CN209256030U - 一种旋转靶材绑定的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种旋转靶材绑定的装置，包括机架、铟溢流封口头、具有加热功能的铟注入封口头组件、若干个靶材位置调节座、1对管支架和用于密封背管的油浴堵头、油浴加热堵头。铟溢流封口头通过1个管支架支撑在机架上，铟注入封口头组件放置在机架上交通过另1个管支架支撑，靶材位置调节座放置在机架上并位于铟溢流封口头和铟注入封口头组件之间。采用本实用新型进行旋转靶材绑定时，旋转靶材是平躺放置，绑定效果好。一方面，通过调整铟溢流封口头和铟注入封口头之间的距离，本实用新型能够适用于各种长度的旋转靶材绑定；另一方面，由于采用平躺放置的形式对旋转靶材进行绑定，不需要进行高空作业，且对厂房的高度没有特殊要求。

Description

一种旋转靶材绑定的装置

技术领域

本实用新型涉及一种旋转靶材绑定的装置。

背景技术

磁控溅射镀膜靶材在使用时，需要将靶材与背板焊接在一起。通常采用铟为焊料进行钎焊。近些年，由于平面靶材的利用率低（不到40%），而旋转靶材的利用率高达80%，平面靶材逐渐显现出被旋转靶材取代的迹象。

旋转靶材在使用时，旋转靶材套在铜管（即背管）外并与铜管钎焊在一起，焊层厚度在1毫米左右。在旋转靶材与背管钎焊（绑定）的过程中，现有技术多是将旋转靶材竖直放置，然后对其进行加热，将熔化的铟注入背管与靶材之间1毫米的间隙中，然后冷却，达到将靶材和铜管焊接的目的。这种方法存在以下不足之处：一方面，需要将旋转靶材竖直放置，旋转靶材的长度通常在2-3米，并有加长的趋势，对厂房高度有要求，且高空作业不方便；另一方面，各厂家使用的旋转靶材长短不一，所以同一长度的加热棒，并不能适应多个长度规格，需要准备多根不同长度的加热棒，增加了零部件的购买成本和管理工作。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种结构简单的旋转靶材绑定的装置，可对平躺放置的旋转靶材进行绑定，适应各种长度的旋转靶材，不需要进行高空作业，对厂房没有特殊的高度要求，绑定效果好，解决了上述现有技术中存在的问题。

解决上述技术问题的技术方案是：一种旋转靶材绑定的装置，包括机架、铟溢流封口头、具有加热功能的铟注入封口头组件、若干个靶材位置调节座、1对管支架和用于密封背管的油浴堵头、油浴加热堵头，所述机架主要是由操作平台和安装在操作平台下方的支架构成，所述操作平台上开有长条形通道，铟溢流封口头通过1个管支架支撑在操作平台的长条形通道上方，所述铟注入封口头组件包括储铟槽、铟注入封口头、封头支架、和用于加热储铟槽的加热器；所述铟溢流封口头和铟注入封口头均是由开有通孔的连接板和分别连接在连接板两侧的大管、小管构成，大管和小管之间相互连通，连接板具有上下连通的中空通道；所述储铟槽安装在封头支架上，铟注入封口头位于储铟槽下方，铟注入封口头的连接板与储铟槽底面连接，铟注入封口头连接板的中空通道即是连通储铟槽与连接板通孔的铟流出通道，铟注入封口头组件通过封头支架放置在操作平台的长条形通道上方，铟注入封口头通过另1个管支架支撑在操作平台上，靶材位置调节座放置在操作平台的长条形通道上并位于铟溢流封口头和铟注入封口头组件之间；所述油浴堵头设置有蒸汽槽和与蒸汽槽连通的蒸汽出口Ⅰ；所述油浴加热堵头设置有安装孔和与安装孔连通的蒸汽出口Ⅱ，安装孔内安装有加热棒，安装孔的一端通过加热棒密封。

