CN209406732U - 一种涂布装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种涂布装置。本实用新型提供的涂布装置，包括可沿基板的涂布平面移动的移动装置，移动装置上设置有涂布头和可吹出气流的风刀组件，涂布头用于在涂布平面涂覆色阻材料，风刀组件包括第一出风管和第二出风管，第一出风管的出风口倾斜指向涂布平面，用于通过气流将基板上的异物剥离涂布平面，第二出风管的出风口沿移动装置的移动方向，第二出风管用于将从涂布平面上剥离的异物吹送至基板的边缘之外。本实用新型的涂布装置驱除基板的涂布平面上残留的异物和水渍，提升彩色滤光片的良率。

Description

一种涂布装置

技术领域

本实用新型涉及液晶显示技术领域，尤其涉及一种涂布装置。

背景技术

随着液晶显示行业的快速发展，液晶显示行业的市场竞争越来越大，如何降低生产成本，提高产品品质和良率，成为公司增强自身市场竞争力的重要战略方向。

对于液晶显示器的彩色滤光片的生产制造，普遍是采用涂布后曝光的方式在基板表面进行色阻的填充，此种方式进行涂布时，如果基板表面存在异物会导致膜面褶皱，严重时甚至会导致基板不能使用，因而在涂布色阻膜之前，需要先清除基板表面的异物。目前液晶显示行业中，均是通过清洗装置来减少成膜前基板表面的异物，清洗装置包括能够清扫基板表面异物的软毛刷及冲洗基板表面的水管，通过软毛刷及水管流出的水将基板表面清洗干净。

但是，在清洗装置清洗完基板后，基板会被移动至涂膜装置，在基板的移动过程中仍然会附着异物，而此过程中基板表面附着的异物无法得到有效清除，加之清洗装置也可能会导致基板表面残留水渍及附着毛刷掉落的纤维异物，这些均会导致基板表面残留异物，进而导致膜面褶皱，降低彩色滤光片的品质。

实用新型内容

本实用新型提供一种涂布装置，可有效清除彩色滤光片膜下异物，提升彩色滤光片的良率。

本实用新型提供一种涂布装置，包括可沿基板的涂布平面移动的移动装置，移动装置上设置有涂布头和可吹出气流的风刀组件，涂布头用于在涂布平面涂覆色阻材料，风刀组件包括第一出风管和第二出风管，第一出风管的出风口倾斜指向涂布平面，用于通过气流将基板上的异物剥离涂布平面，第二出风管的出风口沿移动装置的移动方向，第二出风管用于将从涂布平面上剥离的异物吹送至基板的边缘之外。

在一种可能的实施方式中，第一出风管的出风口指向移动装置的移动方向以及涂布平面之间的区域。

在一种可能的实施方式中，风刀组件设置在移动装置的前侧。

在一种可能的实施方式中，第二出风管的出风口与涂布平面平行，并且第二出风管的出风口高于第一出风管的出风口。

在一种可能的实施方式中，风刀组件还包括风机，风机用于向第一出风管和第二出风管输送气流。

在一种可能的实施方式中，风刀组件还包括加热件，加热件用于加热风刀组件吹出的气流。

在一种可能的实施方式中，风刀组件吹出的气流的温度在20摄氏度至30摄氏度之间。

在一种可能的实施方式中，风机为涡流风机或者离心风机。

在一种可能的实施方式中，涂布装置还包括辅助导风组件，辅助导风组件设置在基板的边缘之外，用于向垂直于基板的方向吹出辅助气流，辅助气流用于将吹送至基板边缘之外的异物吹至回风道。

在一种可能的实施方式中，涂布装置还包括控制器，控制器和风刀组件电连接，控制器用于控制风刀组件在涂布装置进行清洁异物作业时吹出气流，并在涂布装置进行涂布作业前停止吹出气流。

