CN209248250U - 一种步进式ldi光刻机的uvled阵列结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及光刻机技术领域，特别涉及一种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构，其技术方案要点是，包括壳体、灯板和灯珠，所述灯板上开设有若干个反光碗，若干个所述反光碗呈圆周方向分布，且若干个所述反光碗均匀的分布在六个照射区中，相邻的所述照射区中的所述反光碗位于不同圆周方向上，所述灯珠嵌设在所述反光碗内；所述灯板沿圆周方向滑动连接在所述壳体的内壁；设有六个照射区，且每个反光区中的反光碗都是位于不同的圆周方向上的，这样就可以填补每个照射区径向方向上的反光碗之间的间隙，使光源的照射不留死点，同时配合灯板在一定角度下转动，可以使每个照射区的光线都均匀的照射到产品上，使产品的固化更加均匀有效。

Description

一种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，特别涉及一种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构。

背景技术

光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序，众所周知，三十多年以前紫外线被成功的推广到商业应用。各胶黏剂生产商针对UV光固化特性，研制出用于粘接、密封、印刷等系列UV产品，并广泛应用于通讯、电子、光学、印刷等众多领域。这些产品在UV光照射下，会固化或硬化，并且与传统产品－UV光固化更加快高效、节能环保。

现有光刻机的UVLED阵列结构是固定式的，由于光源是散射状的，局部的光照强度不一，这样就使得对产品的固化或硬化的效果不够均匀，这就限制了无法进行对产品进行精细加工。

实用新型内容

本实用新型提供一种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构，旨在解决现有的UVLED阵列结构形成的光源不够均匀的问题。

本实用新型是这样实现的，一种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构，包括壳体、灯板和灯珠，所述灯板上开设有若干个反光碗，若干个所述反光碗呈圆周方向分布，且若干个所述反光碗均匀的分布在六个照射区中，相邻的所述照射区中的所述反光碗位于不同圆周方向上，所述灯珠嵌设在所述反光碗内；所述灯板沿圆周方向滑动连接在所述壳体的内壁，所述灯板的滑动角度大于六十度。

优选的，所述灯板远离所述反光碗的一侧固定有联动柱，所述壳体上开设有与所述联动柱配合的弧形导槽，所述弧形导槽的弧长为五分之二π。

优选的，所述灯板的外侧一周设有外层聚光弧板。

优选的，所述灯板远离所述反光碗的一侧中间位置处固定有线缆管，所述线缆管转动连接在所述壳体的内壁。

优选的，所述壳体远离所述灯板的一侧固定有马达，所述马达的一侧还设有从动轮，所述从动轮转动连接在所述灯板的外壁，所述马达与所述从动轮传动连接。

优选的，所述马达的输出端连接有主动轮，所述主动轮与所述从动轮之间通过传动带传动连接。

优选的，所述从动轮的外壁设有曲柄，所述曲柄与所述联动柱之间通过连杆传动连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、该种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构，设有六个照射区，且每个反光区中的反光碗都是位于不同的圆周方向上的，这样就可以填补每个照射区径向方向上的反光碗之间的间隙，使光源的照射不留死点，同时配合灯板在一定角度下转动，可以使每个照射区的光线都均匀的照射到产品上，使产品的固化更加均匀有效。

2、该种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构，在灯板中设有多个反光碗，可以对灯珠发出的光线进行聚集，这样就能大幅的降低光线的散射，增加光源的照射效率，降低损耗。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构图；

图2为本实用新型的反光碗分布示意图；

图3为本实用新型的传动结构示意图；

图中，1、壳体；101、弧形导槽；2、灯板；201、照射区；21、线缆管；22、反光碗；23、外层聚光弧板；24、联动柱；3、灯珠；4、马达；41、主动轮；411、传动带；42、从动轮；421、曲柄；43、连杆。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构，包括壳体1、灯板2和灯珠3，灯板2上开设有若干个反光碗22，若干个反光碗22呈圆周方向分布，且若干个反光碗22均匀的分布在六个照射区201中，相邻的照射区201中的反光碗22位于不同圆周方向上，灯珠3嵌设在反光碗22内；灯板2沿圆周方向滑动连接在壳体1的内壁，灯板2的滑动角度大于六十度。

