CN209438264U - 一种湿法喷淋尾气处理装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种湿法喷淋尾气处理装置，包括进气腔、洗涤腔、常压腔、储水箱，尾气进气口、净化气体排出口、自来水进水口、文丘里混流喷嘴。本实用新型使产生的SiO2白色结晶物与水有效混合均匀，无法聚集漂浮在水面，固体颗粒随溢流水排出设备，基本可以做到免停机清理维护，节水性好，在水箱内部的溢流口对面，通过对补水方向角度位置等进行有效管理，把混合液体主动推向溢流口方向，将溢流口改为方形隔板式，使溢流水形成类似于瀑布状水流，且设备结构简单，尾气处理装置通过持续稳定的小流量补水，不仅满足一定的水溶解和吸收能力，保证设备一直处于稳定处理状态，同时通过持续溢流排出溶解SiO2颗粒的浑浊液体。
Description
技术领域
本实用新型涉及尾气处理领域，尤其涉及一种湿法喷淋尾气处理装置。
背景技术
半导体硅片制造的外延工艺会使用到大量TCS，工艺实际反应率小于20％，大量的TCS气体会被作为工艺尾气排出外延炉反应腔，这些有毒有害气体必须经过合适的尾气处理器处理达标后才能排入大气。TCS最安全的无害化处理方式就是水喷淋洗涤，但TCS与水反应生成大量SiO2颗粒，会聚集成漂浮在水面上的白色结晶块状物。
现有的水洗式尾气处理器运行时，大量SiO2白色结晶物漂浮在水面，需要一周左右停机清理一次，把SiO2白色结晶物去除干净，给设备维护人员造成了很大的工作符合，并影响工艺机台的生产效率，而且耗水量大，为了将设备水箱内水面漂浮的白色结晶物去除，需要使用大量的补水和排水，把白色结晶物随排水溢流出设备，溢流口为圆形管道，当某种情况下需要大量排出结晶漂浮物时，可能会造成堵塞，影响排出速度。
因此，现有技术还有待发展。
实用新型内容
鉴于上述现有技术的不足之处，本实用新型的目的在于提供一种湿法喷淋尾气处理装置，旨在解决现有的湿法喷淋尾气处理装置工艺机台生产效率低耗水量大尾气排出速度慢的问题。
为了达到上述目的，本实用新型采取了以下技术方案：
一种湿法喷淋尾气处理装置，包括进气腔、洗涤腔、常压腔、储水箱，尾气进气口、净化气体排出口、自来水进水口、文丘里混流喷嘴，所述进气腔与洗涤腔分别与所述储水箱连通，所述储水箱一端还与常压腔连通，所述储水箱与所述常压腔之间还设有水封，所述净化气体排出口与所述洗涤腔连通，所述尾气进气口通过进气腔与净化气体排出口通过管道连接，所述自来水进水口通过管道连接至储水箱，所述进气腔与所述洗涤腔之间设有连接至储水箱的管道，所述进气腔与洗涤腔之间的管道支路端设有文丘里混流喷嘴，所述进气腔与洗涤腔之间的管道主路与所述储水箱底端连通且在管道主路位于储水箱下方位置安置有喷淋循环泵，所述水封一半与储水箱连通，一半与常压腔连接，所述常压腔设有开口，所述常压腔与所述储水箱均设有排水管道，所述排水管道末端设有排水口。
进一步的，所述自来水进水口连通储水箱的管道上设有流量指示表和进水阀。
进一步的，所述进气腔与所述洗涤腔之间的管道支路上设有进水阀。
进一步的，所述储水箱与所述排水口的管道上也设有进水阀。
本实用新型与现有技术相比的有益效果：本实用新型使产生的SiO2白色结晶物与水有效混合均匀，无法聚集漂浮在水面，固体颗粒随溢流水排出设备，基本可以做到免停机清理维护，只要确保液固有效混合液体缓慢溢流出设备即可，不需要大量的补水和排水，节水性好，在水箱内部的溢流口对面，通过对补水方向角度位置等进行有效管理，把混合液体主动推向溢流口方向，将溢流口改为方形隔板式，使溢流水形成类似于瀑布状水流，且设备结构简单，免维护保养，造价低，尾气处理装置通过持续稳定的小流量补水，不仅满足一定的水溶解和吸收能力，保证设备一直处于稳定处理状态，同时通过持续溢流排出溶解SiO2颗粒的浑浊液体。
附图说明
图1为本实用新型实施例提供的湿法喷淋尾气处理装置的结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者可能同时存在居中元件。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。
还需要说明的是，本实用新型实施例中的左、右、上、下等方位用语，仅是互为相对概念或是以产品的正常使用状态为参考的，而不应该认为是具有限制性的。
如图1所示，为本实用新型具体实施例的一种湿法喷淋尾气处理装置，
包括进气腔1、洗涤腔2、常压腔3、储水箱4，尾气进气口5、净化气体排出口6、自来水进水口7、文丘里混流喷嘴8，所述进气腔1与洗涤腔2分别与所述储水箱4连通，所述储水箱4一端还与常压腔3连通，所述储水箱4与所述常压腔3之间还设有水封9，所述净化气体排出口6与所述洗涤腔2连通，所述尾气进气口5通过进气腔1与净化气体排出口6通过管道连接，所述自来水进水口7通过管道连接至储水箱4，所述进气腔1与所述洗涤腔2之间设有连接至储水箱的管道，所述进气腔1与洗涤腔2之间的管道支路端设有文丘里混流喷嘴8，所述进气腔1与洗涤腔2之间的管道主路与所述储水箱4底端连通且在管道主路位于储水箱4下方位置安置有喷淋循环泵11，所述水封9一半与储水箱4连通，一半与常压腔3连接，所述常压腔3设有开口，所述常压腔3与所述储水箱4均设有排水管道，所述排水管道末端设有排水口10。
