CN209270955U - 一种硅棒切割液过滤回收装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种硅棒切割液过滤回收装置，其包括主桶体及设置在所述主桶体内的过滤桶；所述主桶体上设置有进水口、出水口、注水口和排污口，所述进水口低于所述出水口设置，所述注水口设置于所述主桶体顶部，所述排污口设置于所述主桶体底部，所述进水口、出水口、注水口和排污口上分别设置有第一阀门、第二阀门、第三阀门和第四阀门；所述过滤桶上部设置有开口，内部设置有滤芯，侧壁上设置有滤孔；所述出水口和进水口分别设置于所述开口上下两侧。

Description

一种硅棒切割液过滤回收装置

技术领域

本实用新型涉及硅片生产制造领域，尤其涉及一种硅棒切割液过滤回收装置。

背景技术

硅棒切割制备硅片过程中，切割产生的硅粉混杂在切割液中，随着切割时长的累积，硅粉累积量也越来越多，硅粉在切割液中的密度随之增高，影响切割液的降温与润滑作用，常出现断线、跳线，严重时影响切割质量，拉低切割效率。因此需要将切割液中的硅粉去除，才能使切割液重复利用，保证切割质量。本实用新型设计了一种硅棒切割液过滤回收装置，能有效滤除切割液中的硅粉，使切割液能循环使用降低能耗，同时可以对滤除的硅粉进行回收利用，避免资源浪费。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能有效过滤切割液、保证切割质量的硅棒切割液过滤回收装置。

为解决上述问题，本实用新型所采取的技术方案是：

一种硅棒切割液过滤回收装置，其关键技术在于：其包括主桶体及设置在所述主桶体内的过滤桶；所述主桶体上设置有进水口、出水口、注水口和排污口，所述进水口低于所述出水口设置，所述注水口设置于所述主桶体顶部，所述排污口设置于所述主桶体底部，所述进水口、出水口、注水口和排污口上分别设置有第一阀门、第二阀门、第三阀门和第四阀门；

所述过滤桶上部设置有开口，内部设置有滤芯，侧壁上设置有滤孔；所述出水口和进水口分别设置于所述开口上下两侧。

作为本实用新型的进一步改进，所述主桶体内设置有隔板，所述过滤桶设置在所述隔板上，所述出水口和进水口分别设置于所述隔板上下两侧。

作为本实用新型的进一步改进，所述主桶体底部向外凸出形成弧形凸起，所述排污口设置在所述弧形凸起底部。

作为本实用新型的进一步改进，所述滤芯为蜂窝滤芯。

作为本实用新型的进一步改进，其还设置有支撑腿，所述主桶体架设在所述支撑腿上。

作为本实用新型的进一步改进，其设置有沉淀池，所述排污口与所述沉淀池连接。

作为本实用新型的进一步改进，其还设置有循环泵。

采用上述技术方案所产生的有益效果在于：

本实用新型所述的硅棒切割液过滤回收装置，能有效滤除切割液中的硅粉，使切割液能循环使用降低能耗，提高切割质量，避免资源浪费。本装置的工作原理是，过滤时，关闭第三、第四阀门、打开第一、第二阀门，切割液由进水口进入主桶体，经过滤芯过滤后由出水口排出，重新循环使用。需要清洗滤芯时，关闭第一、第二阀门，打开第三、第四阀门，由注水口注入高压净水反冲洗滤芯，冲洗约一分钟后，停止注水，关闭第三、第四阀门、打开第一、第二阀门再次开始过滤工作，可每隔两小时反冲洗一次。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1是本实用新型的结构示意图。

其中：1主桶体、2过滤桶、3进水口、4出水口、5注水口、6排污口、7第一阀门、8第二阀门、9第三阀门、10第四阀门、11开口、12隔板、13弧形凸起、14滤芯、15支撑腿。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图和具体实施例对实用新型进行清楚、完整的描述。

