CN209427686U - 一种硅片清洗进料处的推力辅助装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种硅片清洗进料处的推力辅助装置，包括固定支架，还包括导向装置、横向移动装置、纵向移动装置和隔挡装置，导向装置设于固定支架上，隔挡装置与横向移动装置连接，隔挡装置与导向装置相配合，纵向移动装置与隔挡装置连接。本实用新型的有益效果是使得硅片清洗进料处的推力辅助装置结构简单，便于安装拆卸，采用横向气缸和纵向气缸实现其横向移动和纵向移动，实现对弹夹式工装施加推力，工作效率高，且制作成本低，降低了工作人员的劳动强度。

Description

一种硅片清洗进料处的推力辅助装置

技术领域

本实用新型属于硅片生产技术领域，尤其是涉及一种硅片清洗进料处的推力辅助装置。

背景技术

水道线用于硅片经脱胶机后，通过弹夹式工装装载硅片经水道输送线，把满料载具经机械手送入插片清洗一体机，同时把一体机中的空载具经机械手送至空载具回流线回流进行二次利用。现有传送线存在卡弹夹式工装的情况，导致传送弹夹式工装效率不高，需要人工手动操作，工作强度大。

发明内容

鉴于上述问题，本实用新型要解决的问题是提供一种硅片清洗进料处的推力辅助装置，尤其适合硅片清洗时进料处的水道传送线上使用，对弹夹式工装在传送过程中施加推力，减少弹夹式工装卡住情况发生，提高工作效率。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种硅片清洗进料处的推力辅助装置，包括固定支架，还包括导向装置、横向移动装置、纵向移动装置和隔挡装置，导向装置设于固定支架上，隔挡装置与横向移动装置连接，隔挡装置与导向装置相配合，纵向移动装置与隔挡装置连接。

进一步的，隔挡装置包括移动支架、隔挡板和导向杆，移动支架与横向移动装置连接，隔挡板与移动支架转动连接，导向杆与移动支架固定连接。

进一步的，导向杆与导向装置滑动连接。

进一步的，纵向移动装置与移动支架连接，纵向移动装置与隔挡板相配合。

进一步的，横向移动装置为横向气缸。

进一步的，纵向移动装置为纵向气缸。

进一步的，隔挡板设有缓冲装置。

本实用新型具有的优点和积极效果是：

1.由于采用上述技术方案，使得硅片清洗进料处的推力辅助装置结构简单，便于安装拆卸，采用横向气缸和纵向气缸实现其横向移动和纵向移动，实现对弹夹式工装施加推力，工作效率高，且制作成本低，降低了工作人员的劳动强度；

2.该硅片清洗进料处的推力辅助装置的设置，使得硅片在清洗进料处的水道传送线上减少卡住的情况，使得硅片清洗达到自动化目的，节约人工成本，方便过程管控，便于自动化操作。

附图说明

图1是本实用新型的一实施例的结构示意图。

图中：

1、横向伸缩装置 2、导向杆 3、导向装置

4、固定支架 5、移动支架 6、纵向移动装置

7、第一隔挡板 8、转轴 9、第二隔挡板

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的说明。

图1示出了本实用新型一实施例的结构，具体示出了本实施例的结构，本实施例涉及一种硅片清洗进料处的推力辅助装置，用于对硅片清洗时水道传送线上弹夹式工装施加推力，使其在水道传送线上能够快速移动，减少弹夹式工装卡住的现象发生，减少工作人员的劳动强度，提高工作效率。

上述的硅片清洗进料处的推力辅助装置，包括固定支架4，便于该硅片清洗进料处的推力辅助装置的安装，还包括导向装置3、横向移动装置1、纵向移动装置6和隔挡装置，导向装置3用于对隔挡装置的移动进行导向，隔挡装置与导向装置3相配合，导向装置3固定安装在固定支架4上，隔挡装置与横向移动装置1连接，横向移动装置1用于带动隔挡装置横向运动，隔挡装置用于对弹夹式工装施加推力，纵向移动装置6与隔挡装置连接，纵向移动装置6用于带动隔挡装置进行纵向移动，便于隔挡装置对弹夹式工装施加推力。通过导向装置3，使得隔挡装置在横向移动装置1的作用下进行横向移动，当隔挡装置运动至横向位置后，纵向移动装置6带动隔挡装置纵向动作，对弹夹式工装施加推力，避免弹夹式工装卡在水道传送线上。

