CN209393679U - 一种波纹管清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种波纹管清洗装置，包括：清洗杆，所述清洗杆的第一端设置有第一喷嘴和第二喷嘴，所述第一喷嘴和所述第二喷嘴对称设置在所述清洗杆的第一端；进水管道，所述进水管道的第一端与所述清洗杆的第二端连通；第一阀门，所述第一阀门设置在所述第一喷嘴与所述清洗杆的连接处；第二阀门，所述第二阀门设置在所述第二喷嘴与所述清洗杆的连接处。其优点在于，在波纹管一侧设置清洗装置，并利用喷嘴对准波纹管，能够及时清理残余在波纹管上的CMP研磨液，避免CMP研磨液在波纹管上结晶，减少CMP研磨液对波纹管的腐蚀，从而避免出现漏液等情况，提高波纹管使用寿命，提高产品良率，降低生产成本；清洗液通过多个喷嘴，可以对波纹管针对性清洗。

Description

一种波纹管清洗装置

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种波纹管清洗装置。

背景技术

在半导体制造过程中，需要对晶圆表面进行研磨工艺(抛光工艺)。通常使用的研磨工艺为化学机械研磨(Chemical Mechanical Polish，CMP)。在CMP机台周围设置有多个喷油管，喷油管的一端对称地设置有两个波纹管。在CMP过程中，CMP研磨液会在波纹管上积累。由于CMP研磨液具有一定氧化性和腐蚀性，会导致CMP研磨液在波纹管上结晶，进而腐蚀波纹管，使得波纹管寿命减少，并且出现漏液等情况，进而影响产品良率。

因此，亟需一种能够去除波纹管上的CMP研磨液，提高波纹管使用寿命的清洗波纹管的装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术中的不足，提供一种波纹管清洗装置。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案是：