如图1所示的一种硅棒切割液过滤回收装置，其包括主桶体1及设置在所述主桶体1内的过滤桶2。还设置有支撑腿15，所述主桶体1架设在所述支撑腿15上。所述主桶体1上设置有进水口3、出水口4、注水口5和排污口6，所述进水口3低于所述出水口4设置，所述注水口5设置于所述主桶体1顶部，所述排污口6设置于所述主桶体1底部，所述进水口3、出水口4、注水口5和排污口6上分别设置有第一阀门7、第二阀门8、第三阀门9和第四阀门10。

所述过滤桶2上部设置有开口11，内部设置有滤芯14，侧壁上设置有滤孔。所述出水口4和进水口3分别设置于所述开口11上下两侧。本实用新型中，所述主桶体1内设置有隔板12，所述过滤桶2设置在所述隔板12上，所述出水口4和进水口3分别设置于所述隔板12上下两侧。

隔板12将主桶体1的内腔分为上下两部分，进水口3处于主桶体1的下半部分，出水口4位于主桶体1的上半部分，使未过滤和过滤的切割液完全分开。关闭第三阀门9和第四阀门10，使由进水口3进入的切割液经过滤桶2过滤后进入主桶体1的上部由出水口4排出。清洗时，关闭第一阀门7和第二阀门8，由进水口3注入高压水反冲洗滤芯14，使其上的硅粉由排污口6排出。本实施例中，所述滤芯14为蜂窝滤芯。为了提高过滤效率，在与进水口3和出水口4连通的管路上设置了循环泵。

反清洗滤芯14的水中含有大量硅粉，因此还设置了沉淀池，将排污口6排出的硅粉水混合物排放到沉淀池，沉淀后对硅粉进行回收实用，实现资源再利用，有效节约能源。为了使排污效果更好，将主桶体1底部设计成向外凸出的弧形凸起13，将排污口6设置在所述弧形凸起13底部，避免边角处滞留污水。本实用新型中，主桶体1上盖可拆卸，方便更换主桶体1内部零部件的拆装和更换。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型实施例技术方案的精神和范围。

Claims (7)

1.一种硅棒切割液过滤回收装置，其特征在于：其包括主桶体（1）及设置在所述主桶体（1）内的过滤桶（2）；所述主桶体（1）上设置有进水口（3）、出水口（4）、注水口（5）和排污口（6），所述进水口（3）低于所述出水口（4）设置，所述注水口（5）设置于所述主桶体（1）顶部，所述排污口（6）设置于所述主桶体（1）底部，所述进水口（3）、出水口（4）、注水口（5）和排污口（6）上分别设置有第一阀门（7）、第二阀门（8）、第三阀门（9）和第四阀门（10）；

所述过滤桶（2）上部设置有开口（11），内部设置有滤芯（14），侧壁上设置有滤孔；所述出水口（4）和进水口（3）分别设置于所述开口（11）上下两侧。

2.根据权利要求1所述的一种硅棒切割液过滤回收装置，其特征在于：所述主桶体（1）内设置有隔板（12），所述过滤桶（2）设置在所述隔板（12）上，所述出水口（4）和进水口（3）分别设置于所述隔板（12）上下两侧。

3.根据权利要求2所述的一种硅棒切割液过滤回收装置，其特征在于：所述主桶体（1）底部向外凸出形成弧形凸起（13），所述排污口（6）设置在所述弧形凸起（13）底部。

4.根据权利要求1所述的一种硅棒切割液过滤回收装置，其特征在于：所述滤芯（14）为蜂窝滤芯。

5.根据权利要求1-4任一项所述的一种硅棒切割液过滤回收装置，其特征在于：其还设置有支撑腿（15），所述主桶体（1）架设在所述支撑腿（15）上。

6.根据权利要求1-4任一项所述的一种硅棒切割液过滤回收装置，其特征在于：其设置有沉淀池，所述排污口（6）与所述沉淀池连接。

7.根据权利要求1-4任一项所述的一种硅棒切割液过滤回收装置，其特征在于：其还设置有循环泵。