本实用新型提供的涂布装置，包括可沿基板的涂布平面移动的移动装置，移动装置上设置有涂布头和可吹出气流的风刀组件，涂布头用于在涂布平面涂覆色阻材料，风刀组件包括第一出风管和第二出风管，第一出风管的出风口倾斜指向涂布平面，用于通过气流将基板上的异物剥离涂布平面，第二出风管的出风口沿移动装置的移动方向，第二出风管用于将从涂布平面上剥离的异物吹送至基板的边缘之外。涂布装置的移动装置可沿着基板的涂布平面移动，移动装置的正对基板涂布平面的底端设置有涂布头，涂布头用于在基板的涂布平面上涂覆色阻材料以形成彩色滤光片；移动装置上还设置有风刀组件，在涂覆色阻材料之前，搭载风刀组件的移动装置沿基板的涂布平面移动，风刀组件的第一出风管的出风口吹出气流，第一出风管的倾斜指向涂布平面的出风口可将基板表面的异物剥离涂布平面，同时，风刀组件的第二出风管的出风口朝向移动装置的移动方向，在移动装置的移动过程中，剥离涂布平面的异物受到第二出风管的出风口吹出的气流的作用力，可进一步将已剥离涂布平面的异物吹送至所述基板的边缘之外，如此通过风刀组件对基板的涂布平面吹出的气流，可驱除基板的涂布平面上残留的异物和水渍，减少膜下异物引起的不良现象，从而提升彩色滤光片的良率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例。对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的涂布装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的风刀组件的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的涂布装置的工作示意图。

附图标记说明：

100—涂布装置；110—移动装置；111—涂布头；112—风刀组件；1121—第一出风管；1122—第二出风管；1123—风机；1124—加热件；120—辅助导风组件；130—回风道；140—控制器；200—基板；210—涂布平面。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

有关液晶显示器中彩色滤光片的制作工艺，一般都采用涂布后曝光的方式在基板表面进行色阻的填充，此种涂布方式，在进行色阻涂布时若基板表面存在异物，灰尘或毛发等固体异物会导致膜面在异物处出现褶皱，基板表面上积存液体则会导致色阻膜分布不均，因而无论是哪种性质的异物均会致使色阻膜的品质降低，严重时会致使涂覆的色阻膜质量不合格，进而可能导致涂覆了色阻膜的整张基板无法使用而需要返工处理。这不仅会降低彩色滤光片的品质和良率，也由于基板的返工处理而增加了彩色滤光片的制作成本。

由于异物对彩色滤光片品质和良率的影响较大，因而在基板表面涂覆色阻膜之前，往往都需要对基板表面残留的异物进行清除。目前通常都采用清洗装置清除基板上的异物，清洗装置上设置有清除基板表面固体异物的毛刷，通过毛刷在基板上的往复移动带走基板表面的固体异物；除了毛刷，清洗装置上还安装有喷头，喷头可向基板表面喷射清洁用水，通过喷射的水流进一步清洗基板表面。待清洗装置清洗完成后，生产线上的基板被传送至光阻涂布装置处，通过光阻涂布装置向基板表面涂覆色阻膜，从而完成彩色滤光片的制作。

然而，由于清洗装置清洗完成后，基板还需要被传送至光阻涂布装置处，在这传送的过程中，空间内存在的灰尘、毛发等颗粒异物仍然有可能落在基板表面上，在此过程中附着在基板表面的异物无法得到有效清除；另外，清洗装置的毛刷也有可能在基板表面附着纤维异物，清洗装置喷射的水流也可能在基板表面残存水渍。以上过程产生的固体异物可能会导致涂覆色阻膜时出现膜面褶皱的现象，而残存的水渍则会造成涂覆的色阻膜不均匀，这些均会降低彩色滤光片的品质和良率，严重时甚至导致基板返工，提高了彩色滤光片的制作成本。

