如，图1中所示的炉体内部的虚线即表示炉体的轴线。轴向延伸指在轴向方向上延伸，即从炉体的一端延伸至另一端。

设置在炉体中心轴线上与炉体同轴的搅拌结构可为有轴螺旋叶片。示例性的有轴螺旋叶片的示意图如图2所示。通常，在垂直于炉体中心轴线的截面上，该有轴螺旋叶片的中心到其叶片外沿的距离为炉体中心轴线到炉体内壁的距离的30-90％，如30-80％。设置在炉体中心轴线上与炉体同轴的搅拌结构可经由设置在炉体两端内壁上的结构(如固定槽)固定在炉体内。

设置在炉体内壁上的搅拌结构通常与炉体内部一体成型，可以是沿着炉体中心轴线方向延伸的螺旋叶片，或者是炉体径向上规则或不规则的突起。示例性的螺旋叶片可如图3所示。该突起可以是规则的突起，如波浪形的突起。波浪形的突起中，相邻的突起高度可相同，或者间隔的突起高度相同、相邻的突起高度不同。突起也可以是螺旋形式，沿着炉体中心轴线方向延伸。不规则的突起结构中，各突出部分的高度可各不相同，坡度也可各不相同。通常，在垂直于炉体中心轴线的截面上，该设置在炉体内壁上的搅拌结构的最大高度为炉体中心轴线到炉体内壁的距离的10-40％，如10-30％。

炉体通常为圆柱体形式。但若使用圆柱体以外的其它不完全对称的炉体结构，如椭圆体，则需要控制所述搅拌结构径向上的宽度，使例如设置在炉体轴线上的搅拌结构不与炉体最窄处的炉壁接触。

在某些实施方案中，本实用新型的化学气相沉积炉还包括设置在炉体外用以驱动所述搅拌结构转动的驱动装置和/或驱动炉体转动的驱动装置。驱动装置的部件通常包括齿轮、皮带以及动力源等。驱动装置通常设置在进气口和/或出气口处。例如，进气口和出气口设置成与炉体一体成型的向外凸出的管路，驱动装置可设置在该管路上。在允许的情况下，也可使用单一驱动装置，其能同时驱动炉体和设置在炉体中心轴线上的搅拌结构同向或反向转动。通常，驱动炉体自身转动的驱动装置设置在进气管路上，驱动设置在其中心轴线上的搅拌结构的驱动装置设置在出气管路上。出气管路内可容许搅拌结构的搅拌轴穿过，搅拌轴的外径通常小于该管路的内径，如此，未被搅拌轴占据的空间可作为气体通路。

驱动装置的外侧可设有机械密封接头(如轴封)，用于气密性连通通气管和炉体。本实用新型中，示例性的这类机械密封接头的例子可参见例如嘉兴博格曼供应的机械密封接头。

对于叶片的其它结构特征并无特殊限制，可根据炉体自身的直径、大小等做出适当的设置。应理解的是，在炉体的进料口和出料口处，炉体内壁上的叶片的设置应不影响到原料从原料仓进入炉体，以及成品从炉体进入成品仓。

在某些实施方案中，本实用新型的化学气相沉积炉包括：

炉体；

分别设置在炉体中心轴线两侧、靠近炉体两端的进料口和出料口；

设置在炉体内壁上沿炉体轴向延伸的与炉体一体成型的螺旋叶片；

设置于炉体内部、沿炉体中心轴线延伸的搅拌结构，所述搅拌结构的搅拌轴设置在炉体的中心轴线上，所述搅拌结构固定在炉体内部设置的固定结构上；

设置在炉体两端的进气口和出气口，所述进气口和出气口均设置为与炉体一体成型的向外凸出的管路，开口的中心位于炉体的中心轴线上；

设置在一个所述管路上用于驱动炉体转动的驱动装置；和

设置在另一个所述管路上用于驱动所述设置于炉体内部、沿炉体中心轴线延伸的搅拌结构转动的驱动装置。

图1示例性的显示了本实用新型化学气相沉积炉的结构，包括炉体8、设置在炉体内壁上的搅拌结构9、设置在炉体中心轴线上的搅拌结构10、以及驱动装置11。在炉体两端和两侧靠近两端的位置上分别设有相应的进气口、出气口、进料口和出料口。

