CN113296350A - 一种光刻板板架 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种光刻板板架，光刻板板架，包括：框体1和至少一组支撑组件13；框体1至少包括两块相对设置的放置板，至少一组支撑组件13相对设置在放置板上，至少一组支撑组件13形成放置轨道并对放入其间的光刻板3进行支撑；框体上还设置有阻挡结构，阻挡结构用于对光刻板3进行限位；阻挡结构之间留有空隙区域，空隙区域用于流通洗液至光刻板3上，实现对光刻板3的清洗。本发明实施例通过设计与光刻板对应的框架结构，利用支撑组件实现对光刻板的支撑放置，并设计一洗液流通区域，使得洗液可以在光刻板上流通，一方面提高了光刻板的收纳效率，同时兼具了清洗功能。
Description
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种光刻板板架。
背景技术
光刻工艺是半导体制作工艺中的关键工艺步骤，通过光刻掩膜板的使用，在器件结构表面形成下一步要制作的器件结构图形的光刻胶膜层，通过后续腐蚀、刻蚀或注入、剥离工艺实现器件结构的逐步制备。
由于半导体器件每一步结构的实现都会涉及到一块光刻板的使用，因此在工艺线上，随着生产的产品类型的增加，产品的更新迭代，光刻板的数量也会逐渐增加，光刻板的有效收纳就成为一种问题。
发明内容
本发明实施例提供一种光刻板板架，提高光刻板的收纳效率，同时兼具清洗光刻板的功能。
本发明实施例提出一种光刻板板架，包括：框体1和至少一组支撑组件13；
所述框体1至少包括两块相对设置的放置板，至少一组所述支撑组件13相对设置在所述放置板上，至少一组所述支撑组件13形成放置轨道并对放入其间的光刻板3进行支撑；
所述框体上还设置有阻挡结构，所述阻挡结构用于对所述光刻板3进行限位；
所述阻挡结构之间留有空隙区域，所述空隙区域用于流通洗液至所述光刻板3上，实现对光刻板3的清洗。
在一示例中，所述光刻板板架还包括卡扣12，所述卡扣设置在所述框体1的外侧壁上，所述卡扣12用于配合卡合件2实现将两个板架进行拼接。
在一示例中，所述支撑组件13、所述框体1以及所述卡合件2均采用耐腐蚀材料制成。
在一示例中，所述支撑组件13包括沿所述框体1向所述光刻板板架内侧凸起的支撑部；
所述支撑部与所述框体1之间呈预设角度。
在一示例中，所述支撑部的尺寸与对应存放的光刻板3的规格相适配。
在一示例中，所述支撑部呈V形凸起结构。
在一示例中，所述框体1上还设置有标识区域16，所述标识区域16用于标识当前光刻板板架放置的光刻板信息。
在一示例中，所述阻挡结构包括设置于两块所述放置板之间的挡板15，所述挡板15设置有通孔14，所述通孔14用于流通所述洗液。
本发明实施例通过设计与光刻板对应的框架结构，利用支撑组件实现对光刻板的支撑放置，并设计一洗液流通区域，使得洗液可以在光刻板上流通，一方面提高了光刻板的收纳效率，同时兼具了清洗功能。
上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本发明的具体实施方式。
附图说明
通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本发明的限制。而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中：
图1为本发明实施例光刻板板架基本结构正视图；
图2为图1的侧视图；
图3为图1的俯视图；
图4为光刻板放置后的示意图；
图5为卡扣结构示意图；
图6为光刻板板架拼合示意图。
具体实施方式
下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施例。虽然附图中显示了本公开的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。
本发明实施例提出一种光刻板板架，如图1-3所示，包括：框体1和至少一组支撑组件13；
所述框体1至少包括两块相对设置的放置板，至少一组所述支撑组件13相对设置在所述放置板上，至少一组所述支撑组件13形成放置轨道并对放入其间的光刻板3进行支撑；
所述框体上还设置有阻挡结构，所述阻挡结构用于对所述光刻板3进行限位；
所述阻挡结构之间留有空隙区域，所述空隙区域用于流通洗液至所述光刻板3上，实现对光刻板3的清洗。
本发明实施例通过设计与光刻板对应的框架结构，其中框体1、支撑组件13可以是一体结构，阻挡结构可以是可拆卸安装的，方便清洗板架的时候拆装组合，当然阻挡结构也可以与框体1做成一体结构，具体根据实际场景需要设置，本实施例中利用支撑组件实现对光刻板的支撑放置，具体的支撑组件的组数可以根据实际需要设置，例如实际应用中可以布满框体，同时框体上设计一洗液流通区域，使得洗液可以在光刻板上流通，一方面提高了光刻板的收纳效率，同时兼具了清洗功能。
在一示例中，所述支撑组件13包括沿所述框体1向所述光刻板板架内侧凸起的支撑部；
所述支撑部与所述框体1之间呈预设角度。
如图1所示，支撑组件13包括沿所述框体1向所述光刻板板架内侧凸起的支撑部，其中支撑部沿光刻板的放置方向可以是连续的凸起结构也可以是间隔设置的凸起结构，本实例中支撑部用于对放入其间的光刻板3进行支撑。
作为另外的一种示例，支撑组件13也可以是在框体1设置沟槽结构，沟槽结构具有一定的倾斜角度，沟槽结构的宽度与光刻板厚度相适配。同时支撑部与框体1之间呈预设角度。如图4所示，支撑部可以设置一定的倾斜角度，保证光刻板3能够依靠自身重量在板架上放置平稳。