一种波纹管清洗装置，包括：

清洗杆，所述清洗杆的第一端设置有第一喷嘴和第二喷嘴，所述第一喷嘴和所述第二喷嘴对称设置在所述清洗杆的第一端；

进水管道，所述进水管道的第一端与所述清洗杆的第二端连通；

第一阀门，所述第一阀门设置在所述第一喷嘴与所述清洗杆的连接处；

第二阀门，所述第二阀门设置在所述第二喷嘴与所述清洗杆的连接处。

优选地，还包括：

第三阀门，所述第三阀门设置在所述进水管道的第二端。

优选地，还包括：

进气管道，所述进气管道的第一端与所述清洗杆的第二端连通。

优选地，还包括：

第三阀门，所述第三阀门设置在所述进水管道的第二端；

第四阀门，所述第四阀门设置在所述进气管道的第二端。

优选地，还包括：

第一单向阀，所述第一单向阀设置在所述进水管道的第一端；

第二单向阀，所述第二单向阀设置在所述进气管道的第一端。

优选地，还包括：

第一三通阀，所述第一三通阀的第一端与所述清洗杆的第二端连通，所述第一三通阀的第二端与所述进水管道的第一端连通，所述第一三通阀的第三端与所述进水管道的第一端连通。

优选地，所述第一喷嘴的表面设置有复数个第一通孔；

所述第二喷嘴的表面设置有复数个第二通孔。

优选地，复数个所述第一通孔的轴向与所述第一喷嘴的轴向共向或不共向；和/或

复数个所述第二通孔的轴向与所述第二喷嘴的轴向共向或不共向。

优选地，部分所述第一通孔的轴向与所述第一喷嘴的轴向共向，剩余部分所述第一通孔的轴向与所述第一喷嘴的轴向不共向；和/或

部分所述第二通孔的轴向与所述第二喷嘴的轴向共向，剩余部分所述第二通孔的轴向与所述第二喷嘴的轴向不共向。

优选地，靠近所述第一喷嘴的中心位置的所述第一通孔的轴向与所述第一喷嘴的轴向共向，远离所述第一喷嘴的中心位置的所述第一通孔的轴向与所述第一喷嘴的轴向不共向；和/或

靠近所述第二喷嘴的中心位置的所述第二通孔的轴向与所述第二喷嘴的轴向共向，远离所述第二喷嘴的中心位置的所述第二通孔的轴向与所述第二喷嘴的轴向不共向。

本实用新型采用以上技术方案，与现有技术相比，具有如下技术效果：

本实用新型的一种波纹管清洗装置，在波纹管一侧设置清洗装置，并利用喷嘴对准波纹管，能够及时清理残余在波纹管上的CMP研磨液，避免CMP研磨液在波纹管上结晶，减少CMP研磨液对波纹管的腐蚀，从而避免出现漏液等情况，提高波纹管使用寿命，提高产品良率，降低生产成本；清洗液通过多个喷嘴，可以对特定的波纹管进行针对性清洗，提高清洗效率，节约资源。

附图说明

图1是本实用新型的一个示意性实施例的主视图。

图2是本实用新型的一个示意性实施例的侧视图。

图3是本实用新型的一个示意性实施例的第一喷嘴的示意图。

图4是本实用新型的一个示意性实施例的第二喷嘴的示意图。

图5是本实用新型的一个示意性实施例的使用状态示意图。

图6是本实用新型的一个优选实施例的侧视图。

图7是本实用新型的一个优选实施例的主视图。

图8是本实用新型的一个优选实施例的侧视图。

图9是本实用新型的一个优选实施例的第一喷嘴的示意图。

图10是本实用新型的一个优选实施例的第二喷嘴的示意图。

图11是本实用新型的一个优选实施例的使用状态示意图。

图12是本实用新型的一个优选实施例的主视图。

图13是本实用新型的一个优选实施例的侧视图。

图14是本实用新型的一个优选实施例的第一喷嘴的示意图。

图15是本实用新型的一个优选实施例的第二喷嘴的示意图。

其中的附图标记为：清洗杆1；第一喷嘴2；第二喷嘴3；进水管道4；第一阀门5；第二阀门6；第三阀门7；进气管道8；第四阀门9；第一单向阀10；第二单向阀11；第一三通阀12；第一通孔13；第二通孔14；波纹管15。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。

实施例1

本实施例1本实用新型的一个示意性实施例，如图1～2所示，一种波纹管清洗装置，包括清洗杆1、第一喷嘴2、第二喷嘴3和进水管道4，第一喷嘴2和第二喷嘴3对称地设置在清洗杆1的第一端，进水管道4的第一端与清洗杆1的第二端连通。