有鉴于此，本实用新型实施例提供一种涂布装置，旨在于减少基板表面上残留的异物，提升彩色滤光片的品质和良率，从而降低彩色滤光片的制作成本。

图1为本实用新型实施例提供的涂布装置的结构示意图。图2为本实用新型实施例提供的风刀组件的结构示意图。图3为本实用新型实施例提供的涂布装置的工作示意图。如图1及图2所示，本实施例提供的涂布装置100，包括可沿基板200的涂布平面210移动的移动装置110，移动装置110上设置有涂布头111和可吹出气流的风刀组件112，涂布头111用于在涂布平面210涂覆色阻材料，风刀组件112包括第一出风管1121和第二出风管1122，第一出风管1121的出风口倾斜指向涂布平面210，用于通过气流将基板200上的异物剥离涂布平面210，第二出风管1122的出风口沿移动装置110的移动方向，第二出风管1122用于将从涂布平面210上剥离的异物吹送至基板200的边缘之外。

如图1及图3所示，本实施例的涂布装置100主要包括移动装置110，移动装置110可沿基板200的涂布平面210移动，在该移动装置110上设置有涂布头111和风刀组件112，移动装置110在沿基板200的涂布平面210移动的过程中，涂布头111可以在基板200的涂布平面210上涂覆色阻材料，以使基板200形成彩色滤光片。

另外，在涂布头111向基板200的涂布平面210涂覆色阻材料之前，移动装置110也可以先沿着基板200的涂布平面210往复移动直至移动轨迹覆盖整个涂布平面210。如上所述，由于基板200的涂布平面210对色阻材料的涂覆有重大影响，因而一般在移动装置110上均设置有检测组件，随着移动装置110在基板200的涂布平面210上方的移动，该检测组件可对移动装置110所到之处的涂布平面210进行检测，检测涂布平面210上是否存在异物。

当移动装置110沿着基板200的涂布平面210移动完成后，检测组件对涂布平面210是否存在异物以及异物的覆盖面积及分布情况也进行了检测。在这之后，若涂布平面210上附着有异物，则移动装置110继续沿着基板200的涂布平面210移动，同时，设置在移动装置110上的风刀组件112也进行工作，随着移动装置110的移动，风刀组件112可向涂布平面210吹出气流，以剥离涂布平面210上附着的异物。通过移动装置110的移动轨迹覆盖整个涂布平面210，风刀组件112也随之对涂布平面210整个进行了异物去除。如此，待基板200的涂布平面210完全清洁，异物全部被剥离之后，移动装置110再次沿基板200的涂布平面210移动，此时涂布头111方才开始工作，向涂布平面210涂覆色阻材料，以此形成表面平整、成分均一的品质较好的彩色滤光片。

其中，如图2所示，本实施例的风刀组件112包括第一出风管1121和第二出风管1122。如图3所示，对于安装在移动装置110上的风刀组件112，当移动装置110沿涂布平面210移动时，风刀组件112的第一出风管1121的出风口倾斜指向涂布平面210，从第一出风管1121的出风口吹出的气流方向亦倾斜朝向涂布平面210，气流方向和涂布平面210有一定的夹角，因而从第一出风管1121的出风口吹出的气流能够使附着的异物从涂布平面210上剥离，并且倾斜向涂布平面210吹出的气流在经过涂布平面210的阻挡之后，气流的流向发生改变向涂布平面210的斜上方流动，从涂布平面210剥离的异物也因此向涂布平面210的斜上方运动。

如图3所示，剥离涂布平面210的异物向涂布平面210斜上方运动一段距离后，可能会由于异物自身的重力继续向下落，而对于尺寸较大的基板200而言，斜向上运动一段距离之后下落的异物很可能还会落在基板200的涂布平面210上，因此，本实施例的风刀组件112还设置有第二出风管1122，与第一出风管1121不同的是，第二出风管1122的出风口沿移动装置110的移动方向设置，这样在第一出风管1121将涂布平面210的异物剥离，异物顺着移动装置110的移动的方向斜向上运动，此时第二出风管1122的出风口吹出的气流作用于异物，使异物随着移动装置110的移动方向朝向涂布平面210的外缘运动。随着移动装置110的移动，第一出风管1121的出风口吹出的气流不断使异物顺着移动装置110的移动方向朝涂布平面210的斜上方运动，而第二出风管1122的出风口吹出的气流不断将异物吹向基板200的边缘，那么在移动装置110沿着涂布平面210移动至基板200的边缘之后，就会将移动轨迹覆盖过的涂布平面210上的异物全部吹送至基板200边缘之外。