具体地，固定支架4为L形板状结构，固定支架4的长边固定安装在水道传送线的上方，固定支架4的短边上固定安装有导向装置3，这里导向装置3为导向筒，为内部有空间两端开口的筒状结构，且导向装置3的数量为多个，优选的，导向装置3的数量为两个，对称固定安装在固定支架4的短边板上，导向装置3可以是圆柱状，也可以是正方形，还可以是其他形状，根据实际需求进行选择，优选的，导向装置3的形状为圆柱形，内部具有空间，且两端开口，导向装置3与隔挡装置相配合，对隔挡装置进行导向。

在固定支架4的短边板上设有通孔，该通孔位于两个导向装置3的中间，横向移动装置1固定安装在固定支架4上，且横向移动装置1的移动杆穿过通过与隔挡装置固定连接，通过移动杆的横向移动带动隔挡装置的横向移动，实现隔挡装置对弹夹式工装施加推力。横向移动装置1可以是气缸，也可以是液压缸，或者是螺纹螺杆结构，或者是其他横向移动装置，根据实际需求进行选择，优选的，横向移动装置1为气缸，气缸固定安装在固定支架4上，气缸的伸缩杆的移动段穿过通孔与隔挡装置固定连接，通过伸缩杆的移动带动隔挡装置的横向移动。在本实施例中，横向移动装置1水平安装在固定支架4上，便于带动隔挡装置水平横向移动。

上述的隔挡装置用于与弹夹式工装接触，对弹夹式工装施加推力。该隔挡装置包括移动支架5、隔挡板和导向杆2，移动支架5便于隔挡板和导向杆2的安装，移动支架5与横向移动装置1连接，即移动支架5与横向移动装置1的伸缩杆的端部固定连接，横向移动装置1的伸缩杆的来回往复运动带动移动支架5移动，进而带动隔挡板横向移动；隔挡板与移动支架5转动连接，使得隔挡板相对移动支架5可以转动，进而隔挡板可以对弹夹式工装施加推力，导向杆2与移动支架5固定连接，导向杆2与导向装置3相配合，带动隔挡板进行横向往复运动。

移动支架5包括纵向安装板和横向安装板，纵向安装板与横向安装板垂直固定连接，纵向安装板与横向安装板可以通过螺栓等连接件固定连接，也可以是一体成型，或者是其他固定连接方式，根据实际需求进行选择，优选的，纵向安装板与横向安装板一体成型。横向安装板位于纵向安装板的中部，纵向安装板的上部与横向移动装置1的气缸的伸缩杆固定连接，通过伸缩杆的来回往复运动，带动移动支架5移动；同时，在纵向安装板的上部，位于与横向移动装置1连接的两侧，对称固定安装有导向杆2，导向杆2的数量与导向装置3的数量相一致，导向杆2与导向装置3相配合，实现对隔挡装置的导向，这里，导向杆2的形状与导向装置3的内部空间的形状相适应，均为圆柱体结构，导向装置3与固定支架4的连接处设有通孔，该通孔与导向装置3内部空间连通，导向杆2穿过该通过插入导向装置3的内部空间，且导向杆2的另一端穿过导向装置3的内部空间并延伸出导向装置3，使得导向杆2能够在导向装置3内自由滑动，对隔挡板进行导向。在纵向安装板的下部固定安装有隔挡板，隔挡板包括安装板和隔挡部，安装板通过转轴8与隔挡板转动连接，使得隔挡部相对安装板能够自由转动，且在转轴8上安装有扭簧，便于隔挡部在受到纵向移动装置6的作用力后，能够在扭簧的扭力作用下恢复至原位。该隔挡部包括第一隔挡板7和第二隔挡板9，第一隔挡板7与安装板通过转轴8转动连接，第一隔挡板7与第二隔挡板9通过螺栓固定连接，第一隔挡板7与第二隔挡板9还可以通过铆钉规定连接，或者是其他固定连接方式，根据实际需求进行选择。第二隔挡板9与弹夹式工装接触，对弹夹式工装提供推力，在第二隔挡板9上安装有缓冲装置，减少第二隔挡板9与弹夹式工装之间的摩擦，延长第二隔挡板9和弹夹式工装的使用寿命，优选的，这里，缓冲装置为橡胶垫。