清洗杆1呈“T”形，其第一端为横杆，第二端为纵杆，第一喷嘴2和第二喷嘴3对称地设置在横杆的左右两端。

进一步地，进水管道4与清洗杆1呈垂直连通，即清洗杆1的轴向与进水管道4的轴向垂直。

进一步地，进水管道4的轴向可以与清洗杆1的轴向共向，即进水管道4与清洗杆1为一一体式管。

进水管道4和清洗杆1均为中空管道。

在清洗杆1和第一喷嘴2的连接处设置有第一阀门5，通过第一阀门5控制清洗液是否从清洗杆1向第一喷嘴2输送，以及控制输送至第一喷嘴2的清洗液的流量。

在清洗杆1和第二喷嘴3的连接处设置有第二阀门6，通过第二阀门6控制清洗液是否从清洗杆1向第二喷嘴3输送，以及控制输送至第二喷嘴3的清洗液的流量。

进一步地，在进水管道4的第二端设置有第三阀门7，通过第三阀门7控制清洗液是否从进水管道4向清洗杆1输送，以及控制清洗液的流量。

如图3所示，在第一喷嘴2的表面设置有复数个第一通孔13，第一通孔13均匀对称地设置在第一喷嘴2的表面。

进一步地，复数个第一通孔13呈环形分布。

进一步地，复数个第一通孔13在第一喷嘴2的表面形成多个同心环。

进一步地，复数个第一通孔13的轴向与第一喷嘴2的轴向共向。

如图4所示，在第二喷嘴3的表面设置有复数个第二通孔14，第二通孔14均匀对称地设置在第二喷嘴3的表面。

进一步地，复数个第二通孔14呈环形分布。

进一步地，复数个第二通孔14在第二喷嘴3的表面形成多个同心环。

进一步地，复数个第二通孔14的轴向与第二喷嘴3的轴向共向。

本实施例的使用方法为：如图5所示，在CMP机台对晶圆进行CMP后，打开第三阀门7，使清洗液从进水管道4进入喷水杆1；打开第一阀门5、或第二阀门6、或同时打开第一阀门5和第二阀门6，使清洗液分别通过第一喷嘴2的第一通孔13和第二喷嘴3的第二通孔14形成雾状清洗流对相对应的波纹管15进行清洗；在清洗过程中，波纹管15进行上下位移以及自转，从而对使波纹管15的各个位置都能有效地被清洗。

本实施例的优点为，在波纹管一侧设置清洗装置，并利用喷嘴对准波纹管，能够及时清理残余在波纹管上的CMP研磨液，避免CMP研磨液在波纹管上结晶，减少CMP研磨液对波纹管的腐蚀，从而避免出现漏液等情况，提高波纹管使用寿命，提高产品良率，降低生产成本；清洗液通过多个喷嘴，可以对特定的波纹管进行针对性清洗，提高清洗效率，节约资源。

实施例2

本实施例为本实用新型的一个优选实施例，本实施例与实施例1的区别在于：还包括进气管道。

如图6所示，一种波纹管清洗装置，包括清洗杆1、第一喷嘴2、第二喷嘴3、进水管道4和进气管道8，第一喷嘴2和第二喷嘴3对称地设置在清洗杆1的第一端，进水管道4的第一端与清洗杆1的第二端连通，进气管道8的第一端与清洗杆1的第二端连通。

其中，清洗杆1、第一喷嘴2、第二喷嘴3和进水管道4的结构同实施例1相同，在此不再赘述。

进水管道4和进气管道8形成一个框形结构，该框形结构的轴向可以是与清洗杆1的轴向共向，即清洗杆1和框形结构共面。或者，该框形结构的轴向与清洗杆1的轴向相互垂直，即清洗杆1所在平面与框形结构所在平面垂直。

在进气管道8的第二端设置有第四阀门9，第四阀门9用于控制干燥气体是否从进气管道8向清洗杆1输送，以及控制干燥气体的流量。

本实施例的使用方法为：在CMP机台对晶圆进行CMP后，打开第三阀门7，使清洗液从进水管道4进入喷水杆1；打开第一阀门5、或第二阀门6、或同时打开第一阀门5和第二阀门6，使清洗液分别通过第一喷嘴2的第一通孔13和第二喷嘴3的第二通孔14形成雾状清洗流对相对应的波纹管14进行清洗；在清洗过程中，波纹管进行上下位移以及自转，从而对使波纹管的各个位置都能有效地被清洗；清洗完毕后，关闭第三阀门7，打开第四阀门9，使干燥气体(如氮气，N₂)从进气管道8进入喷水杆1，并分别通过第一喷嘴2的第一通孔13和第二喷嘴3的第二通孔14对波纹管进行干燥；干燥完毕后，关闭第四阀门9。

本实施例的优点在于，在波纹管清洗结束后，增加一干燥工序，对波纹管进行快速干燥，从而提高波纹管的清洗和干燥时间。

实施例3

本实施例为本实用新型的一个优选实施例，本实施例与实施例2的区别在于：设置有单向阀。

如图7～8所示，一种波纹管清洗装置，包括清洗杆1、第一喷嘴2、第二喷嘴3、进水管道4和进气管道8，第一喷嘴2和第二喷嘴3对称地设置在清洗杆1的第一端，进水管道4的第一端与清洗杆1的第二端连通，进气管道8的第一端与清洗杆1的第二端连通。