在一示例中，所述阻挡结构包括设置于两块所述放置板之间的挡板15，所述挡板15设置有通孔14，所述通孔14用于流通所述洗液。
本示例中，阻挡结构可以是置于两块所述放置板之间的挡板15，也即本示例中，两块所述放置板以及挡板15形成包围结构。在前述支撑部与框体1之间呈预设角度的基础上，本示例中，挡板15上设置有通孔14，通孔14用于流通所述洗液，通孔的形状可以是任意形状，在此不做限定。本示例中挡板用于防止光刻板放入后滑落，具体的挡板结构可根据实际需要设置，在此不做一一列举以及具体限定。
作为阻挡结构的另外一种实施方案，还可以在支撑组件13的末端设置阻挡槽的方式实现，例如在V型支撑部末端设置横条状的阻挡槽。此时可以在框体1上下侧分别设置一盖板，也即此时框体1呈合围结构，而放置光刻板3的前后侧完全留空，从而洗液可以完全渗入光刻板3中，保证清洗效果。
在一示例中，所述支撑部的尺寸与对应存放的光刻板3的规格相适配。
本示例中，可以将框体1的尺寸进行固定，也即任意框体1的基本尺寸是一致的，而为了适配不同规格的光刻板3，可以改变支撑部，本实例中支撑部呈V形凸起结构，如图1所示，可以根据光刻板3的实际尺寸例如4寸，6寸等，改变V形凸起结构的大小，从而实现对不同规格的光刻板3的支撑。
作为框体1的另外一种实施方案，也可以保持V型支撑部不变，根据光刻板的尺寸调整框体1的尺寸。
框体1的尺寸以及V型支撑组件的尺寸决定了框体1内设置的V型支撑组件的数量，尽可能保证单块板架上排满。同时最佳的情况是多块光刻板夹叠放在一起时，支撑组件13在两个板架的接触位置能很好地实现衔接，从而实现立体空间的最大化利用。
在一示例中，所述框体1上还设置有标识区域16，所述标识区域16用于标识当前光刻板板架放置的光刻板信息。
如图1所示，框体1上还设置有标识区域16，标识区域16可以通过打标或者粘贴标签的方式设置光刻板信息，由此方便光刻板的寻找，以及使用后归位。
在一示例中，所述光刻板板架还包括卡扣12，所述卡扣设置在所述框体1的外侧壁上，所述卡扣12用于配合卡合件2实现将两个板架进行拼接。
如图5、图6所示，作为另外一种实施方式，本示例中，光刻板板架还包括卡扣12，卡扣12可以设置在框体1的四个角落上，通过图5所示的卡合件2可以将两个光刻板板架的卡扣12连接在一起，由此形成扩展的光刻板板架。也本示例中，可以将2-n个光刻板板架进行组合，实现存储空间立体方向上的最大化使用。
在一示例中，所述支撑组件13、所述框体1以及所述卡合件2均采用耐腐蚀材料制成，如聚四氟乙烯材料等。
本示例中，光刻板板架的支撑组件13、所述框体1以及所述卡合件2均采用耐腐蚀材料制成，如聚四氟乙烯材料等，用于防止耐酸、碱、有机溶剂的腐蚀。
综上，本发明实施例提出的光刻板板架可以稳定放置光刻板，并且光刻板上下表面不会接触到任何物体，避免划伤。同时设计有通孔，可以允许洗液通过。由于框体采用了耐腐蚀材料制成，在光刻板放置后，可以将板架整体放入洗液中，从而方便对光刻板的清洗。通过多个光刻板板架的叠加，可以有效提升立体空间的使用效率。
需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素。
上述本发明实施例序号仅仅为了描述，不代表实施例的优劣。
上面结合附图对本发明的实施例进行了描述，但是本发明并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本发明的启示下，在不脱离本发明宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，这些均属于本发明的保护之内。
Claims (8)
1.一种光刻板板架，其特征在于，包括：框体(1)和至少一组支撑组件(13)；
所述框体(1)至少包括两块相对设置的放置板，至少一组所述支撑组件(13)相对设置在所述放置板上，至少一组所述支撑组件(13)形成放置轨道并对放入其间的光刻板(3)进行支撑；
所述框体上还设置有阻挡结构，所述阻挡结构用于对所述光刻板(3)进行限位；
所述阻挡结构之间留有空隙区域，所述空隙区域用于流通洗液至所述光刻板(3)上，实现对光刻板(3)的清洗。
2.如权利要求1所述的光刻板板架，其特征在于，所述光刻板板架还包括卡扣(12)，所述卡扣设置在所述框体(1)的外侧壁上，所述卡扣(12)用于配合卡合件(2)实现将两个板架进行拼接。
3.如权利要求2所述的光刻板板架，其特征在于，所述支撑组件(13)、所述框体(1)以及所述卡合件(2)均采用耐腐蚀材料制成。
4.如权利要求1所述的光刻板板架，其特征在于，所述支撑组件(13)包括沿所述框体(1)向所述光刻板板架内侧凸起的支撑部；
所述支撑部与所述框体(1)之间呈预设角度。
5.如权利要求4所述的光刻板板架，其特征在于，所述支撑部的尺寸与对应存放的光刻板(3)的规格相适配。
6.如权利要求4所述的光刻板板架，其特征在于，所述支撑部呈V形凸起结构。
7.如权利要求1-6任一项所述的光刻板板架，其特征在于，所述框体(1)上还设置有标识区域(16)，所述标识区域(16)用于标识当前光刻板板架放置的光刻板信息。
8.如权利要求1-6任一项所述的光刻板板架，其特征在于，所述阻挡结构包括设置于两块所述放置板之间的挡板(15)，所述挡板(15)设置有通孔(14)，所述通孔(14)用于流通所述洗液。
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