CN209443081U - 一种真空镀膜用基材固定架 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种真空镀膜用基材固定架，其技术方案要点是：包括固定在真空沉积腔室外部的伺服电机，所述伺服电机驱动位于所述真空沉积腔室内部的第一固定杆转动，所述第一固定杆上螺纹连接有固定环，所述固定环上固定有两个连接杆，两个所述连接杆的下方设置有挂盘，所述挂盘顶面固定有若干个第一螺杆，所述连接杆上开设有供所述第一螺杆穿过的圆孔，所述第一螺杆的外部还螺纹连接有螺纹环套，所述挂盘上螺纹连接有若干个第二螺杆，所述第二螺杆的底端固定有L形板，若干个所述L形板上均滑移连接有夹板，真空镀膜用基材固定架能将基材牢靠的固定，且利用基材固定架能够实现对基材高度和角度位置的调节。
Description
技术领域
本实用新型涉及涂装领域，特别涉及一种真空镀膜用基材固定架。
背景技术
真空镀膜是一种产生薄膜材料的技术。在真空沉积腔室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物(称靶材)进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基材)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。
在真空镀膜的过程中，工业化生产会一次性进行多个基材的镀膜，这些基材会被放置到真空镀膜装置中的真空沉积腔室内，在真空沉积腔室内完成镀膜。如果单一的将待镀膜的基材直接固定在真空沉积腔室内将不利于真空镀膜层形成的质量，容易发生镀膜不均的情况，此外现有的装置中还无法根据镀膜工艺灵活调节基材在基材固定架上的位置。
实用新型内容
针对背景技术中提到的问题，本实用新型的目的是提供一种真空镀膜用基材固定架，以解决背景技术中提到的问题。
本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
一种真空镀膜用基材固定架，包括固定在真空沉积腔室外部的伺服电机，所述伺服电机驱动位于所述真空沉积腔室内部的第一固定杆转动，所述第一固定杆上螺纹连接有固定环，所述固定环上固定有两个连接杆，两个所述连接杆的下方设置有挂盘，所述挂盘顶面固定有若干个第一螺杆，所述连接杆上开设有供所述第一螺杆穿过的圆孔，所述第一螺杆的外部还螺纹连接有螺纹环套，所述挂盘上螺纹连接有若干个第二螺杆，所述第二螺杆的底端固定有L形板，若干个所述L形板上均滑移连接有夹板，所述夹板上固定有拉杆，所述L形板上开设有供所述拉杆穿过的槽孔，所述拉杆在远离所述夹板的一端固定有限位块，所述限位块与所述夹板之间还连接有弹簧。
通过采用上述技术方案，当将待镀膜的基材夹持在L形板和夹板之间时，在拉杆外部套设弹簧的弹力作用下，L形板和夹板将会把基材牢牢的卡紧，当操作者需要调节基材在挂盘上的角度时，操作者可以转动第二螺杆，当第二螺杆转动时将带动L形板转动，就能调节其角度，当需要调节基材的高度时，操作者可以拉动第一螺杆穿过圆孔，调节螺纹环套在第一螺杆上的锁定位置，就能够方便调节基材的高度，当进行真空镀膜时，可以启动伺服电机，伺服电机将带动挂盘转动，使得镀膜更加均匀；故真空镀膜用基材固定架能将基材牢靠的固定，且利用基材固定架能够实现对基材高度和角度位置的调节，并且利用基材固定架能够带动基材在真空沉积腔室内转动。
较佳的，所述伺服电机的电机轴端部连接有第二固定杆，所述第一固定杆在远离所述挂盘的一端具有与所述第一固定杆一体成型的第一轴肩，所述第二固定杆在远离所述伺服电机的一端具有与所述第二固定杆一体成型的第二轴肩，所述第一轴肩和所述第二轴肩的外部共同螺纹连接有紧固套。
通过采用上述技术方案，当拧紧第一轴肩和第二轴肩外部螺纹连接的紧固套时能够实现对第一连接杆和第二连接杆的安装，同时也方便了进行拆卸。
较佳的，所述第一固定杆上还具有与所述第一固定杆一体成型的第三轴肩，所述第一固定杆外部还螺纹连接有锁紧螺母，螺纹连接在所述第一固定杆外部的所述固定环被卡接在所述第三轴肩和所述锁紧螺母之间。
通过采用上述技术方案，当安装固定环到第一固定杆的外部时，操作者可以将固定环拧紧到第一固定杆外部，使得固定环与第三轴肩抵触，之后拧紧锁紧螺母就能将固定环安装到第三轴肩和锁紧螺母之间。
较佳的，所述L形板和所述夹板在相互靠近的一面均固定有一层防滑垫，两个所述防滑垫在相互靠近的一面均开设有防滑沟槽。
通过采用上述技术方案，L形板和夹板上的防滑垫能够使得夹持固定基材时更加稳固，防滑垫上的防滑沟槽能够增大与基材之间的接触摩擦力。
较佳的，所述L形板和所述夹板在相互靠近的一面均固定有凸出块。
通过采用上述技术方案，L形板和夹板上的凸出块能够限制基材在L形板和夹板上的夹持位置。
较佳的，所述第二螺杆在远离所述L形板的一端固定有圆盘，所述圆盘在远离所述第二螺杆的一面偏心固定有把手杆。