其中，清洗杆1、进水管道4和进气管道8的结构同实施例2，在此不再赘述。

在进水管道4的第一端设置有第一单向阀10，第一单向阀10用于使清洗液仅从进水管道4向清洗杆1输送，避免清洗杆1内的液体或气体进入进水管道4。

在进气管道8的第一端设置有第二单向阀11，第二单向阀11用于使干燥气体仅从进气管道8向清洗杆1输送，避免清洗杆1内的液体或气体进入进气管道8。

进一步地，如图9所示，复数个第一通孔13在第一喷嘴2的表面形成多个同心环，并且，部分第一通孔13的轴向与第一喷嘴2的轴向共向，部分第一通孔13的轴向与第一喷嘴2的轴向不共向。

具体的，复数个第一通孔13形成四个同心环，第一个环形包括一个第一通孔13，且第一个环形的圆心位于第一喷嘴2的中心位置，且该第一通孔13的轴向与第一喷嘴2的轴向共向；第二个环形包括四个第一通孔13，四个第一通孔13的轴向与第一喷嘴2的轴向共向；第三个环形包括八个第一通孔13，八个第一通孔13的轴向与第一喷嘴2的轴向不共向；第四个环形包括十二个第一通孔13，十二个第一通孔13的轴向与第一喷嘴2的轴向不共向。

进一步地，将第一个环形的一个第一通孔13、第三个环形的八个第一通孔13和第四个环形的十二个第一通孔13的轴线延长，二十一个轴线相交在第一喷嘴2的中心位置的轴向延长线的一点，即第三个环形和第四个环形上的第一通孔13呈对外散射分布，使得清洗液和干燥气体从第一喷嘴2喷出时，能够覆盖更多的面积。

进一步地，如图10所示，复数个第二通孔14在第二喷嘴3的表面形成多个同心环，并且，部分第二通孔14的轴向与第二喷嘴3的轴向共向，部分第一通孔13的轴向与第二喷嘴3的轴向不共向。

具体的，复数个第二通孔14形成四个同心环，第一个环形包括一个第二通孔14，且第一个环形的圆心位于第二喷嘴3的中心位置，且该第二通孔14的轴向与第二喷嘴3的轴向共向；第二个环形包括四个第二通孔14，四个第二通孔14的轴向与第二喷嘴3的轴向共向；第三个环形包括八个第二通孔14，八个第二通孔14的轴向与第二喷嘴3的轴向不共向；第四个环形包括十二个第二通孔14，十二个第二通孔14的轴向与第二喷嘴3的轴向不共向。

进一步地，将第一个环形的一个第二通孔14、第三个环形的八个第二通孔14和第四个环形的十二个第二通孔14的轴线延长，二十一个轴线相交在第二喷嘴3的中心位置的轴向延长线的一点，即第三个环形和第四个环形上的第二通孔14呈对外散射分布，使得清洗液和干燥气体从第二喷嘴3喷出时，能够覆盖更多的面积。

本实施例的使用方法为：如图11所示，在CMP机台对晶圆进行CMP后，打开第三阀门7，使清洗液从进水管道4通过第一单向阀10进入喷水杆1；打开第一阀门5、或第二阀门6、或同时打开第一阀门5和第二阀门6，使清洗液分别通过第一喷嘴2的第一通孔13和第二喷嘴3的第二通孔14形成雾状清洗流对相对应的波纹管15进行清洗；在清洗过程中，波纹管15进行上下位移以及自转，从而对使波纹管15的各个位置都能有效地被清洗；清洗完毕后，关闭第三阀门7，打开第四阀门9，使干燥气体(如氮气，N₂)从进气管道8通过第二单向阀11进入喷水杆1，并分别通过第一喷嘴2的第一通孔13和第二喷嘴3的第二通孔14对波纹管15进行干燥；干燥完毕后，关闭第四阀门9。