如上所述，随着移动装置110沿涂布平面210的移动，风刀组件112的第一出风管1121将异物从涂布平面210剥离，风刀组件112的第二出风管1122进一步将已经剥离的异物吹送至基板200边缘之外，通过移动装置110的移动配合风刀组件112吹出的气流，即可去除基板200的涂布平面210上残留的异物。在风刀组件112清除完基板200的涂布平面210的异物之后，即可进行色阻材料的涂覆，从而可确保膜面不会产生褶皱，且色阻膜涂布均匀，以此提升彩色滤光片的品质和良率，减少基板200返工的概率，降低彩色滤光片的制作成本。

需要说明的是，在检测组件检测完涂布平面210的异物情况之后，即使涂布平面210为清洁平面未附着异物，也可以配合移动装置110的移动利用风刀组件112向涂布平面210吹送气流，以更加确保涂布平面210的清洁，保证彩色滤光片的品质。另外，在风刀组件112向涂布平面210吹送气流的过程中，可以控制移动装置110的移动速度，使风刀组件112匀速的通过涂布平面210的各处，采用同样的气流和同样的时间对涂布平面210各处进行异物清除；当然也可以根据检测组件检测的涂布平面210的异物的具体情况，例如异物的分布情况、异物的大小及附着情况等，在风刀组件112通过涂布平面210的不同区域时，采用不同的吹送时间及吹送气流进行异物清除，以根据涂布平面210的不同的异物分布情况进行不同的清除处理，以提高风刀组件112对涂布平面210异物清除的效率及质量。

另外，在风刀组件112随移动装置110对涂布平面210进行异物清除之前，一般都会通过移动装置110上设置的检测组件对涂布平面210进行异物情况的检测，进行这一步骤还有一方面原因，在检测到涂布平面210上附着有较大或者质地较为坚硬的异物，为避免这类异物对移动装置110上正对涂布平面210的涂布头111造成损伤，可优先采用其他可选的异物清除方式，清除涂布平面210上附着的较大的、质地较为坚硬的、较为顽固的异物，以保护移动装置110的涂布头111不被损伤。

进一步的，第一出风管1121的出风口可以指向移动装置110的移动方向以及涂布平面210之间的区域。如图3所示，第一出风管1121的出风口吹出的气流用于使基板200的涂布平面210上附着的异物剥离表面，倾斜向涂布平面210的第一出风管1121的出风口使剥离的异物朝涂布平面210的斜上方运动，进而随着移动装置110的移动，通过第二出风管1122的出风口吹出的气流将剥离的异物吹送至基板200边缘之外。

为了使从基板200的涂布平面210上剥离的异物能够顺着移动装置110的移动方向斜向上运动，以便异物能运动至第二出风管1122的出风口吹出的气流方向上，通过第一出风管1121和第二出风管1122的共同作用将异物吹送至基板200之外，需要使第一出风管1121的向涂布平面210倾斜的出风口偏向移动装置110的移动方向倾斜，如此方能使剥离涂布平面210的异物向第二出风管1122的出风口吹送的气流的方向运动，进一步借助第二出风管1122的出风口吹送的气流使异物运动至基板200之外。

由于风刀组件112的第一出风管1121吹出的倾斜向涂布平面210的气流应当偏向移动装置110的移动方向，第二出风管1122吹出的气流应当顺着移动装置110的移动方向，因此，为便于设置在移动装置110上的风刀组件112的第一出风管1121和第二出风管1122吹出的气流能满足上述条件，本实施例的风刀组件112可以设置在移动装置110的前侧。