在横向安装板上固定安装有纵向移动装置6，这里，纵向移动装置6可以气缸，也可以是液压缸，或者是螺纹螺杆结构，或者是其他纵向移动装置，根据实际需求进行选择，优选的，这里纵向移动装置6为气缸，在横向安装板上设有通孔，纵向移动装置6的气缸的伸缩杆穿过通孔，并能够向下做往复运动，进而带动隔板部运动，在纵向移动装置6的伸缩杆的自由端部固定安装有接触帽，这里接触帽为橡胶帽，纵向伸缩装置6的伸缩杆向下运动，与第一隔挡板7接触，并随着伸缩杆的进一步向下运动，对第一隔挡板7施加推力，使得第一隔挡板7沿着转轴8进行转动，进而使得第二隔挡板9进行转动，使得第二隔挡板9对与之接触的弹夹式工装施加推力，使得弹夹式工装在水道传送线上快速移动，不会卡住。当纵向移动装置6的伸缩杆向上移动，伸缩杆自由端的接触帽离开第一隔挡板7，使得第一隔挡板7在扭簧的作用下恢复至原位置，等下一次纵向移动装置6的伸缩杆向下移动，对下一个弹夹式工装施加推力。

本实施例的工作过程：该硅片清洗进料处的推力辅助装置在水道传送线上对弹夹式工装施加推力时，当弹夹式工装运动至该硅片清洗进料处的推力辅助装置的下部时，横向移动装置1的气缸的伸缩杆伸出，使得导向杆2在导向装置3中自由移动，对隔挡装置进行导向，使得隔挡装置移动至弹夹式工装的正上方，纵向移动装置6的伸缩杆伸出，向下移动，使得纵向移动装置6的伸缩杆的自由端的接触帽与隔挡部接触，对第一隔挡板7施加推力，使得第一隔挡板7沿着转轴8转动，进而使得第二隔挡板9对弹夹式工装施加推力，使得弹夹式工装快速在水道传送线上移动，减少其卡住现象发生，当弹夹式工装在水道传送线上继续移动后，纵向移动装置6的伸缩杆向上移动，与第一隔挡板7分离，第一隔挡板7在扭簧的作用力下恢复至原位，横向移动装置1的伸缩杆缩回至原位，完成对一个弹夹式工装施加推力，等下一个弹夹式工装运动至该推力辅助装置处时，重复上述动作，对弹夹式工装施加推力，避免其在水道传送线上卡住，提高工作效率。

以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。

Claims (7)

1.一种硅片清洗进料处的推力辅助装置，包括固定支架，其特征在于：还包括导向装置、横向移动装置、纵向移动装置和隔挡装置，所述导向装置设于所述固定支架上，所述隔挡装置与所述横向移动装置连接，所述隔挡装置与所述导向装置相配合，所述纵向移动装置与所述隔挡装置连接。

2.根据权利要求1所述的硅片清洗进料处的推力辅助装置，其特征在于：所述隔挡装置包括移动支架、隔挡板和导向杆，所述移动支架与所述横向移动装置连接，所述隔挡板与移动支架转动连接，所述导向杆与所述移动支架固定连接。

3.根据权利要求2所述的硅片清洗进料处的推力辅助装置，其特征在于：所述导向杆与所述导向装置滑动连接。

4.根据权利要求2或3所述的硅片清洗进料处的推力辅助装置，其特征在于：所述纵向移动装置与所述移动支架连接，所述纵向移动装置与所述隔挡板相配合。

5.根据权利要求4所述的硅片清洗进料处的推力辅助装置，其特征在于：所述横向移动装置为横向气缸。

6.根据权利要求5所述的硅片清洗进料处的推力辅助装置，其特征在于：所述纵向移动装置为纵向气缸。

7.根据权利要求5或6所述的硅片清洗进料处的推力辅助装置，其特征在于：所述隔挡板设有缓冲装置。