所述靶材位置调节座包括可旋转高度微调底板、前后移动滑台、靶材固定半夹和靶材活动半夹，所述可旋转高度微调底板中部开有螺纹孔，前后移动滑台底端设置有带外螺纹的圆台，圆台与螺纹孔通过螺纹连接，所述前后移动滑台上端边缘设置有凸起侧边，该凸起侧边位于靶材固定半夹底面开有的滑槽内，靶材固定半夹的上端面一侧开有长条形定位槽，靶材活动半夹通过定位件与长条形定位槽配合安装在靶材固定半夹的一侧。

所述前后移动滑台一侧安装有调节座和与调节座通过螺纹连接的前后移动调节杆，前后移动调节杆的一端通过轴承与靶材固定半夹的底端连接。

所述可旋转高度微调底板上设置有2个导向柱，圆台两侧的前后移动滑台底端面还开有圆弧导向槽，2个导向柱分别位于圆弧导向槽内。

所述圆台为上部大下部小的结构，圆台的下部开有外螺纹，圆台的下部与可旋转高度微调底板的螺纹孔通过螺纹连接。

由于采用上述技术方案，本实用新型具有以下有益效果：

1、采用本实用新型进行旋转靶材绑定时，旋转靶材是平躺放置，绑定效果好。一方面，通过调整铟溢流封口头和铟注入封口头之间的距离，本实用新型能够适用于各种长度的旋转靶材绑定；另一方面，由于采用平躺放置的形式对旋转靶材进行绑定，不需要进行高空作业，操作方便，且对厂房的高度没有特殊要求。

2、本实用新型装置结构简单，采用油浴油对背管进行加热，通过油浴加热堵头的加热棒对油浴油进行加热，不需要根据旋转靶材的长度准备多根不同长度的加热棒，减少了购买设备的经济成本。

下面结合附图和实施例对本实用新型之一种旋转靶材绑定的装置的技术特征作进一步的说明。

附图说明

图1：本实用新型之旋转靶材绑定的装置立体图（使用状态）。

图2：本实用新型之铟溢流封口头立体图。

图3：本实用新型之铟注入封口头组件立体图。

图4：本实用新型之油浴堵头立体图。

图5：本实用新型之油浴加热堵头立体图。

图6：本实用新型之靶材位置调节座立体图之一。

图7：本实用新型之靶材位置调节座立体图之二。

图8：本实用新型之靶材位置调节座立体图之三。

图中：1-机架，11-操作平台，12-支架，13-长条形通道，2-铟溢流封口头，21-连接板，211-中空通道，22-小管，23-大管，3-铟注入封口头组件，31-储铟槽，32-封头支架，33-加热器，34-铟注入封口头，4-油浴堵头，41-蒸汽槽，42-蒸汽出口Ⅰ，5-油浴加热堵头，51-安装孔，52-加热棒，53-蒸汽出口Ⅱ，6-靶材位置调节座，61-可旋转高度微调底板，62-前后移动滑台，621-凸起侧边，622-圆弧导向槽，63-靶材固定半夹，631-滑槽，632-长条形定位槽，64-靶材活动半夹，65-圆台，66-调节座，67-前后移动调节杆，68-导向柱，7-管支架。