本实施例的优点为，通过设置单向阀，避免出现清洗液或干燥气体回流现象。

实施例4

本实施例为本实用新型的一个优选实施例，本实施例与实施例2的区别在于：包括第一三通阀。

如图12～13所示，一种波纹管清洗装置，包括清洗杆1、第一喷嘴2、第二喷嘴3、进水管道4、进气管道8和第一三通阀12，第一喷嘴2和第二喷嘴3对称地设置在清洗杆1的第一端，第一三通阀12的第一端与清洗杆1的第二端连通，第一三通阀12的第二端与进水管道4的第一端连通，第一三通阀12的第三端与进气管道8的第一端连通。

其中，清洗杆1、进水管道4和进气管道8的结构同实施例2，在此不再赘述。

进一步地，如图14所示，复数个第一通孔13在第一喷嘴2的表面形成多个同心环，并且，部分第一通孔13的轴向与第一喷嘴2的轴向共向，部分第一通孔13的轴向与第一喷嘴2的轴向不共向。

具体的，复数个第一通孔13形成四个同心环，第一个环形包括一个第一通孔13，且第一个环形的圆心位于第一喷嘴2的中心位置，且该第一通孔13的轴向与第一喷嘴2的轴向共向；第二个环形包括四个第一通孔13，四个第一通孔13的轴向与第一喷嘴2的轴向不共向；第三个环形包括八个第一通孔13，八个第一通孔13的轴向与第一喷嘴2的轴向不共向；第四个环形包括十二个第一通孔13，十二个第一通孔13的轴向与第一喷嘴2的轴向不共向。

进一步地，将第一个环形的一个第一通孔13、第二个环形的四个第一通孔13、第三个环形的八个第一通孔13和第四个环形的十二个第一通孔13的轴线延长，二十五个轴线相交在第一喷嘴2的中心位置的轴向延长线的一点，即第二个环形、第三个环形和第四个环形上的第一通孔13呈对外散射分布，使得清洗液和干燥气体从第一喷嘴2喷出时，能够覆盖更多的面积。

进一步地，如图10所示，复数个第二通孔14在第二喷嘴3的表面形成多个同心环，并且，部分第二通孔14的轴向与第二喷嘴3的轴向共向，部分第一通孔13的轴向与第二喷嘴3的轴向不共向。

具体的，复数个第二通孔14形成四个同心环，第一个环形包括一个第二通孔14，且第一个环形的圆心位于第二喷嘴3的中心位置，且该第二通孔14的轴向与第二喷嘴3的轴向共向；第二个环形包括四个第二通孔14，四个第二通孔14的轴向与第二喷嘴3的轴向不共向；第三个环形包括八个第二通孔14，八个第二通孔14的轴向与第二喷嘴3的轴向不共向；第四个环形包括十二个第二通孔14，十二个第二通孔14的轴向与第二喷嘴3的轴向不共向。

进一步地，将第一个环形的一个第二通孔14、第二个环形的四个第二通孔14、第三个环形的八个第二通孔14和第四个环形的十二个第二通孔14的轴线延长，二十五个轴线相交在第二喷嘴3的中心位置的轴向延长线的一点，即第二个环形、第三个环形和第四个环形上的第二通孔14呈对外散射分布，使得清洗液和干燥气体从第二喷嘴3喷出时，能够覆盖更多的面积。

本实施例的使用方法为：在CMP机台对晶圆进行CMP后，打开第三阀门7和第四阀门9，切换第一三通阀12，使第一三通阀12的第一端与第一三通阀12的第二端连通，使清洗液从进水管道4进入喷水杆1，打开第一阀门5、或第二阀门6、或同时打开第一阀门5和第二阀门6，使清洗液分别通过第一喷嘴2的第一通孔13和第二喷嘴3的第二通孔14形成雾状清洗流对相对应的波纹管进行清洗；在清洗过程中，波纹管在清洗过程中进行上下位移以及自转，从而对使波纹管的各个位置都能有效地被清洗；在清洗过程中，波纹管进行上下位移以及自转，从而对使波纹管的各个位置都能有效地被清洗；清洗完毕后，切换第一三通阀12，使第一三通阀12的第一端与第一三通阀12的第三端连通，使干燥气体(如氮气，N₂)从进气管道4进入喷水杆1，并分别通过第一喷嘴2的第一通孔13和第二喷嘴3的第二通孔14对波纹管进行干燥；干燥完毕后，关闭第一三通阀12。