如图3所示，风刀组件112设置在移动装置110的前侧，其中，对于移动装置110的前侧和后侧，可以根据移动装置110的移动方向来定义，顺着移动装置110的移动方向，在此方向上的移动装置110的前端即是移动装置110的前侧，与前侧相对的是移动装置110的后侧。那么，将风刀组件112设置在移动装置110的前侧，则风刀组件112的第一出风管1121及第二出风管1122的出风口吹出的气流都不会受到移动装置110自身结构阻挡，第一出风管1121的出风口吹出的气流可顺利的倾斜吹送至涂布平面210，第二出风管1122的出风口吹出的气流可顺利的向着移动装置110的移动方向流动，如此可确保风刀组件112吹出的气流能够使涂布平面210上的异物剥离并将异物吹送至基板200边缘之外。

进一步的，第二出风管1122的出风口可以与涂布平面210平行，并且第二出风管1122的出风口高于第一出风管1121的出风口。如图2及图3所示，风刀组件112的第二出风管1122的出风口可以与涂布平面210平行，如此，在第一出风管1121的出风口吹出的气流使异物从涂布平面210剥离之后，异物运动至第二出风管1122的出风口吹出的气流方向上，由于第二出风管1122的出风口和涂布平面210平行，第二出风管1122的出风口吹出的气流方向也就平行于涂布平面210，这样异物在第二出风管1122的出风口的气流方向上，气流给异物以水平方向的推力，可以使异物顺着移动装置110的移动方向运动，随着移动装置110的移动，异物可以被顺利的吹送至基板200的边缘之外。

第一出风管1121的出风口斜向涂布平面210吹出气流，可以将涂布平面210上附着的异物剥离并将异物斜向上吹起，异物顺着移动装置110的移动方向斜向上运动，到达第二出风管1122的出风口吹出的气流覆盖的范围，随着移动装置110的移动，被第二出风管1122的吹风口吹出的气流吹送至基板200的边缘之外。另外，第二出风管1122的出风口吹出的气流可以在涂布平面210上方形成风墙，该风墙可以阻挡外界的异物飘落至涂布平面210。通过第二出风管1122和第一出风管1121的共同作用，不仅可以有效清除涂布平面210上附着的异物，还可以阻挡外界异物飘落至涂布平面210，如此可确保基板200的涂布平面210的清洁。

可选的，风刀组件112还可以包括风机1123，风机1123用于向第一出风管1121和第二出风管1122输送气流。风刀组件112还包括风机1123，风机1123与第一出风管1121和第二出风管1122连通，第一出风管1121和第二出风管1122在对基板200的涂布平面210吹送气流时，需要向第一出风管1121和第二出风管1122中输送气体，而风机1123则用于提高气体的压力，也可以说将气体压缩后输送至第一出风管1121和第二出风管1122，再由第一出风管1121和第二出风管1122将压缩后的压力较高的气体，通过出风口吹送至涂布平面210上和沿移动装置110的移动方向吹送，以使第一出风管1121和第二出风管1122的出风口吹出的气流具有足够的压力和流速，从而能够将异物从涂布平面210剥离并吹送至基板200边缘之外。

具体的，风机1123可以为涡流风机1123或者离心风机1123。涡流风机1123和离心风机1123都能够和风刀配合，通过风机1123中叶轮的旋转，将气体加速，增大气体的压力，相当于将气体压缩后将流速较高的气体输送至第一出风管1121和第二出风管1122，通过第一出风管1121和第二出风管1122的出风口吹送出压力较大、流速较高的气流。无论是使用涡流风机1123还是离心风机1123，都能够达到压缩气体、增大气体流速的目的，同时消耗的能量较少，相对于高能耗的压缩空气，风机1123较为节能。