P表示旋转靶材。

具体实施方式

实施例1：一种旋转靶材绑定的装置，包括机架1、铟溢流封口头2、具有加热功能的铟注入封口头组件3、若干个靶材位置调节座6、1对管支架7和用于密封背管的油浴堵头4、油浴加热堵头5，所述管支架的支撑端面为V形端面。所述机架主要是由操作平台11和安装在操作平台下方的支架12构成，所述操作平台上开有长条形通道13，铟溢流封口头通过1个管支架支撑在操作平台的长条形通道上方，所述铟注入封口头组件3包括储铟槽31、铟注入封口头34、封头支架32、和用于加热储铟槽的加热器33；所述铟溢流封口头和铟注入封口头均是由开有通孔的连接板21和分别连接在连接板两侧的大管23、小管22构成，大管和小管之间相互连通，连接板具有上下连通的中空通道211；所述储铟槽安装在封头支架上，铟注入封口头位于储铟槽下方，铟注入封口头的连接板与储铟槽底面连接，铟注入封口头连接板的中空通道即是连通储铟槽与连接板通孔的铟流出通道，铟注入封口头组件通过封头支架放置在操作平台的长条形通道上方，铟注入封口头通过另1个管支架支撑在操作平台上，靶材位置调节座6放置在操作平台的长条形通道上并位于铟溢流封口头和铟注入封口头组件之间；所述油浴堵头4设置有蒸汽槽41和与蒸汽槽连通的蒸汽出口Ⅰ42；所述油浴加热堵头5设置有安装孔51和与安装孔连通的蒸汽出口Ⅱ53，安装孔内安装有加热棒52，安装孔的一端通过加热棒密封。

本实施例中，所述靶材位置调节座6包括可旋转高度微调底板61、前后移动滑台62、靶材固定半夹63和靶材活动半夹64，所述可旋转高度微调底板中部开有螺纹孔，前后移动滑台底端设置有带外螺纹的圆台65，圆台与螺纹孔通过螺纹连接，即圆台为上部大下部小的结构，圆台的下部开有外螺纹，圆台的下部与可旋转高度微调底板的螺纹孔通过螺纹连接。所述前后移动滑台上端边缘设置有凸起侧边621，该凸起侧边位于靶材固定半夹底面开有的滑槽631内，靶材固定半夹的上端面一侧开有长条形定位槽632，靶材活动半夹通过定位件（如定位销）与长条形定位槽配合安装在靶材固定半夹的一侧。通过移动靶材活动半夹的固定位置可调节靶材固定半夹63和靶材活动半夹64之间的夹紧距离。所述前后移动滑台一侧安装有调节座66和与调节座通过螺纹连接的前后移动调节杆67，前后移动调节杆的一端通过轴承与靶材固定半夹的底端连接。通过旋转前后移动调节杆67可带动靶材固定半夹前后移动。所述可旋转高度微调底板上设置有2个导向柱68，圆台两侧的前后移动滑台底端面还开有圆弧导向槽622，2个导向柱分别位于圆弧导向槽内。通过旋转圆台65调节圆台65与旋转高度微调底板61之间的距离，可以微调靶材位置调节座6对旋转靶材的支撑高度；旋转圆台时，导向柱68在前后移动滑台底端面的圆弧导向槽622内移动，起到导向转动的作用。

作为本实施例的一种变换，所述靶材位置调节座6的具体结构还可以根据实际情况进行调节变换。

采用本实用新型进行旋转靶材绑定的方法，包括以下步骤：

⑴将旋转靶材P（可以是多个旋转靶材）套到背管上，旋转靶材放置到靶材位置调节座6上通过靶材固定半夹63和靶材活动半夹64支撑固定，背管的两端分别位于铟溢流封口头2和铟注入封口头34内通过管支架支撑好（背管的端部具有收缩小口的结构，刚好与铟溢流封口头2和铟注入封口头34的大管和小管部分贴合，铟溢流封口头2和铟注入封口头34的大管朝向旋转靶材布置）；

⑵用油浴堵头4和油浴加热堵头5分别密封堵好背管的两端头，油浴加热堵头的加热棒52向背管的内部延伸；

⑶通过靶材位置调节座6调节靶材位置，使靶材与背管同心，用密封胶带对靶材与靶材之间的接缝进行密封；

⑷通过油浴堵头的蒸汽出口Ⅰ42和油浴加热堵头的蒸汽出口Ⅱ53向背管的内部注入油浴油，开启加热棒52，使油浴油的温度达到170-200℃；同时开启铟注入封口头组件的加热器33，使储铟槽31温度达到170-200℃；