图4显示了同时包括设置在炉体中心轴线上的搅拌结构和设置在炉体内壁上的搅拌结构的炉体的纵向剖面示意图。设置在炉体中心轴线上的搅拌结构的宽度以c表示，炉体内壁上的搅拌结构的宽度/高度以a表示，两者之间的距离以b表示。图4显示，设置在炉体中心轴线上的搅拌结构的搅拌叶的最外沿与炉体内壁上的搅拌结构(如突起或螺旋叶的最外沿)之间隔开一距离b。如前文所述，在垂直于炉体中心轴线的截面上，设置在炉体中心轴线上的搅拌结构的中心到其叶片外沿的距离为炉体中心轴线到炉体内壁的距离(即c/2)的30-90％，设置在炉体内壁上的搅拌结构的最大高度a为炉体中心轴线到炉体内壁的距离的10-40％。例如，当设置在炉体内壁上的搅拌结构为波浪形突起时，该高度a可指该波浪形突起的波峰与波谷之间的距离。因此，在某些实施方案中，设置在炉体中心轴线上的搅拌结构的搅拌叶将与炉体内壁上的螺旋叶片或突起交错重合。例如，当c/2取值90％、a取值40％时，两者在中心轴线的每一侧都将有占炉体径向宽度35％的交错重合部分。这种情况是允许的，只要该设置在炉体轴线上的搅拌结构的搅拌叶将与炉体内壁上的螺旋叶片或突起两者之间不妨碍各自的运转即可。在某些实施方案中，在中心轴线的每一侧的交错重合部分优选为炉体径向宽度的10-30％。对交错重合部分内两者在轴向上的距离并无特殊限制，可结合炉体自身的大小、驱动装置的驱动力等因素设置，以反应物能在所述交错重合部分内顺利被搅拌通过，并充分发生所需的反应为准，这可由本领域技术人员根据常规的手段加以确定。在某些实施方案中，在垂直于炉体中心轴线的截面上，设置在炉体中心轴线上的搅拌结构的中心到其叶片外沿的距离为炉体中心轴线到炉体内壁的距离(即c/2)的10-25％，设置在炉体内壁上的搅拌结构的最大高度a为炉体中心轴线到炉体内壁的距离的10-20％。距离b为炉体径向宽度的5-30％，优选为10-20％。

本实用新型还提供一种化学气相沉积设备，包括本实用新型任一实施方案所述的化学气相沉积炉。通常，该设备还包括与所述化学气相沉积炉的进料口可拆卸连接的原料仓和与所述化学气相沉积炉的出料口可拆卸连接的成品仓。通常，原料仓设置在靠近进气口一侧，成品仓设置在靠近出气口一侧。原料仓用于盛放反应用的固态、半固态或液态原料，成品仓用于容纳反应产物。通常，原料仓和成品仓分别设置在炉体侧壁上的进料口和出料口上。原料仓与成品仓与炉体气密性连通。

原料仓与炉体之间可通过一输送器连通。输送器可以是一管路，优选其内部设有输送装置。在某些实施方案中，输送器内的输送装置是螺杆输送装置。在某些实施方案中，输送器两端分别设有控制阀，用于控制输送器与原料仓之间的连通，以及输送器与炉体之间的连通。输送器上还可设置有驱动装置，用于驱动输送器内部的输送装置的运转。

成品仓与炉体之间可通过一输送器连通，输送器可以是一管路，优选其内部设有输送装置。在某些实施方案中，输送器内的输送装置是螺杆输送装置。输送器上还可设置有驱动装置，用于驱动输送器内部的输送装置的运转。输送器两端也可分别设有控制阀，用于控制输送器与成品仓之间的连通，以及输送器与炉体之间的连通。成品仓可采用耐高温材料制造，优选采用石英材料，其具有耐高温、热膨胀系数低的优点，可重复使用。

原料仓和成品仓与炉体可拆卸地连通。当原料仓中的原料全部输入至炉体内后，可关闭输送器上的控制阀，优选是靠近炉体侧的控制阀，卸下原料仓，通入气体，进行反应。反应过程中，可开启相应的驱动装置，驱动炉体和/或设置在炉体轴线上的搅拌结构的转动。反应结束后，可在出料口上装上成品仓，并可通过驱动装置驱动炉体轴线的搅拌结构，将成品输送至成品仓中。或者，可抬高炉体进气口端，使炉体向出料口端倾斜，任选地同时启动炉体轴线上的搅拌结构，将成品输送至成品仓。或者，可先将成品仓抽真空，然后接到炉体上，通过负压作用(以及任选的在炉体轴线上的搅拌结构的转动的帮助下)将产品输送至成品仓中。