进一步的，风刀组件112还可以包括加热件1124，加热件1124用于加热风刀组件112吹出的气流。如前所述，除了固体异物外，基板200的涂布平面210上也可能残留水渍，因而本实施例的第一出风管1121和第二出风管1122吹出的气流可以是热风，通过向涂布平面210吹送热风可以提升干燥效果，使涂布平面210残存的水分散发的更快。并且，热风在异物与涂布平面210的剥离方面有一定的作用，可以使一些原本较难从涂布平面210剥离的异物更容易的涂布平面210上剥离，进而提高风刀组件112吹除基板200的涂布平面210上的异物的效率。

其中，加热件1124可以是风机1123内设置的热电偶，通过热电偶对风机1123输送的气体进行加热，以使输送至第一出风管1121和第二出风管1122的气流为热风。

具体的，风刀组件112吹出的气流的温度在20摄氏度至30摄氏度之间。风刀组件112的吹出的热风的温度可以在20℃-30℃之间，在此温度范围内的热风一方面可以提升对涂布平面210的干燥效果，加快涂布平面210残存水分的散发速率；另一方面，热风的温度不至于过高，以避免温度过高的热风可能对基板200造成伤害，并且基板200的涂布平面210的温度过高也可能会影响后续色阻材料涂覆的进程。另外，加热件1124将风刀组件112加热至此温度范围也较容易，相对的加热效率较高，且消耗的能量较少。其中，风刀组件112吹出的气流的温度可以是20℃、22℃、24℃、26℃、28℃、30℃等，本实施例不作限制。

为了进一步确保从基板200的涂布平面210剥离的异物能被顺利的吹送至基板200之外，本实施例的涂布装置100还可以包括辅助导风组件120，辅助导风组件120设置在基板200的外缘之外，用于向垂直于基板200的方向吹出辅助气流，辅助气流用于将吹送至基板200边缘之外的异物吹至回风道130。

如图3所示，在通过第一出风管1121吹出的气流使异物从涂布平面210剥离，剥离的异物通过第二出风管1122吹出的气流被吹送至基板200边缘之外后，本实施例进一步还在基板200的边缘外侧设置了辅助导风组件120，辅助导风组件120可以向垂直于基板200的方向上吹出辅助气流，到达基板200边缘外侧的异物受到辅助气流的作用，异物会顺着辅助气流的方向运动，也就是沿垂直于基板200的方向运动，而在辅助气流的方向上设置有回风道130，异物随着辅助气流被吹送至回风道130，从而通过回风道130对异物进行收集，彻底避免了异物会再次附着在涂布平面210上，进一步加强了风刀组件112清除基板200的涂布平面210上的异物的效果。具体的，辅助导风组件120吹出的辅助气流可以是竖直向下的，基板200边缘之外的异物由于受到竖直向下的作用力，加之异物自身的重力，可将异物顺利的吹送至下方的回风道130被收集。

另外，涂布装置100还可以包括控制器140，控制器140和风刀组件112电连接，控制器140用于控制风刀组件112在涂布装置100进行清洁异物作业时吹出气流，并在涂布装置100进行涂布作业前停止吹出气流。

如前所述，在风刀组件112伴随移动装置110的移动对基板200的涂布平面210进行异物清洁作业前，移动装置110会在涂布平面210上移动，以对涂布平面210上异物的附着情况进行预先检测，在检测过程中，一般不对异物进行清除。因此，在移动装置110移动进行检测作业时，风刀组件112不工作，而在移动装置110移动进行清洁异物作业时，风刀组件112才开始工作，基于此，本实施例的涂布装置100还设置有控制器140，通过控制器140来控制风刀组件112的启动与关闭，控制风刀组件112的工作状态，以在移动装置110进行检测作业时控制风刀组件112关闭，在移动装置110进行清洁异物作业时控制风刀组件112启动。并且，清洁异物作业完毕后，在涂布装置100进行涂布作业前，控制器140还用于控制风刀组件112关闭，风刀组件112停止吹出气流。