本实施例的优点在于，设置第一三通阀，可以使第一阀门和第二阀门常开，仅用于调节相应的流量；在使用过程中，通过切换第一三通阀，即可快速从清洗状态变成干燥状态或从截止状态变成清洗状态或从干燥状态变成截止状态，节约时间，提高效率。

以上所述仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种波纹管清洗装置，其特征在于，包括：

清洗杆(1)，所述清洗杆(1)的第一端设置有第一喷嘴(2)和第二喷嘴(3)，所述第一喷嘴(2)和所述第二喷嘴(3)对称设置在所述清洗杆(1)的第一端；

进水管道(4)，所述进水管道(4)的第一端与所述清洗杆(1)的第二端连通；

第一阀门(5)，所述第一阀门(5)设置在所述第一喷嘴(2)与所述清洗杆(1)的连接处；

第二阀门(6)，所述第二阀门(6)设置在所述第二喷嘴(3)与所述清洗杆(1)的连接处。

2.根据权利要求1所述的波纹管清洗装置，其特征在于，还包括：

第三阀门(7)，所述第三阀门(7)设置在所述进水管道(4)的第二端。

3.根据权利要求1所述的波纹管清洗装置，其特征在于，还包括：

进气管道(8)，所述进气管道(8)的第一端与所述清洗杆(1)的第二端连通。

4.根据权利要求3所述的波纹管清洗装置，其特征在于，还包括：

第三阀门(7)，所述第一三阀门(7)设置在所述进水管道(4)的第二端；

第四阀门(9)，所述第四阀门(9)设置在所述进气管道(8)的第二端。

5.根据权利要求3或4任一所述的波纹管清洗装置，其特征在于，还包括：

第一单向阀(10)，所述第一单向阀(10)设置在所述进水管道(4)的第一端；

第二单向阀(11)，所述第二单向阀(11)设置在所述进气管道(8)的第一端。

6.根据权利要求3或4任一所述的波纹管清洗装置，其特征在于，还包括：

第一三通阀(12)，所述第一三通阀(12)的第一端与所述清洗杆(1)的第二端连通，所述第一三通阀(12)的第二端与所述进水管道(4)的第一端连通，所述第一三通阀(12)的第三端与所述进水管道(4)的第一端连通。

7.根据权利要求1所述的波纹管清洗装置，其特征在于，所述第一喷嘴(2)的表面设置有复数个第一通孔(13)；

所述第二喷嘴(3)的表面设置有复数个第二通孔(14)。

8.根据权利要求7所述的波纹管清洗装置，其特征在于，复数个所述第一通孔(13)的轴向与所述第一喷嘴(2)的轴向共向或不共向；和/或

复数个所述第二通孔(14)的轴向与所述第二喷嘴(3)的轴向共向或不共向。

9.根据权利要求7所述的波纹管清洗装置，其特征在于，部分所述第一通孔(13)的轴向与所述第一喷嘴(2)的轴向共向，剩余部分所述第一通孔(13)的轴向与所述第一喷嘴(2)的轴向不共向；和/或

部分所述第二通孔(14)的轴向与所述第二喷嘴(3)的轴向共向，剩余部分所述第二通孔(14)的轴向与所述第二喷嘴(3)的轴向不共向。

10.根据权利要求9所述的波纹管清洗装置，其特征在于，靠近所述第一喷嘴(2)的中心位置的所述第一通孔(13)的轴向与所述第一喷嘴(2)的轴向共向，远离所述第一喷嘴(2)的中心位置的所述第一通孔(13)的轴向与所述第一喷嘴(2)的轴向不共向；和/或

靠近所述第二喷嘴(3)的中心位置的所述第二通孔(14)的轴向与所述第二喷嘴(3)的轴向共向，远离所述第二喷嘴(3)的中心位置的所述第二通孔(14)的轴向与所述第二喷嘴(3)的轴向不共向。