通过采用上述技术方案，操作者通过转动圆盘上的把手杆能够带动第二螺杆转动，较为轻松方便。
较佳的，所述挂盘上还固定有两个固定块，两个所述固定块上均固定有导向杆，两个所述连接杆上均开设有供所述导向杆穿过的导向孔。
通过采用上述技术方案，利用固定块上的固定杆与连接杆上的导向孔的配合能够使得挂盘能够进行竖直调节。
较佳的，所述螺纹环套上还固定有两片旋转耳。
通过采用上述技术方案，螺纹环套上的旋转耳能够方便操作者拧动螺纹环套。
综上所述，本实用新型主要具有以下有益效果：
一、真空镀膜用基材固定架能将基材牢靠的固定，且利用基材固定架能够实现对基材高度和角度位置的调节，且装置内的多个部件可以方便进行拆卸更换。
二、利用基材固定架能够带动基材在真空沉积腔室内转动，能够提高真空镀膜时基材表面镀膜扩散的均匀度，提高镀膜的质量。
附图说明
图1是真空镀膜用基材固定架的结构示意图之一；
图2是图1中的A处放大图；
图3是真空镀膜用基材固定架的结构正剖图；
图4是图3中的B处放大图；
图5是真空镀膜用基材固定架的结构示意图之二；
图6是图5中的C处放大图。
附图标记：1、伺服电机；2、第一固定杆；3、固定环；4、连接杆；5、挂盘；6、第一螺杆；7、圆孔；8、螺纹环套；9、第二螺杆；10、L形板；11、夹板；12、拉杆；13、槽孔；14、限位块；15、弹簧；16、第二固定杆；17、第一轴肩；18、第二轴肩；19、紧固套；20、第三轴肩；21、锁紧螺母；22、防滑垫；23、防滑沟槽；24、凸出块；25、圆盘；26、把手杆；27、固定块；29、导向杆；30、导向孔；31、旋转耳。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
参考图1和图2，一种真空镀膜用基材固定架，包括固定在真空沉积腔室外部的伺服电机1，其中伺服电机1驱动位于真空沉积腔室内部的第一固定杆2转动，在第一固定杆2上螺纹连接有固定环3，在固定环3上固定有两个连接杆4，固定环3和连接杆4可以通过利用固定环3与第一固定杆2之间的螺旋进行拆卸；其中在两个连接杆4的下方设置有挂盘5，为了方便挂盘5高度的调节，在挂盘5顶面固定有两个第一螺杆6，同时在连接杆4上开设有供第一螺杆6穿过的圆孔7(参考图3)，第一螺杆6可以穿过圆孔7进行高度位置的调节，为了锁定第一螺杆6的位置，在第一螺杆6的外部还螺纹连接有螺纹环套8；为了实现将基材固定在挂盘5下方和实现对基材角度进行调节，在挂盘5上螺纹连接有两个第二螺杆9，同时在第二螺杆9的底端固定有L形板10，并在两个L形板10上均滑移连接有夹板11，为了将基材夹持在夹板11和L形板10之间，在夹板11上固定有拉杆12，在L形板10上开设有供拉杆12穿过的槽孔13(参考图3)，并将拉杆12在远离夹板11的一端固定有限位块14，同时在限位块14与夹板11之间还连接有弹簧15，其中弹簧15的一端固定在限位块14上，弹簧15的另一端固定在夹板11上；当将待镀膜的基材夹持在L形板10和夹板11之间时，在拉杆12外部套设弹簧15的弹力作用下，L形板10和夹板11将会把基材牢牢的卡紧，当操作者需要调节基材在挂盘5上的角度时，操作者可以转动第二螺杆9，当第二螺杆9转动时将带动L形板10转动，就能调节其角度，当需要调节基材的高度时，操作者可以拉动第一螺杆6穿过圆孔7，调节螺纹环套8在第一螺杆6上的锁定位置，就能够方便调节基材的高度，当进行真空镀膜时，可以启动伺服电机1，伺服电机1将带动挂盘5转动，使得镀膜更加均匀；故真空镀膜用基材固定架能将基材牢靠的固定，且利用基材固定架能够实现对基材高度和角度位置的调节，并且利用基材固定架能够带动基材在真空沉积腔室内转动。
参考图3和图4，为了方便第一固定杆2的拆卸，在伺服电机1的电机轴端部连接有第二固定杆16，其中第一固定杆2在远离挂盘5的一端具有与第一固定杆2一体成型的第一轴肩17，第二固定杆16在远离伺服电机1的一端具有与第二固定杆16一体成型的第二轴肩18，同时将第一轴肩17和第二轴肩18的外部共同螺纹连接有紧固套19，当拧紧第一轴肩17和第二轴肩18外部螺纹连接的紧固套19时能够实现对第一连接杆4和第二连接杆4的安装，同时也方便了进行拆卸；为了使得固定环3在螺纹连接的第一固定杆2外部后不会发生脱落，在第一固定杆2上还具有与第一固定杆2一体成型的第三轴肩20，在第一固定杆2外部还螺纹连接有锁紧螺母21，其中螺纹连接在第一固定杆2外部的固定环3被卡接在第三轴肩20和锁紧螺母21之间，当安装固定环3到第一固定杆2的外部时，操作者可以将固定环3拧紧到第一固定杆2外部，使得固定环3与第三轴肩20抵触，之后拧紧锁紧螺母21就能将固定环3安装到第三轴肩20和锁紧螺母21之间。