炉体与设在炉体中心轴线上的搅拌结构的转向可相同，例如同为顺时针或逆时针旋转；也可不同，例如炉体顺时针旋转，而搅拌结构逆时针旋转。可根据实际生产情况和生产阶段进行调整。

化学气相沉积设备还可包括与所述化学气相沉积炉的进气口可拆卸连接的进气管和与所述化学气相沉积炉的出气口可拆卸连接的出气管。进气管与进气口之间的以及出气管与出气口之间可通过机械密封接头连接。

化学气相沉积设备还可包括气体混合器，用于混合反应所需的气体。所述气体混合器通过进气管与所述炉体连通。气体混合器上可设置有进气口。通常，气体混合器上设置有两个进气口，分别用于通入保护气体(如氩气)和反应气体(如碳源气体，如乙炔)。气体混合器与炉体气密性连通。

化学气相沉积设备还可包括与出气管连通的尾气吸收罐以及与尾气吸收罐连通的尾气管道。尾气吸收罐用于尾气处理，与炉体气密性连通。在某些实施方案中，所述出气管弯曲成“倒L”型，其水平段与炉体相连，其竖直段与尾气吸收罐相连。尾气管道用于排放经处理的尾气，可弯曲成“倒L”型，其竖直段与尾气吸收罐相连，其水平段与外界相连。

应理解的是，本实用新型中各部件之间的连通均为气密性连通。例如，当连接上气体混合器和尾气吸收罐之后，关闭原料仓与炉体之间的阀门、成品仓与炉体之间的阀门时，即可在炉体内部形成密闭空间。

图1显示了本实用新型化学气相沉积设备的结构示意图。如图1所示，化学气相沉积设备包括化学气相沉积炉、原料仓5、成品仓12、气体混合器3和尾气吸收罐13。炉体8内设置搅拌结构9和搅拌结构10。炉体8两端设有开口，这两个开口可设置成与炉体一体成型的两个管路，两个管路上分别设置驱动装置和机械密封接头(未示出)。图1中示例性地示出了驱动装置11，其用于驱动搅拌结构10的旋转。炉体8自身的旋转可由设置在炉体另一端的驱动装置(未示出)驱动。两个管路可通过进气管和出气管分别与气体混合器3和尾气吸收罐13连通。气体混合器3上设有两个进气口1和2，可分别用于通入保护气体和反应气体(如碳源气体)。在炉体8一侧靠近气体混合器3的位置设有原料仓5，其通过输送器6与炉体8连通。输送器6内设有作为输送装置的螺杆，其通过设置在输送器外的驱动装置7驱动。原料仓5与输送器6之间以及输送器6与炉体8之间分别设有控制阀4。在炉体8的另一侧靠近尾气吸收罐13的位置设有成品仓12，其通过一输送器与炉体8连通。同样地，虽然在图1中未显示，但在成品仓12与输送器之间以及输送器与炉体8之间可分别设有控制阀，用于控制成品仓12与输送器之间的连通以及输送器与炉体8之间的连通。

尾气吸收罐13上还设有与尾气吸收罐13连通的尾气管道14。出气管弯曲成“倒L”型，其水平段与炉体8相连，其竖直段与尾气吸收罐13相连。尾气管道14也弯曲成“倒L”型，其竖直段与尾气吸收罐13相连，其水平段与外界相连。