⑸将铟块加入储铟槽31中，铟受热溶化后从铟注入封口头连接板内的铟流出通道注入靶材与背管之间的缝隙，待从铟溢流封口头2连接板的中空通道211处看见有铟液位高于背管，即说明旋转靶材与背管之间的缝隙被铟充满，停止加热，冷却后，旋转靶材即与背管焊接（即绑定）在一起。

旋转靶材即与背管绑定结束后，将油浴堵头4和油浴加热堵头5取下，使油浴油从背管中流出后，即可取下绑定在一起的转靶材即与背管。

Claims (5)

1.一种旋转靶材绑定的装置，其特征在于：包括机架（1）、铟溢流封口头（2）、具有加热功能的铟注入封口头组件（3）、若干个靶材位置调节座（6）、1对管支架（7）和用于密封背管的油浴堵头（4）、油浴加热堵头（5），所述机架主要是由操作平台（11）和安装在操作平台下方的支架（12）构成，所述操作平台上开有长条形通道（13），铟溢流封口头通过1个管支架支撑在操作平台的长条形通道上方，所述铟注入封口头组件（3）包括储铟槽（31）、铟注入封口头（34）、封头支架（32）、和用于加热储铟槽的加热器（33）；所述铟溢流封口头和铟注入封口头均是由开有通孔的连接板和分别连接在连接板两侧的大管、小管构成，大管和小管之间相互连通，连接板具有上下连通的中空通道；所述储铟槽安装在封头支架上，铟注入封口头位于储铟槽下方，铟注入封口头的连接板与储铟槽底面连接，铟注入封口头连接板的中空通道即是连通储铟槽与连接板通孔的铟流出通道，铟注入封口头组件通过封头支架放置在操作平台的长条形通道上方，铟注入封口头通过另1个管支架支撑在操作平台上，靶材位置调节座（6）放置在操作平台的长条形通道上并位于铟溢流封口头和铟注入封口头组件之间；所述油浴堵头（4）设置有蒸汽槽（41）和与蒸汽槽连通的蒸汽出口Ⅰ（42）；所述油浴加热堵头（5）设置有安装孔（51）和与安装孔连通的蒸汽出口Ⅱ（53），安装孔内安装有加热棒（52），安装孔的一端通过加热棒密封。

2.根据权利要求1所述一种旋转靶材绑定的装置，其特征在于：所述靶材位置调节座（6）包括可旋转高度微调底板（61）、前后移动滑台（62）、靶材固定半夹（63）和靶材活动半夹（64），所述可旋转高度微调底板中部开有螺纹孔，前后移动滑台底端设置有带外螺纹的圆台（65），圆台与螺纹孔通过螺纹连接，所述前后移动滑台上端边缘设置有凸起侧边（621），该凸起侧边位于靶材固定半夹底面开有的滑槽（631）内，靶材固定半夹的上端面一侧开有长条形定位槽（632），靶材活动半夹通过定位件与长条形定位槽配合安装在靶材固定半夹的一侧。

3.根据权利要求2所述一种旋转靶材绑定的装置，其特征在于：所述前后移动滑台一侧安装有调节座（66）和与调节座通过螺纹连接的前后移动调节杆（67），前后移动调节杆的一端通过轴承与靶材固定半夹的底端连接。

4.根据权利要求2或3所述一种旋转靶材绑定的装置，其特征在于：所述可旋转高度微调底板上设置有2个导向柱（68），圆台两侧的前后移动滑台底端面还开有圆弧导向槽（622），2个导向柱分别位于圆弧导向槽内。

5.根据权利要求2或3所述一种旋转靶材绑定的装置，其特征在于：所述圆台为上部大下部小的结构，圆台的下部开有外螺纹，圆台的下部与可旋转高度微调底板的螺纹孔通过螺纹连接。