CN209378762U - 半导体废气处理设备新型排水导气装置 - Google Patents
半导体废气处理设备新型排水导气装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN209378762U CN209378762U CN201822077679.0U CN201822077679U CN209378762U CN 209378762 U CN209378762 U CN 209378762U CN 201822077679 U CN201822077679 U CN 201822077679U CN 209378762 U CN209378762 U CN 209378762U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- gas
- connecting tube
- air inlet
- air guide
- inlet pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
Abstract
本实用新型公开了半导体废气处理设备新型排水导气装置，包括连接管，所述连接管的顶端一侧设有进气口，其顶端另一侧设有出气口，所述进气口与出气口均与连接管一体成型，本实用通过导气管伸入连接管内部，并利用导气管喷射出惰性气体，且惰性气体的气流方向与废气排出方向相同，在进气口内端产生负压，增加废气排出速率，可有效避免粉尘堆积；本实用在进气口以及出气口的内端分别设置有第一压力传感器以及第二压力传感器，利用压力变化，做到提前预防，提前处理，堵塞后，可利用导气盖顶端的出水孔向连接管内部喷水，用于清理堵塞物，可在设备运行中进行清理，不影响设备的正常运行。
Description
技术领域
本实用新型涉及排水导气装置技术领域，具体为半导体废气处理设备新型排水导气装置。
背景技术
在半导体废气处理设备的运行过程中，废气首先需要经过高温处理(电加热、燃烧式、等离子式)，再经过排水装置连接后端管道装置(冷却、过滤、吸附等作用)，最后排出设备；气体在经过排水装置时，使气体流动方向发生改变，所以容易在管壁上附着高温处理后的颗粒等固态物，造成排水装置的堵塞，使冷却水无法排出或气体流道受阻甚至堵塞，导致半导体制程废气无法顺利排出，严重影响半导体加工的产量及质量。
现有的解决方案有：1.在排水装置上设置检测零件，堵塞后冷却水位上升，可检测到；2.改变排水装置的形状；3.添加喷水装置，避免粉尘堆积。
现有的解决方案缺点如下：1.设置检测零件无法起到提前预防的作用，一旦排水装置堵塞后，只能停机进行清理，影响工作进度；2改变排水装置的形状，无法从根本上解决颗粒堵塞问题；3.添加喷水装置既无法做到提前预防作用，也浪费了大量的水资源，增加废水处理量。为此，本实用新型提出半导体废气处理设备新型排水导气装置用于解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供半导体废气处理设备新型排水导气装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：半导体废气处理设备新型排水导气装置，包括连接管，所述连接管的顶端一侧设有进气口，其顶端另一侧设有出气口，所述进气口与出气口均与连接管一体成型，所述连接管的管口端部设有导气盖，所述导气盖的一侧设有进气管，导气盖的另一侧设有进水管，导气盖的顶端开设有出气孔以及出水孔，所述进气管以及进水管均与导气盖一体成型，且进气管的内端与出气孔的内端连通，进水管的内端与出水孔的内端连通，所述出气孔的外端螺纹连接导气管，所述导气管远离导气盖的一端穿插在连接管内，且导气管的管口端部位于进气口的正下方。
优选的，所述导气盖的顶端与连接管的管口端部直径相同，二者对齐，且外侧共同连接卡箍，所述卡箍的内侧设有密封圈，所述密封圈的内侧与导气盖的顶部外侧以及连接管的管口端部外侧紧密贴合。
优选的，所述进气口的管口内侧固定安装第一压力传感器，所述出气口的管口内侧固定安装第二压力传感器，且第一压力传感器以及第二压力传感器均通过导线与外部电路电性连接。
优选的，所述出气孔位于导气盖顶端的圆心位置，且出气孔的外端内侧开设有内螺纹，出气孔的直径大于出水孔的直径。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1.本实用通过导气管伸入连接管内部，并利用导气管喷射出惰性气体，且惰性气体的气流方向与废气排出方向相同，在进气口内端产生负压，增加废气排出速率，可有效避免粉尘堆积；
2.本实用在进气口以及出气口的内端分别设置有第一压力传感器以及第二压力传感器，利用压力变化，做到提前预防，提前处理，堵塞后，可利用导气盖顶端的出水孔向连接管内部喷水，用于清理堵塞物，可在设备运行中进行清理，不影响设备的正常运行。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型导气盖结构外观示意图；
