CN209515633U - 一种快速破真空吸嘴 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种快速破真空吸嘴，它包括吸嘴本体(1)，所述吸嘴本体(1)包括底部(1.1)、顶部(1.2)与外壁(1.3)，所述吸嘴本体(1)中心开设有纵向贯通的吸嘴内腔(2)，所述吸嘴本体(1)的外壁(1.3)上开设有泄气孔(9)，所述泄气孔(9)与喷嘴内腔(2)相连通，所述泄气孔(9)远离吸嘴内腔(2)一侧的开口位置处设置有软材片(6)，所述软材片(6)与吸嘴本体(1)外壁(1.3)之间存在间隙。本实用新型一种快速破真空吸嘴，其结构简单，软材片无卡滞可能，随气流变化随时保持堵住或打开泄气孔，可靠性高。

Description

一种快速破真空吸嘴

技术领域

本实用新型涉及一种快速破真空吸嘴，主要用于芯片倒装贴片作业，属于半导体封装技术领域。

背景技术

业内，芯片装片通过吸嘴从晶圆吸取芯片并贴装至基板，设备提供真空透过吸嘴中心孔将芯片在吸嘴上固定，当吸嘴将芯片贴装至基板后，设备关闭真空并提供气流破除吸嘴中心孔内的真空，使得芯片和吸嘴脱离。但常规吸嘴存在以下问题：

1、设备提供的气压不稳定偏小时，破真空的效果将变差；

2、设备提供的气压不稳定偏大时，破真空气流将过大，在吸嘴脱离芯片的瞬间强大的气流将会将附近已贴装芯片吹飞。

针对上述不足，已有一种活塞-泄气孔方式改善吸嘴方案如下：

参见图1，吸嘴底部隔层12装置，隔层具有导通孔，并在隔层装配弹簧11，弹簧上端连接活塞8，活塞中心设有通气孔10，所述通气孔10导通活塞上下部分使得空气流通，在活塞自然状态位置处，设有泄气孔9，并且在吸嘴内腔为真空状态时，活塞上移，但其厚度仍能保持堵住泄气孔9；

上述设置，在内腔为真空状态时，因泄气孔位置开于此时活塞移动位置处，此时内腔仍然保持真空状态，但内腔转为破真空气流时，活塞收到气压作业向下移动并将泄气孔漏出，此时内腔与外界大气连通，从而使得内腔快速升至大气压，形成破真空。

不过上述方案同时存在如下问题：

1、结构加工复杂

a)通过在吸嘴内腔加入弹簧结构，加工较为复杂，而且吸嘴尺寸越小，其加工越复杂，成本较高；

b)活塞结构和吸嘴本体内腔壁的接触程度的要求比较高，接触太紧密，阻力大，接触空隙大，其密封性将变差，此精度将增加吸嘴加工成本。

2、破真空可靠性差

a)该方案是通过破真空时将弹簧下压使得活塞下移从而漏出泄气孔，但因为活塞活塞中心设有通气孔为气流导通设计，在破真空时，气流对活塞的位移有效性存在影响；

b)破真空一般都需在短时间内完成，对活塞动作及时性要求高，此设计会存在活塞机构配合不及时，影响破真空效果；

c)内部结构，不易检查内部状况，当弹簧或活塞出现损坏或卡滞于泄气孔位置时，本结构失去其本身破真空意义，且不易发现。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对上述现有技术提供一种结构简单、可靠性高的快速破真空吸嘴。

本实用新型解决上述问题所采用的技术方案为：一种快速破真空吸嘴，它包括吸嘴本体，所述吸嘴本体包括底部、顶部与外壁，所述吸嘴本体中心开设有纵向贯通的吸嘴内腔，所述吸嘴本体的外壁上开设有泄气孔，所述泄气孔与喷嘴内腔相连通，所述泄气孔远离吸嘴内腔一侧的开口位置处设置有软材片，所述软材片与吸嘴本体外壁之间存在间隙。

优选的，所述吸嘴本体的外壁上设置有一圈环形凸台。

优选的，所述环形凸台位于泄气孔的上方。

优选的，所述泄气孔远离吸嘴内腔一侧的开口位置处形成一平面区域，所述软材片设置于平面区域上。

优选的，所述平面区域上设置有两个螺纹孔，两个螺纹孔对应位于泄气孔两侧。

优选的，所述软材片上设置有两个与螺纹孔相对应的安装孔，所述软材片通过螺栓固定设置于平面区域上。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：