参考图2，为了使得基材在L形板10和夹板11之间被稳定夹持固定，将L形板10和夹板11在相互靠近的一面均固定有一层防滑垫22，同时将两个防滑垫22在相互靠近的一面均开设有防滑沟槽23，L形板10和夹板11上的防滑垫22能够使得夹持固定基材时更加稳固，防滑垫22上的防滑沟槽23能够增大与基材之间的接触摩擦力；为了限制基材被夹紧在L形板10和夹板11之间缝隙的位置，在L形板10和夹板11在相互靠近的一面均固定有凸出块24，L形板10和夹板11上的凸出块24能够限制基材在L形板10和夹板11上的夹持位置；为了方便操作者带动第二螺杆9转动，将第二螺杆9在远离L形板10的一端固定有圆盘25，同时将圆盘25在远离第二螺杆9的一面偏心固定有把手杆26，操作者通过转动圆盘25上的把手杆26能够带动第二螺杆9转动，较为轻松方便。
参考图5和图6，为了方便在调节挂盘5高度时，对竖直方向调节的挂盘5进行导向，在挂盘5上还固定有两个固定块27，同时在两个固定块27上均固定有导向杆29，并且在两个连接杆4上均开设有供导向杆29穿过的导向孔30，利用固定块27上的固定杆与连接杆4上的导向孔30的配合能够使得挂盘5能够进行竖直调节；为了方便操作者拧动螺纹环套8，在螺纹环套8上还固定有两片旋转耳31，螺纹环套8上的旋转耳31能够方便操作者拧动螺纹环套8。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (8)
1.一种真空镀膜用基材固定架，包括固定在真空沉积腔室外部的伺服电机(1)，其特征在于：所述伺服电机(1)驱动位于所述真空沉积腔室内部的第一固定杆(2)转动，所述第一固定杆(2)上螺纹连接有固定环(3)，所述固定环(3)上固定有两个连接杆(4)，两个所述连接杆(4)的下方设置有挂盘(5)，所述挂盘(5)顶面固定有若干个第一螺杆(6)，所述连接杆(4)上开设有供所述第一螺杆(6)穿过的圆孔(7)，所述第一螺杆(6)的外部还螺纹连接有螺纹环套(8)，所述挂盘(5)上螺纹连接有若干个第二螺杆(9)，所述第二螺杆(9)的底端固定有L形板(10)，若干个所述L形板(10)上均滑移连接有夹板(11)，所述夹板(11)上固定有拉杆(12)，所述L形板(10)上开设有供所述拉杆(12)穿过的槽孔(13)，所述拉杆(12)在远离所述夹板(11)的一端固定有限位块(14)，所述限位块(14)与所述夹板(11)之间还连接有弹簧(15)。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用基材固定架，其特征在于：所述伺服电机(1)的电机轴端部连接有第二固定杆(16)，所述第一固定杆(2)在远离所述挂盘(5)的一端具有与所述第一固定杆(2)一体成型的第一轴肩(17)，所述第二固定杆(16)在远离所述伺服电机(1)的一端具有与所述第二固定杆(16)一体成型的第二轴肩(18)，所述第一轴肩(17)和所述第二轴肩(18)的外部共同螺纹连接有紧固套(19)。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用基材固定架，其特征在于：所述第一固定杆(2)上还具有与所述第一固定杆(2)一体成型的第三轴肩(20)，所述第一固定杆(2)外部还螺纹连接有锁紧螺母(21)，螺纹连接在所述第一固定杆(2)外部的所述固定环(3)被卡接在所述第三轴肩(20)和所述锁紧螺母(21)之间。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用基材固定架，其特征在于：所述L形板(10)和所述夹板(11)在相互靠近的一面均固定有一层防滑垫(22)，两个所述防滑垫(22)在相互靠近的一面均开设有防滑沟槽(23)。
5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜用基材固定架，其特征在于：所述L形板(10)和所述夹板(11)在相互靠近的一面均固定有凸出块(24)。
6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用基材固定架，其特征在于：所述第二螺杆(9)在远离所述L形板(10)的一端固定有圆盘(25)，所述圆盘(25)在远离所述第二螺杆(9)的一面偏心固定有把手杆(26)。
7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用基材固定架，其特征在于：所述挂盘(5)上还固定有两个固定块(27)，两个所述固定块(27)上均固定有导向杆(29)，两个所述连接杆(4)上均开设有供所述导向杆(29)穿过的导向孔(30)。
8.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用基材固定架，其特征在于：所述螺纹环套(8)上还固定有两片旋转耳(31)。
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