本实用新型的实施例的化学气相沉积炉用以半连续化化学气相沉积碳包覆的具体运行过程如下：

(1)原料仓5装满粉体物料后，可设置为密封状态，进行气体置换，使内部受保护气保护；

(2)打开原料仓5与输送器6以及输送器6与炉体8之间的控制阀4，开启驱动装置7带动输送器6内的螺杆转动，使物料进入炉体8；

(3)启动炉体8内的搅拌结构10，使物料在炉体8内搅拌混匀，装料量为炉内体积的2/5；

(4)关闭控制阀4，卸下成品仓；

(5)开启进气口1，向炉体8内通入保护气进行气体交换；

(6)对炉体8进行加热；

(7)当温度达到750-950℃后，开启进气口2，向炉体8内通入碳源气体；

(8)启动驱动装置，驱动炉体8及搅拌结构10旋转，使物料在炉体8内搅拌均匀，并进行反应；

(9)反应3-6小时后，关闭进气口2，停止炉体8及搅拌结构10的旋转，连接上成品仓12；

(10)开启成品仓12与炉体8之间的控制阀；

(11)启动搅拌结构10，将碳包覆好的成品螺旋输送到成品仓12内。

在收获成品时，可对原料仓5进行原料装填，待成品输送完成后，可立即进行上述步骤(2)－(11)，从而可避免重启反应前后进行升降温的时间耗费，大大提高了生产效率。

尽管以具体实施例的方式对本实用新型进行了上述说明，但应理解，本实用新型并不限于这些具体实施例。本领域技术人员将意识到，在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，对这些实施例做出的任何修改和变动，都在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种化学气相沉积炉，其特征在于，所述化学气相沉积炉包括：炉体，进料口，出料口，进气口，出气口和设置于炉体内部的搅拌结构；

其中，所述进料口和出料口分别设置在炉体两端侧面上，所述进气口和出气口分别设置在炉体两端。

2.如权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述搅拌结构包括设置在炉体内部空间的搅拌结构、设置在炉体内壁上的搅拌结构、或两者。

3.如权利要求2所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述化学气相沉积炉还包括设置在炉体外部的驱动装置，所述驱动装置包括驱动炉体自身转动的驱动装置、驱动所述设置在炉体内部空间的搅拌结构转动的驱动装置、或两者。

4.如权利要求2所述的化学气相沉积炉，其特征在于，

所述设置在炉体内部空间的搅拌结构为沿着炉体中心轴线方向延伸的有轴螺旋叶片；

所述设置在炉体内壁上的搅拌结构为沿着炉体中心轴线方向延伸的螺旋叶片或炉体径向上规则或不规则的突起。

5.如权利要求4所述的化学气相沉积炉，其特征在于，

在垂直于炉体中心轴线的截面上，所述有轴螺旋叶片的中心到其叶片外沿的距离为炉体中心轴线到炉体内壁的距离的30-90％；

所述设置在炉体内壁上的搅拌结构与炉体一体成型，在垂直于炉体中心轴线的截面上，其最大高度为炉体中心轴线到炉体内壁的距离的10-40％。

6.如权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述进气口和出气口设置在炉体两端，为两个与炉体一体成型的向外凸出的管路，所述管路的中心轴位于炉体的中心轴线上。

7.一种化学气相沉积设备，其特征在于，所述化学气相沉积设备包括：

权利要求1-6中任一项所述的化学气相沉积炉；

与所述化学气相沉积炉的进料口可拆卸连接的原料仓；和

与所述化学气相沉积炉的出料口可拆卸连接的成品仓。

8.如权利要求7所述的化学气相沉积设备，其特征在于，所述化学气相沉积设备还包括：

与所述化学气相沉积炉的进气口可拆卸连接的进气管；

用于连接所述进气管与炉体的机械密封接头；

与所述化学气相沉积炉的出气口可拆卸连接的出气管；

用于连接所述出气管与炉体的机械密封接头；

任选的通过所述进气管与炉体气密性连通的气体混合器；和

任选的通过所述出气管与炉体气密性连通的尾气吸收罐。

9.如权利要求7所述的化学气相沉积设备，其特征在于，

所述原料仓与炉体之间的连接管路内设有输送装置及设置在该连接管路外部的用于驱动该输送装置运转的驱动装置；所述连接管路上设有控制阀，分别用于控制所述连接管路与所述原料仓之间的连通以及所述连接管路与所述炉体之间的连通；和/或

所述成品仓与炉体之间的连接管路内设有输送装置及设置在该连接管路外部的用于驱动该输送装置运转的驱动装置；所述连接管路上设有控制阀，分别用于控制所述连接管路与所述成品仓之间的连通以及所述连接管路与所述炉体之间的连通。

10.如权利要求9所述的化学气相沉积设备，其特征在于，所述原料仓与炉体之间的连接管路内设置的输送装置以及所述成品仓与炉体之间的连接管路内设置的输送装置为螺杆输送装置。