图3为本实用新型导气盖结构俯视图；
图4为本实用新型A-A处剖视图；
图5为本实用新型B-B处剖视图。
图中：1连接管、2进气口、3出气口、4导气盖、5进气管、6进水管、7卡箍、8导气管、9出气孔、10出水孔。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：半导体废气处理设备新型排水导气装置，包括连接管1，连接管1的顶端一侧设有进气口2，其顶端另一侧设有出气口3，进气口2与出气口3均与连接管1一体成型，连接管1的管口端部设有导气盖4，导气盖4的一侧设有进气管5，导气盖4的另一侧设有进水管6，导气盖4的顶端开设有出气孔9以及出水孔10，进气管5以及进水管6均与导气盖4一体成型，且进气管5的内端与出气孔9的内端连通，进水管6的内端与出水孔10的内端连通，出气孔9的外端螺纹连接导气管8，导气管8远离导气盖4的一端穿插在连接管1内，且导气管8的管口端部位于进气口2的正下方。
导气盖4的顶端与连接管1的管口端部直径相同，二者对齐，且外侧共同连接卡箍7，卡箍7的内侧设有密封圈，密封圈的内侧与导气盖4的顶部外侧以及连接管1的管口端部外侧紧密贴合；卡箍7起到固定作用，将导气盖4固定在连接管1上，密封圈起到密封作用，防止连接管1内部的水以及废气从缝隙处渗透出去。
进气口2的管口内侧固定安装第一压力传感器，出气口3的管口内侧固定安装第二压力传感器，且第一压力传感器以及第二压力传感器均通过导线与外部电路电性连接；第一压力传感器以及第二压力传感器分别检测进气口2内部的废气气压以及出气口3内部的废气气压，根据压力变化可知连接管1内部废气流通情况，起到提前预防、警报作用。
出气孔9位于导气盖4顶端的圆心位置，且出气孔9的外端内侧开设有内螺纹，出气孔9的直径大于出水孔10的直径；出气孔9用于连接导气管8，并向连接管1内部喷射惰性气体，出水孔10用于向连接管1内部喷水，且只在连接管1内部发生堵塞的情况下才会使用。
工作原理：本实用新型中的连接管结构设置在废气反应腔体与废气清洗过滤腔体之间，腔体中的冷却水通过连接管排到下面的水槽之中。反应腔体内的废气从进气口2进入，从出气口3中排出，可转变气体流动方向，导气盖4通过卡箍7安装在连接管1的管口端部，导气管8伸入连接管1内，并利用进气管5向导气管8中通入惰性气体，如氮气，导气管8的管口端部恰位于进气口2的正下方，由于导气管8的管口处喷射惰性气体，使得进气口2的内端产生负压，可增加废气排出速率，有效避免废气中的固态颗粒物附着在连接管1的内壁上。使用一段时间后，若连接管1的内部仍然附着有固态颗粒物，则废气的出气效率必然受到影响(可通过第一压力传感器与第二压力传感器的压力变化得知)，此时再利用进水管6以及出水孔10向连接管1内部喷水，用于清理连接管1内部的固态颗粒物，起到提前预防，及时清理的作用，整体结构简单，拆卸方便，便于清理。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (4)
1.半导体废气处理设备新型排水导气装置，包括连接管(1)，其特征在于：所述连接管(1)的顶端一侧设有进气口(2)，其顶端另一侧设有出气口(3)，所述进气口(2)与出气口(3)均与连接管(1)一体成型，所述连接管(1)的管口端部设有导气盖(4)，所述导气盖(4)的一侧设有进气管(5)，导气盖(4)的另一侧设有进水管(6)，导气盖(4)的顶端开设有出气孔(9)以及出水孔(10)，所述进气管(5)以及进水管(6)均与导气盖(4)一体成型，且进气管(5)的内端与出气孔(9)的内端连通，进水管(6)的内端与出水孔(10)的内端连通，所述出气孔(9)的外端螺纹连接导气管(8)，所述导气管(8)远离导气盖(4)的一端穿插在连接管(1)内，且导气管(8)的管口端部位于进气口(2)的正下方。
2.根据权利要求1所述的半导体废气处理设备新型排水导气装置，其特征在于：所述导气盖(4)的顶端与连接管(1)的管口端部直径相同，二者对齐，且外侧共同连接卡箍(7)，所述卡箍(7)的内侧设有密封圈，所述密封圈的内侧与导气盖(4)的顶部外侧以及连接管(1)的管口端部外侧紧密贴合。
3.根据权利要求1所述的半导体废气处理设备新型排水导气装置，其特征在于：所述进气口(2)的管口内侧固定安装第一压力传感器，所述出气口(3)的管口内侧固定安装第二压力传感器，且第一压力传感器以及第二压力传感器均通过导线与外部电路电性连接。
4.根据权利要求1所述的半导体废气处理设备新型排水导气装置，其特征在于：所述出气孔(9)位于导气盖(4)顶端的圆心位置，且出气孔(9)的外端内侧开设有内螺纹，出气孔(9)的直径大于出水孔(10)的直径。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201822077679.0U CN209378762U (zh) | 2018-12-12 | 2018-12-12 | 半导体废气处理设备新型排水导气装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201822077679.0U CN209378762U (zh) | 2018-12-12 | 2018-12-12 | 半导体废气处理设备新型排水导气装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN209378762U true CN209378762U (zh) | 2019-09-13 |
