CN209255375U - 一种用于超声清洗衬底的容器 - Google Patents
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Abstract
一种用于超声清洗衬底的容器,包括用于盛放超声清洗液的玻璃容纳槽和塑料材质的清洗架,所述清洗架置于玻璃容纳槽内,所述清洗架的上端设有支撑部,所述清洗架通过支撑部支撑在玻璃容纳槽的槽边缘上;所述清洗架中部设有空腔,空腔内由上至下设有若干层塑料材质的水平隔板,所述水平隔板上开有若干个用于气体和清洗液流通的第一通孔,所述水平隔板用于放置需要清洗的衬底。本实用新型利用若干层水平隔板增大摆放面积,每层水平隔板都能放置大量的衬底,实现一次清洗较多的衬底,有效提高了清洗效率和资源利用效率;同时,将衬底放置在清洗架的水平隔板上,方便取出和摆放,操作简单便捷。
Description
技术领域
本实用新型涉及清洗设备技术领域,具体涉及一种用于超声清洗衬底的容器。
背景技术
在实验准备阶段,研究员常会对实验过程需要用到的各类衬底(例如SiO2/Si衬底,FTO衬底以及蓝宝石衬底等)及其他物件进行去污清洗,这个清洗操作通常在烧杯中进行。普通的烧杯需要倒入与超声清洗器内等水位的清洗液才能保证在清洗过程中保持平衡和稳定。但是烧杯有限的底部面积只能装载少量的衬底,这不仅限制了单次超声清洗的效率,还造成资源的较大浪费。另外,在清洗结束之后需要使用镊子将烧杯中的物品取出,遇到较薄的衬底将会加大取出的难度,操作较为不便。
实用新型内容
本实用新型目的在于克服现有技术的缺点与不足,提供了一种用于超声清洗衬底的容器,以解决实验过程需要用到的各类衬底清洗效率低下、清洗资源浪费以及清洗操作不便的问题。
为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案如下:
一种用于超声清洗衬底的容器,包括用于盛放超声清洗液的玻璃容纳槽和塑料材质的清洗架,所述清洗架置于玻璃容纳槽内,所述清洗架的上端设有支撑部,所述清洗架通过支撑部支撑在玻璃容纳槽的槽边缘上;所述清洗架中部设有空腔,空腔内由上至下设有若干层塑料材质的水平隔板,所述水平隔板上开有若干个用于气体和清洗液流通的第一通孔,所述水平隔板用于放置需要清洗的衬底。
由上可知,本实用新型在对衬底(例如SiO2/Si衬底,FTO衬底以及蓝宝石衬底等)进行超声清洗时,将衬底放置在清洗架的水平隔板上,然后将清洗架放置在玻璃容纳槽内,而且清洗架通过支撑部支撑在玻璃容纳槽的槽边缘上,然后向玻璃容纳槽注入清洗液,清洗液通过水平隔板上第一通孔流注在清洗架上,直到将水平隔板上的衬底浸泡,接着开启超声清洗器对衬底进行超声清洗,清洗产生的气泡也通过第一通孔逸出,清洗完成后,通过抓住清洗架或支撑部将清洗架取出,然后再将衬底从水平隔板上取下,而余下的清洗液还可以留在玻璃容纳槽内,用于下次使用。
综上所述,本实用新型利用若干层水平隔板增大摆放面积,每层水平隔板都能放置大量的衬底,实现一次清洗较多的衬底,有效提高了清洗效率和资源利用效率;同时,将衬底放置在清洗架的水平隔板上,方便取出和摆放,操作简单便捷。
作为本实用新型的一种改进,所述清洗架为U型板,所述U型板的两竖板之间由上至下设有若干层塑料材质的水平隔板。
作为本实用新型的一种改进,所述支撑部为设在U型板两竖板上端外侧的支撑翼板。
作为本实用新型的一种改进,所述U型板的底板开有若干个第二通孔。
作为本实用新型的一种改进,所述U型板的两竖板内侧设有插槽,所述水平隔板两侧分别插装在所述两竖板内侧的插槽上。
进一步地,所述水平隔板的数量为2~5个。
进一步地,所述的水平隔板开有8×8个第一通孔,第一通孔直径为5cm~6cm。
进一步地,所述U型板的底板开有3×3个第二通孔,第一通孔直径为5cm~8cm。
与现有技术相比,本实用新型具有以下优点:
本实用新型利用若干层水平隔板增大摆放面积,每层水平隔板都能放置大量的衬底,实现一次清洗较多的衬底,有效提高了清洗效率和资源利用效率;同时,将衬底放置在清洗架的水平隔板上,方便取出和摆放,操作简单便捷。
附图说明
图1为本实用新型用于超声清洗衬底的容器的立体图;
图2为本实用新型用于超声清洗衬底的容器的清洗架的示意图;
图3为本实用新型用于超声清洗衬底的容器的玻璃容纳槽的示意图。
图中:10-玻璃容纳槽;20-清洗架,21-U型板,22-第二通孔,23-插槽;30-支撑部;40-水平隔板,41-第一通孔。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型,而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部内容。
实施例
请参考图1和图3,一种用于超声清洗衬底的容器,包括用于盛放超声清洗液的玻璃容纳槽10和塑料材质的清洗架20;
所述清洗架20置于玻璃容纳槽10内,所述清洗架20的上端设有支撑部30,所述清洗架20通过支撑部30支撑在玻璃容纳槽10的槽边缘上;