1、加工简单

a)相比现有技术，其破真空结构没有设置内置的破真空装置，其部件相比弹簧、活塞的破真空结构更简单；

b)无需考虑现有破真空的活塞结构与吸嘴本体内腔壁的尺寸匹配问题，对零部件形状尺寸及加工要求低，成本低。

2、可靠性高

a)软材片无卡滞可能，随气流变化随时保持堵住或打开泄气孔，时效性相比已有方案更及时；

b)破真空的软材片结构外露吸嘴本体，易于平时检查，损坏可及时发现，避免长时间处于真空或破真空失效状态。

附图说明

图1为现有的活塞-泄气孔方式喷嘴的结构示意图。

图2为本实用新型一种快速破真空吸嘴的侧视图。

图3为本实用新型一种快速破真空吸嘴的正视图。

图4为本实用新型一种快速破真空吸嘴处于真空吸附状态的示意图。

图5为本实用新型一种快速破真空吸嘴处于破真空状态的示意图。

其中：

吸嘴本体1

底部1.1

顶部1.2

外壁1.3

吸嘴内腔2

环形凸台3

平面区域4

螺纹孔5

软材片6

螺栓7

活塞8

泄气孔9

通气孔10

弹簧11

隔层12。

具体实施方式

以下结合附图实施例对本实用新型作进一步详细描述。

如图1～图4所示，本实用新型涉及的一种快速破真空吸嘴，它包括吸嘴本体1，所述吸嘴本体1包括底部1.1、顶部1.2与外壁1.3，所述吸嘴本体1中心开设有纵向贯通的吸嘴内腔2，所述吸嘴本体1的外壁1.3上开设有泄气孔9，所述泄气孔9与喷嘴内腔2相连通，所述吸嘴本体1的外壁1.3上设置有一圈环形凸台3，所述环形凸台3位于泄气孔9的上方，所述泄气孔9远离吸嘴内腔2一侧的开口位置处形成一平面区域4，所述泄气孔9远离吸嘴内腔2一侧的开口位置处设置有软材片6，所述软材片6设置于平面区域4上，所述平面区域4上设置有两个螺纹孔5，两个螺纹孔5对应位于泄气孔9两侧，所述软材片6上设置有两个与螺纹孔相对应的安装孔，螺栓7拧紧于螺纹孔5后螺栓头部与平面区域仍保持一段距离，可以使软材片6与平面区域4表面形成有间隙；

将螺栓通过软材片通孔固定于螺纹孔，通过使用适当长度螺栓，使得固定后软材片可前后移动距离适当。

工作原理：

当吸嘴内腔内为真空时，软材片因真空气流被吸附至吸嘴外壁堵住泄气孔，使得吸嘴内腔仍然可以保持真空状态；当吸嘴内腔内为破真空气流时，软材片被气流吹开，使得泄气孔打开和外界大气连通，吸嘴内腔内真空快速破除。

除上述实施例外，本实用新型还包括有其他实施方式，凡采用等同变换或者等效替换方式形成的技术方案，均应落入本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种快速破真空吸嘴，其特征在于：它包括吸嘴本体(1)，所述吸嘴本体(1)包括底部(1.1)、顶部(1.2)与外壁(1.3)，所述吸嘴本体(1)中心开设有纵向贯通的吸嘴内腔(2)，所述吸嘴本体(1)的外壁(1.3)上开设有泄气孔(9)，所述泄气孔(9)与喷嘴内腔(2)相连通，所述泄气孔(9)远离吸嘴内腔(2)一侧的开口位置处设置有软材片(6)，所述软材片(6)与吸嘴本体(1)外壁(1.3)之间存在间隙。

2.根据权利要求1所述的一种快速破真空吸嘴，其特征在于：所述吸嘴本体(1)的外壁(1.3)上设置有一圈环形凸台(3)。

3.根据权利要求2所述的一种快速破真空吸嘴，其特征在于：所述环形凸台(3)位于泄气孔(9)的上方。

4.根据权利要求1所述的一种快速破真空吸嘴，其特征在于：所述泄气孔(9)远离吸嘴内腔(2)一侧的开口位置处形成一平面区域(4)，所述软材片(6)设置于平面区域(4)上。

5.根据权利要求4所述的一种快速破真空吸嘴，其特征在于：所述平面区域(4)上设置有两个螺纹孔(5)，两个螺纹孔(5)对应位于泄气孔(9)两侧。

6.根据权利要求5所述的一种快速破真空吸嘴，其特征在于：所述软材片(6)上设置有两个与螺纹孔相对应的安装孔，所述软材片(6)通过螺栓(7)固定设置于平面区域(4)上。