Family
ID=67871494
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201822077679.0U Active CN209378762U (zh) | 2018-12-12 | 2018-12-12 | 半导体废气处理设备新型排水导气装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN209378762U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112915718A (zh) * | 2021-01-25 | 2021-06-08 | 北京京仪自动化装备技术有限公司 | 半导体制程废气处理设备 |
-
2018
- 2018-12-12 CN CN201822077679.0U patent/CN209378762U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112915718A (zh) * | 2021-01-25 | 2021-06-08 | 北京京仪自动化装备技术有限公司 | 半导体制程废气处理设备 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN209378762U (zh) | 半导体废气处理设备新型排水导气装置 | |
| CN104474828B (zh) | 高效率湿式除尘器 | |
| CN104399336A (zh) | 锅炉除尘器和除尘方法 | |
| CN107362598B (zh) | 一种自清洗过滤器 | |
| CN104069958A (zh) | 一种干式漆雾捕集装置及方法 | |
| CN106731361A (zh) | 熔铸炉除尘系统 | |
| CN215541778U (zh) | 一种防水气侵蚀的脱硫除尘湿式电除雾器 | |
| CN206694705U (zh) | 用于灌溉的排气快速接头 | |
| CN206577530U (zh) | 熔铸炉除尘塔 | |
| CN102886189B (zh) | 螺旋式文丘里洗涤器和湿法脱硫脱硝除尘系统 | |
| CN211887481U (zh) | 一种适用于洗涤塔的新型涡流喷嘴 | |
| CN209959282U (zh) | 一种矿用除尘风机 | |
| CN211098197U (zh) | 一种包装盒印刷废气处理装置 | |
| CN204973519U (zh) | 一种具有多管雾化装置的节能脱硫塔 | |
| CN204193707U (zh) | 陶瓷膜除尘器 | |
| CN211660330U (zh) | 一种可自动清洗喷嘴的喷头装置 | |
| CN211245922U (zh) | 一种加湿式工业除尘装置 | |
| CN204208440U (zh) | 多元素八八五小麦专用肥生产用尾气洗涤器 | |
| CN104740943B (zh) | 一种袋式除尘器用喷嘴 | |
| CN206604329U (zh) | 一种高效除尘的水帘机 | |
| CN204337939U (zh) | 锅炉除尘器 | |
| CN215235036U (zh) | 一种高效高压静电除尘器 | |
| CN218834094U (zh) | 一种内置s型支板的洗涤塔 | |
| CN103639057B (zh) | 带防堵底板的储水自洁式静电过滤器 | |
| CN210752008U (zh) | 一种脱酸及除尘式急冷塔 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20230825 Address after: 201315, 3rd Floor, Building 12, No. 957 Kangqiao Road, Pudong New Area, Shanghai Patentee after: Shanghai Gaosheng Integrated Circuit Equipment Co.,Ltd. Address before: Room 102, Building B, No. 1088 Kangqiao East Road, Pudong New Area, Shanghai, 201315 Patentee before: SHANGHAI GAOSHENG INTEGRATED CIRCUIT EQUIPMENT Co.,Ltd. |