具体的，所述自来水进水口7连通储水箱4的管道上设有流量指示表12和进水阀13。
具体的，所述进气腔1与所述洗涤腔2之间的管道支路上设有进水阀13。
具体的，所述储水箱4与所述排水口10的管道上也设有进水阀13。
本实用新型使产生的SiO2白色结晶物与水有效混合均匀，无法聚集漂浮在水面，固体颗粒随溢流水排出设备，基本可以做到免停机清理维护，只要确保液固有效混合液体缓慢溢流出设备即可，不需要大量的补水和排水，节水性好，在水箱内部的溢流口对面，通过对补水方向角度位置等进行有效管理，把混合液体主动推向溢流口方向，将溢流口改为方形隔板式，使溢流水形成类似于瀑布状水流，且设备结构简单，免维护保养，造价低，尾气处理装置通过持续稳定的小流量补水，不仅满足一定的水溶解和吸收能力，保证设备一直处于稳定处理状态，同时通过持续溢流排出溶解SiO2颗粒的浑浊液体。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种湿法喷淋尾气处理装置，包括进气腔、洗涤腔、常压腔、储水箱，尾气进气口、净化气体排出口、自来水进水口、文丘里混流喷嘴，其特征在于：所述进气腔与洗涤腔分别与所述储水箱连通，所述储水箱一端还与常压腔连通，所述储水箱与所述常压腔之间还设有水封，所述净化气体排出口与所述洗涤腔连通，所述尾气进气口通过进气腔与净化气体排出口通过管道连接，所述自来水进水口通过管道连接至储水箱，所述进气腔与所述洗涤腔之间设有连接至储水箱的管道，所述进气腔与洗涤腔之间的管道支路端设有文丘里混流喷嘴，所述进气腔与洗涤腔之间的管道主路与所述储水箱底端连通且在管道主路位于储水箱下方位置安置有喷淋循环泵，所述水封一半与储水箱连通，一半与常压腔连接，所述常压腔设有开口，所述常压腔与所述储水箱均设有排水管道，所述排水管道末端设有排水口。
2.根据权利要求1所述的湿法喷淋尾气处理装置，其特征在于：所述自来水进水口连通储水箱的管道上设有流量指示表和进水阀。
3.根据权利要求1所述的湿法喷淋尾气处理装置，其特征在于：所述进气腔与所述洗涤腔之间的管道支路上设有进水阀。
4.根据权利要求3所述的湿法喷淋尾气处理装置，其特征在于：所述储水箱与所述排水口的管道上也设有进水阀。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201821621327.0U CN209438264U (zh) | 2018-09-30 | 2018-09-30 | 一种湿法喷淋尾气处理装置 |
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| CN201821621327.0U CN209438264U (zh) | 2018-09-30 | 2018-09-30 | 一种湿法喷淋尾气处理装置 |
Publications (1)
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| CN209438264U true CN209438264U (zh) | 2019-09-27 |
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ID=68009486
Family Applications (1)
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Country Status (1)
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| CN (1) | CN209438264U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110917854A (zh) * | 2019-12-04 | 2020-03-27 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 一种尾气处理装置 |
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2018
- 2018-09-30 CN CN201821621327.0U patent/CN209438264U/zh active Active
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