所述清洗架20中部设有空腔,空腔内由上至下设有若干层塑料材质的水平隔板40,所述水平隔板40上开有若干个用于气体和清洗液流通的第一通孔41,所述水平隔板40用于放置需要清洗的衬底。
由上可知,本实用新型在对衬底(例如SiO2/Si衬底,FTO衬底以及蓝宝石衬底等)进行超声清洗时,将衬底放置在清洗架的水平隔板上,然后将清洗架放置在玻璃容纳槽内,而且清洗架通过支撑部支撑在玻璃容纳槽的槽边缘上,然后向玻璃容纳槽注入清洗液,清洗液通过水平隔板上第一通孔流注在清洗架上,直到将水平隔板上的衬底浸泡,接着开启超声清洗器对衬底进行超声清洗,清洗产生的气泡也通过第一通孔逸出,清洗完成后,通过抓住清洗架或支撑部将清洗架取出,然后再将衬底从水平隔板上取下,而余下的清洗液还可以留在玻璃容纳槽内,用于下次使用。
综上所述,本实用新型利用若干层水平隔板增大摆放面积,每层水平隔板都能放置大量的衬底,实现一次清洗较多的衬底,有效提高了清洗效率和资源利用效率;同时,将衬底放置在清洗架的水平隔板上,方便取出和摆放,操作简单便捷。
在本实施例中,所述清洗架20为U型板21,所述U型板21的两竖板之间由上至下设有若干层塑料材质的水平隔板40。清洗架采用U型板的形式,U型板的空间十分开阔,占用体积小,有利于清洗液在玻璃容纳槽内流通。
在本实施例中,所述支撑部30为设在U型板21两竖板上端外侧的支撑翼板。支撑翼板支撑在玻璃容纳槽10的槽边缘上,即可将U型板固定。
在本实施例中,所述U型板21的底板开有若干个第二通孔22。U型板的底板设有通孔,能使清洗液较为快速地从U型板上流出。
在本实施例中,所述U型板21的两竖板内侧设有插槽23,所述水平隔板40两侧分别插装在所述两竖板内侧的插槽23上。水平隔板与U型板之间采用可装拆式的插槽连接方式,可以方便设置水平隔板的数量,同时更加方便将衬底取出和摆放
在本实施例中,所述水平隔板40的数量为5个。所述的水平隔板40开有8×8个第一通孔41,第一通孔41直径为5cm~6cm。所述U型板21的底板开有3×3个第二通孔22,第一通孔22直径为5cm~8cm。
上述实施例为本实用新型较佳的实施方式,但本实用新型的实施方式并不受上述实施例的限制,其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化,均应为等效的置换方式,都包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种用于超声清洗衬底的容器,其特征在于:包括用于盛放超声清洗液的玻璃容纳槽和塑料材质的清洗架,所述清洗架置于玻璃容纳槽内,所述清洗架的上端设有支撑部,所述清洗架通过支撑部支撑在玻璃容纳槽的槽边缘上;所述清洗架中部设有空腔,空腔内由上至下设有若干层塑料材质的水平隔板,所述水平隔板上开有若干个用于气体和清洗液流通的第一通孔,所述水平隔板用于放置需要清洗的衬底。
2.根据权利要求1所述的用于超声清洗衬底的容器,其特征在于:所述清洗架为U型板,所述U型板的两竖板之间由上至下设有若干层塑料材质的水平隔板。
3.根据权利要求2所述的用于超声清洗衬底的容器,其特征在于:所述支撑部为设在U型板两竖板上端外侧的支撑翼板。
4.根据权利要求2所述的用于超声清洗衬底的容器,其特征在于:所述U型板的底板开有若干个第二通孔。
5.根据权利要求2所述的用于超声清洗衬底的容器,其特征在于:所述U型板的两竖板内侧设有插槽,所述水平隔板两侧分别插装在所述两竖板内侧的插槽上。
6.根据权利要求1所述的用于超声清洗衬底的容器,其特征在于:所述水平隔板的数量为2~5个。
7.根据权利要求1所述的用于超声清洗衬底的容器,其特征在于:所述的水平隔板开有8×8个第一通孔,第一通孔直径为5cm~6cm。
8.根据权利要求4所述的用于超声清洗衬底的容器,其特征在于:所述U型板的底板开有3×3个第二通孔,第一通孔直径为5cm~8cm。
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CN201821656758.0U CN209255375U (zh) | 2018-10-12 | 2018-10-12 | 一种用于超声清洗衬底的容器 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN113296350A (zh) * | 2021-05-10 | 2021-08-24 | 中国电子科技集团公司第十一研究所 | 一种光刻板板架 |
CN113926791A (zh) * | 2021-10-08 | 2022-01-14 | 陕西华经微电子股份有限公司 | 一种可调节式清洗夹具 |
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2018
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