本实施例中：灯板2上开设有若干个反光碗22，通过若干个反光碗22可以对其内部的灯珠3进行光线的导向作用，对光源进行聚集，防止大量的光线散射，造成能量的无效损耗，若干个反光碗22呈圆周方向分布，且若干个反光碗22均匀的分布在六个照射区201中，六个照射区201分成两种，相邻的两个照射区201中的反光碗22分布不同，而相隔的照射区201中的反光碗22分布相同，相邻的照射区201中的反光碗22位于不同圆周方向上，由于相邻的两个照射区201中的反光碗22位于不同圆周方向上，所以可以相互之间弥补反光碗22在径向方向上的照明缝隙，这样就增加了照明的整体平衡性，灯珠3嵌设在反光碗22内；灯板2沿圆周方向滑动连接在壳体1的内壁，灯板2的滑动角度大于六十度，在使用时，由于灯板2的转动，且角度大于六十度，刚好可以在产品的同样位置，均匀且连续的受到两个反光碗22分布不同的照射区201的照射，保证受照射的均匀性。

具体的，灯板2远离反光碗22的一侧固定有联动柱24，壳体1上开设有与联动柱24配合的弧形导槽101，弧形导槽101的弧长为五分之二π；通过带动联动柱24在弧形导槽101内滑动，就能够实现灯板2在壳体1内发生可靠的滑动。

具体的，灯板2的外侧一周设有外层聚光弧板23；可以对外部散射的光线进行汇聚，降低能源的浪费。

具体的，灯板2远离反光碗22的一侧中间位置处固定有线缆管21，线缆管21转动连接在壳体1的内壁；线缆管21内连接有用于供能的线缆，由于灯板2转动是在一定角度的，且是来回往复的，不会造成绞线情况。

具体的，壳体1远离灯板2的一侧固定有马达4，马达4的一侧还设有从动轮42，从动轮42转动连接在灯板2的外壁，马达4与从动轮42传动连接；实现通过马达4带动从动轮42转动，响应快，容易控制。

具体的，马达4的输出端连接有主动轮41，主动轮41与从动轮42之间通过传动带411传动连接；马达4带动主动轮41转动，这样就可以实现带动从动轮42转动，继而方便控制联动柱24滑动。

具体的，从动轮42的外壁设有曲柄421，曲柄421与联动柱24之间通过连杆43传动连接，通过曲柄连杆的原理，将从动轮42的周转运动转化成联动柱24的往复滑动，实现灯板2的在一定的角度下进行正反转。

本实用新型的工作原理及使用流程：通过若干个反光碗22可以对其内部的灯珠3进行光线的导向作用，对光源进行聚集，防止大量的光线散射，造成能量的无效损耗，六个照射区201分成两种，相邻的两个照射区201中的反光碗22分布不同，而相隔的照射区201中的反光碗22分布相同，相邻的照射区201中的反光碗22位于不同圆周方向上，由于相邻的两个照射区201中的反光碗22位于不同圆周方向上，所以可以相互之间弥补反光碗22在径向方向上的照明缝隙，这样就增加了照明的整体平衡性，在使用时，由于灯板2的转动，且角度大于六十度，刚好可以在产品的同样位置，均匀且连续的受到两个反光碗22分布不同的照射区201的照射，保证受照射的均匀性。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构，包括壳体(1)、灯板(2)和灯珠(3)，其特征在于：所述灯板(2)上开设有若干个反光碗(22)，若干个所述反光碗(22)呈圆周方向分布，且若干个所述反光碗(22)均匀的分布在六个照射区(201)中，相邻的所述照射区(201)中的所述反光碗(22)位于不同圆周方向上，所述灯珠(3)嵌设在所述反光碗(22)内；所述灯板(2)沿圆周方向滑动连接在所述壳体(1)的内壁，所述灯板(2)的滑动角度大于六十度。

2.根据权利要求1所述的一种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构，其特征在于：所述灯板(2)远离所述反光碗(22)的一侧固定有联动柱(24)，所述壳体(1)上开设有与所述联动柱(24)配合的弧形导槽(101)，所述弧形导槽(101)的弧长为五分之二π。

3.根据权利要求1所述的一种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构，其特征在于：所述灯板(2)的外侧一周设有外层聚光弧板(23)。

4.根据权利要求1所述的一种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构，其特征在于：所述灯板(2)远离所述反光碗(22)的一侧中间位置处固定有线缆管(21)，所述线缆管(21)转动连接在所述壳体(1)的内壁。

5.根据权利要求2所述的一种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构，其特征在于：所述壳体(1)远离所述灯板(2)的一侧固定有马达(4)，所述马达(4)的一侧还设有从动轮(42)，所述从动轮(42)转动连接在所述灯板(2)的外壁，所述马达(4)与所述从动轮(42)传动连接。

6.根据权利要求5所述的一种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构，其特征在于：所述马达(4)的输出端连接有主动轮(41)，所述主动轮(41)与所述从动轮(42)之间通过传动带(411)传动连接。

7.根据权利要求6所述的一种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构，其特征在于：所述从动轮(42)的外壁设有曲柄(421)，所述曲柄(421)与所述联动柱(24)之间通过连杆(43)传动连接。