进一步的，控制器140还可以控制风刀组件112吹出的气流的压力及流速，以根据基板200的涂布平面210的异物附着的实际情况，对风刀组件112吹出的气流的压力及流速进行调整，从而提高风刀组件112清洁涂布平面210的异物的效率。

本实用新型提供的涂布装置，包括可沿基板的涂布平面移动的移动装置，移动装置上设置有涂布头和可吹出气流的风刀组件，涂布头用于在涂布平面涂覆色阻材料，风刀组件包括第一出风管和第二出风管，第一出风管的出风口倾斜指向涂布平面，用于通过气流将基板上的异物剥离涂布平面，第二出风管的出风口沿移动装置的移动方向，第二出风管用于将从涂布平面上剥离的异物吹送至基板的边缘之外。涂布装置的移动装置可沿着基板的涂布平面移动，移动装置的正对基板涂布平面的底端设置有涂布头，涂布头用于在基板的涂布平面上涂覆色阻材料以形成彩色滤光片；移动装置上还设置有风刀组件，在涂覆色阻材料之前，搭载风刀组件的移动装置沿基板的涂布平面移动，风刀组件的第一出风管的出风口吹出气流，第一出风管的倾斜指向涂布平面的出风口可将基板表面的异物剥离涂布平面，同时，风刀组件的第二出风管的出风口朝向移动装置的移动方向，在移动装置的移动过程中，剥离涂布平面的异物受到第二出风管的出风口吹出的气流的作用力，可进一步将已剥离涂布平面的异物吹送至所述基板的边缘之外，如此通过风刀组件对基板的涂布平面吹出的气流，可驱除基板的涂布平面上残留的异物和水渍，减少膜下异物引起的不良现象，从而提升彩色滤光片的良率。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，本文中使用的术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等应做广义理解，例如可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成为一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以使两个元件内部的相连或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种涂布装置，其特征在于，包括可沿基板的涂布平面移动的移动装置，所述移动装置上设置有涂布头和可吹出气流的风刀组件，所述涂布头用于在所述涂布平面涂覆色阻材料，所述风刀组件包括第一出风管和第二出风管，所述第一出风管的出风口倾斜指向所述涂布平面，用于通过气流将所述基板上的异物剥离所述涂布平面，所述第二出风管的出风口沿所述移动装置的移动方向，所述第二出风管用于将从所述涂布平面上剥离的异物吹送至所述基板的边缘之外。

2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述第一出风管的出风口指向所述移动装置的移动方向以及所述涂布平面之间的区域。

3.根据权利要求2所述的涂布装置，其特征在于，所述风刀组件设置在所述移动装置的前侧。

4.根据权利要求1-3任一项所述的涂布装置，其特征在于，所述第二出风管的出风口与所述涂布平面平行，并且所述第二出风管的出风口高于所述第一出风管的出风口。

5.根据权利要求1-3任一项所述的涂布装置，其特征在于，所述风刀组件还包括风机，所述风机用于向所述第一出风管和所述第二出风管输送气流。

6.根据权利要求5所述的涂布装置，其特征在于，所述风刀组件还包括加热件，所述加热件用于加热所述风刀组件吹出的气流。

7.根据权利要求6所述的涂布装置，其特征在于，所述风刀组件吹出的气流的温度在20摄氏度至30摄氏度之间。

8.根据权利要求5所述的涂布装置，其特征在于，所述风机为涡流风机或者离心风机。

9.根据权利要求1-3任一项所述的涂布装置，其特征在于，还包括辅助导风组件，所述辅助导风组件设置在所述基板的边缘之外，用于向垂直于所述基板的方向吹出辅助气流，所述辅助气流用于将吹送至所述基板边缘之外的异物吹至回风道。

10.根据权利要求1-3任一项所述的涂布装置，其特征在于，还包括控制器，所述控制器和所述风刀组件电连接，所述控制器用于控制所述风刀组件在所述涂布装置进行清洁异物作业时吹出气流，并在所述涂布装置进行涂布作业前停止吹出气流。